டிஜிஎஸ் சிஸ்டத்திற்கான SiC மோதிரங்கள்

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி ரிங்க்ஸ் டிஜிஎஸ் சிஸ்டம்ஸ் என்பது மையவிலக்கு அமுக்கிகள் போன்ற அதிவேக சுழலும் கருவிகளுக்கான முக்கிய சீல் கூறுகளாகும். வளைய மேற்பரப்பில் துல்லியமான ஹைட்ரோடினமிக் பள்ளங்களை (சுழல் பள்ளங்கள் போன்றவை) எந்திரம் செய்வதன் மூலம், அவை சுழற்சியின் போது ஒரு ஹைட்ரோடினமிக் தணிப்பு விளைவை உருவாக்குகின்றன, 3-5 மைக்ரோமீட்டர்கள் மட்டுமே நிலையான வாயுப் படலத்தை உருவாக்குகின்றன, மாறும் நிலைமைகளின் கீழ் "தொடர்பு இல்லாத" செயல்பாட்டை அடைகின்றன. இந்த தயாரிப்பு அதிக செயல்திறன் கொண்ட வளிமண்டல அழுத்தம் சின்டர்டு பயன்படுத்துகிறதுசிலிக்கான் கார்பைடு (SSiC) பொருள், மிக அதிக கடினத்தன்மை (2800 கிலோ/மிமீ²), சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் (120 W/m.K), மற்றும் சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. இது அதிக அழுத்தம், அதி-அதிவேகம் மற்றும் அமில வாயுக்கள் போன்ற தீவிர சூழல்களில் கூட மிக அதிக பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் சமதளத்தை (<0.6μm) பராமரிக்கிறது. பூஜ்ஜியத்திற்கு அருகில் உராய்வு ஏற்படும் இந்த மேம்பட்ட வடிவமைப்பில், இந்த சிலிக்கான் கார்பைடு வளையங்கள் எண்ணெய் மற்றும் எரிவாயு போக்குவரத்து, பெட்ரோகெமிக்கல்கள் மற்றும் ஹைட்ரஜன் சுருக்கம் ஆகியவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது நீண்ட கால, குறைந்த பராமரிப்பு மற்றும் முக்கியமான அலகுகளின் பாதுகாப்பான செயல்பாட்டை உறுதி செய்யும் போது கணினி மின் நுகர்வு கணிசமாகக் குறைக்கப்படுகிறது.

மேம்பட்ட பொருள் அறிவியல் மற்றும் துல்லியமான பொறியியலை மேம்படுத்துவதன் மூலம், இந்த வளையங்கள் பூஜ்ஜிய-தொடர்பு செயல்பாட்டை உறுதி செய்கின்றன, பணி-முக்கியமான தொழில்துறை பயன்பாடுகளில் வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளை கணிசமாகக் குறைக்கின்றன.

1. உலர் வாயு முத்திரைகளின் கொள்கை (DGS)

ட்ரை கேஸ் சீல் என்பது தொடர்பு இல்லாத, இறுதி-முக இயந்திர முத்திரையாகும், இது ஒரு மெல்லிய வாயு படலத்தைப் பயன்படுத்துகிறது-பொதுவாக செயல்முறை வாயு அல்லது நைட்ரஜன் போன்ற ஒரு மந்த தாங்கல் வாயு-முத்திரை முகங்களைப் பிரிக்கிறது.

முக்கிய பொறிமுறையானது ஹைட்ரோடினமிக் லிஃப்ட் மீது தங்கியுள்ளது. முத்திரை முகங்களில் ஒன்று (பொதுவாக SiC சுழலும் வளையம்) உயர்-துல்லியமான நுண்-பள்ளங்களுடன் (பெரும்பாலும் சுழல், "T," அல்லது "U" வடிவமானது) பொறிக்கப்பட்டுள்ளது. தண்டு அதிக வேகத்தில் சுழலும் போது, ​​இந்த பள்ளங்கள் வாயுவை உள்நோக்கி இழுத்து, நிலையான மற்றும் சுழலும் முகங்களுக்கு இடையே அழுத்தத்தை அதிகரிக்கும். இது ஒரு நிலையான, நுண்ணிய இடைவெளியை உருவாக்குகிறது (பொதுவாக 3 முதல் 5 மைக்ரான்கள்).

சாதாரண செயல்பாட்டின் போது முகங்கள் ஒருபோதும் உடல் ரீதியாக தொடாததால், உராய்வு கிட்டத்தட்ட அகற்றப்பட்டு, பாரம்பரிய எண்ணெய்-உயவூட்டப்பட்ட முத்திரைகளுடன் ஒப்பிடும்போது உடைகள் வெகுவாகக் குறைக்கப்படுகின்றன. இருப்பினும், இந்த "தொடர்பு இல்லாத" நிலைக்கு முத்திரை மோதிரங்கள் முற்றிலும் தட்டையாகவும், தொடக்க, பணிநிறுத்தம் மற்றும் நிலையற்ற நிலைகளின் போது உருவாகும் அபரிமிதமான மையவிலக்கு விசைகள் மற்றும் வெப்ப சாய்வுகளைத் தாங்கும் திறன் கொண்டதாகவும் இருக்க வேண்டும்.

2. சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)அளவுருக்கள் மற்றும் பொருள் நன்மைகள்

எங்கள் DGS வளையங்களைத் தயாரிக்க, அழுத்தம் இல்லாத சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு (SSiC) மற்றும் ரியாக்ஷன் பாண்டட் சிலிக்கான் கார்பைடு (RBSiC) ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்துகிறோம். SSiC பொதுவாக DGS க்கு அதன் சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக கடினத்தன்மை காரணமாக விரும்பப்படுகிறது.

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள் & பொருள் பண்புகள்

DGS அமைப்பிற்கான எங்கள் SiC மோதிரங்கள் மிகவும் கடுமையான தொழில் தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்யும் வகையில் தயாரிக்கப்படுகின்றன:

முக்கிய நன்மைகள்

வெப்ப நிலைத்தன்மை:SiC அதன் இயந்திர வலிமையை 1000°C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் பராமரிக்கிறது, அதிவேக வாயு வெட்டினால் உருவாகும் வெப்பத்தின் கீழ் வளையம் சிதைவதில்லை.

இரசாயன செயலற்ற தன்மை:0-14 pH வரம்பில், நமது SiC வளையங்கள் "புளிப்பு வாயு" (H2S), CO2 மற்றும் பெட்ரோகெமிக்கல் சுத்திகரிப்புகளில் காணப்படும் பிற ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை இரசாயனங்களின் அரிக்கும் விளைவுகளுக்கு எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை.

உயர் எலாஸ்டிக் மாடுலஸ்:SiC இன் விறைப்பு உயர் அழுத்த வேறுபாடுகளின் கீழ் (பெரும்பாலும் 100 பட்டியை விட அதிகமாக) முத்திரை முகத்தின் "கோனிங்" அல்லது சிதைவைத் தடுக்கிறது.

உயர்ந்த மேற்பரப்பு பூச்சு:ஹைட்ரோடினமிக் பள்ளங்களின் துல்லியமான செதுக்கலுக்கு முக்கியமான ஒரு கண்ணாடி போன்ற பூச்சு (Ra <0.05 μm) அடைகிறோம்.

3. தொழில்துறை பயன்பாடுகள்

DGS அமைப்பிற்கான எங்கள் SiC ரிங்க்ஸ் என்பது பல்வேறு உயர்-பங்குத் துறைகளில் சீலிங் தீர்வுகளின் "இதயம்" ஆகும்:

எண்ணெய் மற்றும் எரிவாயு (அப்ஸ்ட்ரீம்/மிட்ஸ்ட்ரீம்):உயர் அழுத்த மையவிலக்கு அமுக்கிகள் இயற்கை எரிவாயு குழாய் பரிமாற்றம் மற்றும் கடல் வாயு மறுசெலுத்தலுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.

பெட்ரோ கெமிக்கல் செயலாக்கம்:எத்திலீன், அம்மோனியா மற்றும் மெத்தனால் உற்பத்திக்கு இன்றியமையாதது, அங்கு வாயு தூய்மை மற்றும் கசிவு தடுப்பு ஆகியவை பாதுகாப்புக்கு முக்கியமானவை.

மின் உற்பத்தி:தாங்கல் வாயுக்களை நிர்வகிப்பதற்கும் அபாயகரமான உமிழ்வைத் தடுப்பதற்கும் நீராவி மற்றும் எரிவாயு விசையாழிகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

வளர்ந்து வரும் ஆற்றல்:ஹைட்ரஜன் (H2) சுருக்கத்தில் அதிக அளவில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அங்கு ஹைட்ரஜனின் சிறிய மூலக்கூறு அளவு, சீல் ஃபேஸ் பிளாட்னெஸில் அதிகபட்ச துல்லியத்தை கோருகிறது.