SiC பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூன் பாகங்கள்

பிரீமியம் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூன் பாகங்கள், செதில் கேரியர்கள் மற்றும் வெப்ப கடத்திகள் என எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளின் இன்றியமையாத அம்சமாகும். அவற்றின் சிறப்பு அரை-நிலவு வடிவம் ஒரு உருளை வடிவில் ஒன்றுசேர்க்கும் முறையை வழங்குகிறது, இது எபிடாக்சியல் உலைகளுக்குள் ஒரு அங்கமாக செயல்படுகிறது. அறை அல்லது உலை சூழலுக்குள், செதில்கள் பாதுகாக்கப்பட வேண்டும், ஆனால் முக்கியமான மெல்லிய-பட படிவு நடைபெறும் போது சீராக சூடாக்கப்பட வேண்டும். SiC பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூன் பாகங்கள் இந்த பணிகளைச் செய்ய சரியான அளவு இயந்திர ஆதரவு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன ஆயுள் ஆகியவற்றை வழங்குகின்றன.

கிராஃபைட்இது ஹாஃப்மூன் பாகங்களுக்கான அடி மூலக்கூறு பொருளாகும் மற்றும் அதன் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த எடை மற்றும் வலிமை காரணமாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பு அடர்த்தியான உயர்-தூய்மை இரசாயன நீராவி டெபாசிட் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (CVD SiC) மேற்பரப்புடன் மூடப்பட்டிருக்கும், இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியுடன் தொடர்புடைய ஆக்கிரமிப்பு சூழல்களுக்கு எதிராக வலுவாக இருக்கும். SiC பூச்சு பகுதிகளின் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் ஹைட்ரஜன் மற்றும் குளோரின் போன்ற எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது நல்ல நீண்ட கால நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது மற்றும் செயலாக்கத்தின் போது மிகவும் மட்டுப்படுத்தப்பட்ட மாசுபாட்டை வழங்குகிறது. வேதியியல் மற்றும் வெப்ப பண்புகளுடன் இயந்திர வலிமையின் சரியான சமநிலையை வழங்க கிராஃபைட் மற்றும் SiC ஆகியவை ஹாஃப்மூன் பாகங்களில் ஒன்றாக வேலை செய்கின்றன.

மிக முக்கியமான பாத்திரங்களில் ஒன்றுSiC பூசப்பட்டதுஅரை நிலவு பாகங்கள் என்பது செதில்களின் ஆதரவு. படிக அடுக்குகளில் லேட்டிஸ் கட்டமைப்பின் சீரான வளர்ச்சியை எளிதாக்குவதற்கு முழு எபிடாக்ஸி முழுவதும் செதில்கள் தட்டையாகவும் நிலையானதாகவும் இருக்கும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. துணைப் பகுதிகளின் நெகிழ்வு அல்லது உறுதியற்ற தன்மை எபிடாக்ஸியில் குறைபாடு அடுக்குகளை அறிமுகப்படுத்தலாம் மற்றும் இறுதியில் சாதனத்தின் செயல்திறனை பாதிக்கலாம். ஹாஃப்மூன் பாகங்கள் அதிக வெப்பநிலையில் இறுதி பரிமாண நிலைப்புத்தன்மைக்காக கவனமாக தயாரிக்கப்படுகின்றன, அவை வார்ப்பிங் திறனைக் கட்டுப்படுத்துகின்றன மற்றும் கொடுக்கப்பட்ட எபிடாக்சியல் செய்முறையின் கீழ் பொருத்தமான செதில்களை வழங்குகின்றன. இந்த கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு சிறந்த எபிடாக்சியல் தரம் மற்றும் அதிக மகசூல் தருகிறது.

ஹாஃப்மூன் பாகங்களின் சமமான முக்கியமான செயல்பாடு வெப்ப கடத்தல் ஆகும். ஒரு எபிடாக்சியல் அறையில், சீரான, நிலையான-நிலை வெப்ப கடத்துத்திறன் உயர்தர மெல்லிய பிலிம்களைப் பெறுவதற்கு முக்கியமாகும். கிராஃபைட் கோர் வெப்ப கடத்துத்திறனுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது, இது வெப்பமாக்கல் செயல்முறைக்கு உதவுகிறது மற்றும் வெப்பநிலை விநியோகத்தை எளிதாக்குகிறது. SiC பூச்சு வெப்ப சோர்வு, சிதைவு மற்றும் செயல்பாட்டில் மாசுபடுதல் ஆகியவற்றிலிருந்து மையத்தை பாதுகாக்கிறது. எனவே, சீரான வெப்பநிலை பரிமாற்றத்தை அடைவதற்கும் குறைபாடு இல்லாத எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சியை ஆதரிப்பதற்கும் செதில்களை ஒரே மாதிரியாக சூடாக்கலாம். வேறு வார்த்தைகளில் கூறுவதானால், குறிப்பிட்ட வெப்ப நிலைகளைக் கோரும் மெல்லிய பட வளர்ச்சி செயல்முறைகளுக்கு, SiC பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூன் பாகங்கள் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மை இரண்டையும் வழங்குகின்றன. நீண்ட ஆயுள் என்பது கூறுகளின் முக்கிய அம்சமாகும். எபிடாக்ஸி என்பது பொதுவான கட்டுமானப் பொருட்கள் சீரழிவு இல்லாமல் தாங்கக்கூடியதை விட அதிக வெப்பநிலையில் வெப்ப சுழற்சியைக் கொண்டுள்ளது.

தூய்மை மற்றொரு முக்கியமான நன்மை. எபிடாக்ஸி மாசுபாட்டிற்கு மிகவும் உணர்திறன் உடையது என்பதால், விதிவிலக்கான உயர் தூய்மையின் CVD SiC பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துவது எதிர்வினை அறையிலிருந்து மாசுபாட்டை நீக்குகிறது. இது துகள் உற்பத்தியைக் குறைக்கிறது மற்றும் செதில்களை குறைபாடுகளிலிருந்து பாதுகாக்கிறது. சாதன வடிவவியலின் தொடர்ச்சியான குறைப்பு மற்றும் எபிடாக்சியல் செயல்முறை தேவைகளின் தொடர்ச்சியான சுருக்கம் ஆகியவை சீரான உற்பத்தித் தரத்தைப் பாதுகாக்க மாசுக் கட்டுப்பாட்டை முக்கியமானதாக ஆக்குகின்றன.

செமிகோரெக்ஸ் SiC பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூன் பாகங்கள் தூய்மை கவலைகளை நிவர்த்தி செய்வது மட்டுமல்லாமல், அவை நெகிழ்வானவை மற்றும் பல்வேறு எபிடாக்சியல் அமைப்பு உள்ளமைவுகளுக்கு ஏற்றவாறு சரிசெய்யப்படலாம். அவை சில பரிமாணங்கள், பூச்சுகளின் தடிமன் மற்றும் துல்லியமான உபகரணங்களுக்கு அனுமானமாக பொருந்தக்கூடிய வடிவமைப்புகள்/சகிப்புத்தன்மை ஆகியவற்றிலும் தயாரிக்கப்படலாம். இந்த நெகிழ்வுத்தன்மை, தற்போதுள்ள உபகரணங்களை தடையின்றி ஒருங்கிணைத்து, மிகவும் சாதகமான செயல்முறை இணக்கத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும் என்பதை உறுதிப்படுத்த உதவுகிறது.