SiC பரவல் உலை குழாய்

அதிக நெகிழ்வு வலிமை: Semicorex SiC பரவல் உலை குழாய் 200MPa க்கும் அதிகமான நெகிழ்வு வலிமையைக் கொண்டுள்ளது, இது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகளின் பொதுவான உயர் அழுத்த நிலைமைகளின் கீழ் விதிவிலக்கான இயந்திர செயல்திறன் மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

சிறந்த ஆக்சிடேஷன் எதிர்ப்பு: இந்த SiC பரவல் உலை குழாய்கள் அனைத்து ஆக்சைடு அல்லாத பீங்கான்களிலும் சிறந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகின்றன. இந்த பண்பு நீண்ட கால நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது, சிதைவு அபாயத்தை குறைக்கிறது மற்றும் குழாய்களின் செயல்பாட்டு ஆயுளை நீட்டிக்கிறது.

சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு: SiC பரவல் உலைக் குழாயின் இரசாயன செயலற்ற தன்மை அரிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இந்த குழாய்களை குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் அடிக்கடி எதிர்கொள்ளும் கடுமையான இரசாயன சூழல்களில் பயன்படுத்த ஏற்றதாக அமைகிறது.

அதிக உடைகள் எதிர்ப்பு: SiC டிஃப்யூஷன் ஃபர்னஸ் டியூப் அணிய மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது, இது பரிமாண நிலைப்புத்தன்மையைப் பேணுவதற்கும், சிராய்ப்பு நிலைகளில் நீண்ட கால உபயோகத்தில் பராமரிப்புத் தேவைகளைக் குறைப்பதற்கும் முக்கியமானது.

குறைந்த உராய்வு குணகம்: SiC பரவல் உலைக் குழாயின் குறைந்த உராய்வு குணகம், குழாய்கள் மற்றும் செதில்கள் இரண்டிலும் தேய்மானம் மற்றும் கிழிப்பைக் குறைக்கிறது, இது சீரான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் போது மாசுபாடு அபாயங்களைக் குறைக்கிறது.

உயர்ந்த உயர்-வெப்பநிலை இயந்திர பண்புகள்: SiC பரவல் உலை குழாய், சிறந்த வலிமை மற்றும் க்ரீப் எதிர்ப்பு உட்பட அறியப்பட்ட பீங்கான் பொருட்களில் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை இயந்திர பண்புகளை நிரூபிக்கிறது. உயர்ந்த வெப்பநிலையில் நீண்ட கால நிலைத்தன்மை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு இது மிகவும் பொருத்தமானது.

CVD பூச்சுடன்: Semicorex இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) SiC பூச்சு 99.9995% க்கும் அதிகமான தூய்மை நிலையை அடைகிறது, 5ppm க்கும் குறைவான தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் மற்றும் 1ppm க்கும் குறைவான தீங்கு விளைவிக்கும் உலோக அசுத்தங்கள். CVD பூச்சு செயல்முறையானது குழாய்கள் 2-3Torr இன் கடுமையான வெற்றிட இறுக்கத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்கிறது, இது உயர்-துல்லியமான குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் சூழல்களுக்கு அவசியமானது.

பரவல் உலைகளில் பயன்பாடு: இந்த SiC பரவல் உலை குழாய்கள் குறிப்பாக பரவல் உலைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, அங்கு அவை ஊக்கமருந்து மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றம் போன்ற உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. அவற்றின் மேம்பட்ட பொருள் பண்புகள் இந்த செயல்முறைகளின் கோரும் நிலைமைகளைத் தாங்குவதை உறுதிசெய்கிறது, இதன் மூலம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை அதிகரிக்கிறது.