செமிகண்டக்டருக்கான செமிகோரெக்ஸ் பிஎஸ்எஸ் எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயல்முறைகளுக்குத் தேவையான உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் சூழல்களுக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகண்டக்டருக்கான எங்களின் அல்ட்ரா-ப்யூர் பிஎஸ்எஸ் எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட், MOCVD மற்றும் எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டர்கள், பான்கேக் அல்லது சாட்டிலைட் பிளாட்ஃபார்ம்கள் போன்ற மெல்லிய-ஃபிலிம் டெபாசிஷன் கட்டங்களில் செதில்களை ஆதரிக்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. எங்கள் SiC பூசப்பட்ட கேரியர் அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகள் மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. நாங்கள் எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு செலவு குறைந்த தீர்வுகளை வழங்குகிறோம், மேலும் எங்கள் தயாரிப்புகள் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. செமிகோரெக்ஸ் சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருப்பதற்கு எதிர்நோக்குகிறது.
செமிகோரெக்ஸிலிருந்து செமிகண்டக்டருக்கான பிஎஸ்எஸ் எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட் என்பது MOCVD, epitaxy susceptors, pancake அல்லது satellite platforms மற்றும் செதில் போன்ற செதில் கையாளுதல் போன்ற மெல்லிய-பட படிவு நிலைகளுக்கு சிறந்த தீர்வாகும். எங்களின் அல்ட்ரா-தூய கிராஃபைட் கேரியர் செதில்களை ஆதரிக்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களை தாங்கும். SiC பூசப்பட்ட கேரியர் அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகள் மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. எங்கள் தயாரிப்புகள் செலவு குறைந்தவை மற்றும் நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளன.
செமிகண்டக்டருக்கான எங்கள் PSS எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட்டைப் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
செமிகண்டக்டருக்கான பிஎஸ்எஸ் எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட்டின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
செமிகண்டக்டருக்கான பிஎஸ்எஸ் எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட்டின் அம்சங்கள்
- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்