SiC பூசப்பட்ட PSS பொறித்தல் கேரியர்

எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடி போன்ற மெல்லிய ஃபிலிம் டெபாசிஷன் கட்டங்களுக்கு மட்டுமல்ல, செமிகோரெக்ஸ் செதில்களை ஆதரிக்கும் அல்ட்ரா-ப்யூர் SiC கோடட் PSS எட்ச்சிங் கேரியரை வழங்குகிறது. பிளாஸ்மா எட்ச் அல்லது ட்ரை எட்ச்சில், இந்த உபகரணங்கள், எபிடாக்சி சஸ்பெப்டர்கள், பான்கேக் அல்லது எம்ஓசிவிடிக்கான செயற்கைக்கோள் தளங்கள், முதலில் படிவு சூழலுக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன, எனவே இது அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. SiC கோடட் PSS எட்ச்சிங் கேரியர் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளையும் கொண்டுள்ளது.

எல்இடி (ஒளி உமிழும் டையோடு) சாதனங்களைத் தயாரிப்பதில் SiC பூசப்பட்ட PSS (வடிவமைக்கப்பட்ட சபையர் சப்ஸ்ட்ரேட்) எச்சிங் கேரியர்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. பிஎஸ்எஸ் எட்ச் கேரியர், எல்இடி கட்டமைப்பை உருவாக்கும் கேலியம் நைட்ரைட்டின் (GaN) மெல்லிய படலத்தின் வளர்ச்சிக்கு அடி மூலக்கூறாக செயல்படுகிறது. பிஎஸ்எஸ் எட்ச் கேரியர் எல்இடி கட்டமைப்பிலிருந்து ஈரமான பொறித்தல் செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி அகற்றப்படுகிறது, இது எல்இடியின் ஒளி பிரித்தெடுக்கும் திறனை மேம்படுத்தும் ஒரு வடிவ மேற்பரப்பை விட்டுச் செல்கிறது.

SiC பூசப்பட்ட PSS எட்சிங் கேரியரின் அளவுருக்கள்

உயர் தூய்மை SiC பூசப்பட்ட PSS எட்ச்சிங் கேரியரின் அம்சங்கள்

- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் நல்ல அடர்த்தி மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நல்ல பாதுகாப்புப் பாத்திரத்தை வகிக்க முடியும்.

- ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சிக்காகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் மிக உயர்ந்த மேற்பரப்புத் தட்டையானது.

- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குக்கு இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைக்கவும், விரிசல் மற்றும் சிதைவைத் தடுக்க பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்தவும்.

- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.

- உயர் உருகுநிலை, உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு.