SiC டம்மி வேஃபர்

SiC டம்மி வேஃபரின் முக்கிய பண்புகள்

பல்துறை சோதனை மற்றும் பரிசோதனை

SiC டம்மி வேஃபர்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் பல்வேறு நிலைகளில் இன்றியமையாதவை, சோதனை மற்றும் பரிசோதனைக்கு பாதுகாப்பான மற்றும் நம்பகமான வழிகளை வழங்குகிறது. உற்பத்தி செயல்முறையின் தொடக்கத்தில் அவை முக்கியமானவை, மதிப்புமிக்க உற்பத்தி செதில்களைப் பயன்படுத்துவதற்கு முன்பு அனைத்து அளவுருக்களும் உகந்ததாக இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது.

பரவல் செயல்முறைகளில் பாதுகாப்பு

பரவல் செயல்முறைகளில், நிலையான சிலிக்கான் செதில்களை பாதுகாப்பதன் மூலம் SiC டம்மி வேஃபர்கள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. இந்த பாதுகாப்பு செயல்பாடு சேதம் மற்றும் மாசுபடுவதை தடுக்கிறது, இதனால் முதன்மை செதில்களின் ஒருமைப்பாடு மற்றும் தரம் பாதுகாக்கப்படுகிறது.

அளவீட்டில் துல்லியம்

இந்த செதில்கள் பட தடிமன், அழுத்தம் எதிர்ப்பு மற்றும் பிரதிபலிப்பு குறியீட்டை அளவிடுவதற்கு உன்னிப்பாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. பின்பால் இருப்பைக் கண்டறிவதிலும், லித்தோகிராஃபியில் வடிவ அளவுகளை மதிப்பிடுவதிலும் அவை கருவியாக உள்ளன, செயல்முறை துல்லியம் மற்றும் குறைபாட்டைக் குறைப்பதில் குறிப்பிடத்தக்க பங்களிப்பை வழங்குகின்றன.

SiC டம்மி வேஃபரின் நன்மைகள்

உயர் வெப்பநிலை வாயு எதிர்ப்பு

SiC Dummy Wafers உயர் வெப்பநிலை வாயு தாக்குதல்களுக்கு குறிப்பிடத்தக்க எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகின்றன, அவை தீவிர நிலைமைகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன. இந்த பின்னடைவு மிகவும் தேவைப்படும் சூழல்களிலும் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

இரசாயன நிலைத்தன்மை

SiC டம்மி வேஃபர்களின் இரசாயன நிலைத்தன்மை பல்வேறு அரிக்கும் பொருள்களை சிதைவு இல்லாமல் தாங்க அனுமதிக்கிறது. இரசாயன வெளிப்பாடுகளின் போது செதில் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க இந்த சொத்து அவசியம்.

துகள்கள் இல்லாத மேற்பரப்பு

எளிதில் சுத்தம் செய்யக்கூடிய மேற்பரப்பைக் கொண்டு, SiC டம்மி வேஃபர்ஸ் துகள் சிக்கல்களைக் குறைக்கிறது, இது மாசு இல்லாத சூழலைப் பராமரிக்க இன்றியமையாதது. இந்த பண்பு உயர்தர முடிவுகளை ஆதரிக்கிறது மற்றும் குறைபாடுகளின் ஆபத்தை குறைக்கிறது.

நீண்ட கால கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு

SiC டம்மி வேஃபர்கள் காலப்போக்கில் வளைவு மற்றும் சிதைவை எதிர்க்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. அவற்றின் ஆயுள் பல சோதனை சுழற்சிகள் முழுவதும் நம்பகமானதாக இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது, அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது.

தனிப்பயனாக்கக்கூடிய அம்சங்கள்

Semicorex ஒவ்வொரு SiC டம்மி வேஃபரிலும் பயனர் வரையறுக்கப்பட்ட வரிசைமுறையை வழங்குகிறது, இது அளவு மற்றும் தடிமனை தனிப்பயனாக்க அனுமதிக்கிறது. தனிப்பயன் லேசர் வேலைப்பாடு மேலும் குறுக்கு-மாசு அபாயங்களை நீக்குகிறது, அதிக அளவு தூய்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

தொழில்கள் முழுவதும் பயன்பாடுகள்

செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன்

SiC டம்மி வேஃபர்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், குறிப்பாக உற்பத்தியின் ஆரம்ப கட்டங்களில் அவசியம். அவை ஒரு பாதுகாப்பு தடையாக செயல்படுகின்றன, சிலிக்கான் செதில்களை சாத்தியமான சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்கின்றன மற்றும் செயல்முறை துல்லியத்தை உறுதி செய்கின்றன.

தர உத்தரவாதம் மற்றும் சோதனை

தர உத்தரவாதத்தில், டெலிவரி காசோலைகள் மற்றும் செயல்முறை படிவங்களை மதிப்பிடுவதற்கு SiC டம்மி வேஃபர்கள் முக்கியமானவை. அவை படத்தின் தடிமன், அழுத்தம் எதிர்ப்பு மற்றும் பிரதிபலிப்பு குறியீடு போன்ற அளவுருக்களின் துல்லியமான அளவீடுகளை செயல்படுத்துகின்றன, இது உற்பத்தி செயல்முறைகளின் சரிபார்ப்புக்கு பங்களிக்கிறது.

லித்தோகிராபி மற்றும் பேட்டர்ன் சரிபார்ப்பு

லித்தோகிராஃபியில், இந்த செதில்கள் மாதிரி அளவு அளவீடு மற்றும் குறைபாடு சரிபார்ப்புக்கான ஒரு அளவுகோலாக செயல்படுகின்றன. அவற்றின் துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மை, செமிகண்டக்டர் சாதன செயல்பாட்டிற்கு முக்கியமான, விரும்பிய வடிவியல் துல்லியத்தை அடைய உதவுகிறது.

ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு

R&D சூழல்களில், SiC டம்மி வேஃபர்களின் நெகிழ்வுத்தன்மை மற்றும் நீடித்துழைப்பு ஆகியவை விரிவான பரிசோதனையை ஆதரிக்கின்றன. கடுமையான சோதனை நிலைமைகளைத் தாங்கும் அவர்களின் திறன் புதிய குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பங்களை உருவாக்குவதற்கு அவர்களை விலைமதிப்பற்றதாக ஆக்குகிறது.