அரை நிலவு கூறுகள்

செமிகோரெக்ஸ் அரை நிலவு கூறுகள் அரை உருளை அல்லது பிரிக்கப்பட்ட உள் உலை கட்டமைப்புகள் பொதுவாக எபிடாக்சியல் உலைகளுக்குள் நிறுவப்பட்டுள்ளன. அவற்றின் தனித்துவமான வடிவியல் வாயு விநியோகம், வெப்ப மேலாண்மை, செதில் பொருத்துதல் மற்றும் அறை பாதுகாப்பு ஆகியவற்றை எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் போது மேம்படுத்த உதவுகிறது.

காட்டப்பட்டுள்ள தயாரிப்பு, ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட உள் ஆதரவு வடிவவியலுடன் துல்லியமான-எந்திர உருளை அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, குறிப்பாக LPE-பாணி அறை உள்ளமைவுகளுக்குப் பொருந்தும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த கூறுகள் பொதுவாக உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன மற்றும் நீடித்த சிவிடி சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகள் மூலம் நீடித்து, தூய்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை மேம்படுத்தலாம்.

எபிடாக்சியல் உலைகளில், கூறு நிலைத்தன்மை மற்றும் தூய்மை நேரடியாக பட சீரான தன்மை, படிக தரம் மற்றும் செதில் விளைச்சல் ஆகியவற்றை பாதிக்கிறது. எனவே, உலை உட்புறங்கள் ஆக்கிரமிப்பு இரசாயன சூழல்கள், விரைவான வெப்ப சுழற்சி மற்றும் சிதைவு அல்லது மாசுபாடு இல்லாமல் நீடித்த உயர் வெப்பநிலை செயல்பாட்டைத் தாங்க வேண்டும்.

LPE-பாணி அறைகளுடன் இணக்கமான உலை பாகங்கள்

செமிகோரெக்ஸ் LPE எபிடாக்சியல் அமைப்புகளுடன் இணக்கமான பல உலை பாகங்களை உற்பத்தி செய்கிறது, அவற்றுள்:

* அரை நிலவு பாகங்கள்

* பாதுகாப்பு கவர்கள்

* ஓட்ட வழிகாட்டி பாகங்கள்

* வேஃபர் ஆதரவு பாகங்கள்

* பாதுகாப்பு வளையங்கள்

* தனிப்பயன் கிராஃபைட் கூட்டங்கள்

உலை பரிமாணங்கள், செயல்முறை நிலைமைகள் மற்றும் வாடிக்கையாளர்-குறிப்பிட்ட வடிவமைப்பு தேவைகளுக்கு ஏற்ப அனைத்து கூறுகளையும் தனிப்பயனாக்கலாம்.

அரை நிலவு கூறுகளின் முக்கிய அம்சங்கள்

உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடிப்படைப் பொருள்

அணுஉலை கூறுகள் அதிக அடர்த்தி, அதிக தூய்மையைப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகின்றனஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் பொருட்கள்செமிகண்டக்டர் பயன்பாடுகளுக்கு குறிப்பாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. குறைந்த தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் போது மாசுபடுத்தும் அபாயங்களைக் குறைக்க உதவுகிறது.

பராமரிக்க உயர் தூய்மை பொருட்கள் அவசியம்:

* நிலையான படிக வளர்ச்சி

* சீரான எபிடாக்சியல் அடுக்குகள்

* குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி

* செமிகண்டக்டர் தர தூய்மை

மேம்பட்ட SiC பூச்சு பாதுகாப்பு

தேவைப்படும் செயல்முறை சூழல்களுக்கு, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு அடர்த்தியாக பூசப்படலாம்CVD சிலிக்கான் கார்பைடு. SiC பூச்சு சிறந்த ஒட்டுதல் மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையுடன் மிகவும் பாதுகாப்பான மேற்பரப்பு அடுக்கை உருவாக்குகிறது.

SiC பூச்சு வழங்குகிறது:

* உயர்ந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு

* குறைக்கப்பட்ட துகள் உருவாக்கம்

* மேம்படுத்தப்பட்ட உடைகள் எதிர்ப்பு

* மேம்படுத்தப்பட்ட ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு

* நீண்ட சேவை வாழ்க்கை

பூச்சு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் ஆக்கிரமிப்பு துப்புரவு இரசாயனங்களிலிருந்து பாதுகாக்கிறது.

சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை

வெப்ப நிலைத்தன்மை மிக முக்கியமான உயர் வெப்பநிலை எபிடாக்சியல் உலைகளில் அரை நிலவு கூறுகள் இயங்குகின்றன. கிராஃபைட் மற்றும் SiC பொருட்கள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன, விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளின் போது நிலையான அறை நிலைமைகளை பராமரிக்க உதவுகிறது.

சிறந்த வெப்ப செயல்திறன் பங்களிக்கிறது:

* சீரான வெப்பநிலை விநியோகம்

* குறைக்கப்பட்ட வெப்ப அழுத்தம்

* நிலையான செயல்முறை மீண்டும்

* மேம்படுத்தப்பட்ட எபிடாக்சியல் அடுக்கு நிலைத்தன்மை

துல்லியமான இயந்திர திறன்

செமிகோரெக்ஸ் இறுக்கமான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை மற்றும் சிக்கலான உள் கட்டமைப்புகளை அடைய மேம்பட்ட CNC எந்திரம் மற்றும் துல்லியமான உற்பத்தி தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துகிறது.

துல்லியமான எந்திரம் உறுதி செய்கிறது:

* முறையான அணு உலை பொருத்துதல்

* நிலையான வாயு ஓட்டம் கட்டுப்பாடு

* நம்பகமான செதில் பொருத்துதல்

* நிலையான அறை செயல்திறன்

குறிப்பிட்ட உலை வடிவமைப்புகளின்படி சிக்கலான தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வடிவவியலும் உருவாக்கப்படலாம்.

வலுவான இரசாயன எதிர்ப்பு

எபிடாக்சியல் செயல்முறைகள் பெரும்பாலும் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் கடுமையான இயக்க நிலைமைகளை உள்ளடக்கியது. SiC- பூசப்பட்ட உலை கூறுகள் சிறந்த எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகின்றன:

* ஹைட்ரஜன்

* குளோரின் கொண்ட வாயுக்கள்

* அமிலத்தை சுத்தம் செய்யும் இரசாயனங்கள்

* அதிக வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றம்

இந்த இரசாயன நீடித்தது கூறுகளின் ஆயுட்காலத்தை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது மற்றும் பராமரிப்பு அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது.

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி அமைப்புகளில் பயன்பாடுகள்

அரைக்கடத்தி உற்பத்திப் பயன்பாடுகளுக்கான மேம்பட்ட எபிடாக்சியல் செயலாக்க உபகரணங்களில் அரை மூன் கூறுகள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:

* சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி

* SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி

* GaN எபிடாக்ஸி

* சக்தி குறைக்கடத்தி உற்பத்தி

* எல்இடி உற்பத்தி

* மேம்பட்ட செதில் செயலாக்கம்

* உயர் வெப்பநிலை CVD அமைப்புகள்

உலை அறைக்குள், இந்த கூறுகள் வாயு ஓட்ட இயக்கவியலை மேம்படுத்தவும், செயல்முறை சீரான தன்மையை பராமரிக்கவும், வெப்ப மற்றும் இரசாயன சேதத்திலிருந்து முக்கியமான அறை பகுதிகளை பாதுகாக்கவும் உதவுகின்றன.

செமிகோரெக்ஸை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

செமிகோரெக்ஸ் குறைக்கடத்தி மற்றும் உயர் வெப்பநிலை தொழில்துறை பயன்பாடுகளுக்கான மேம்பட்ட கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு தீர்வுகளில் கவனம் செலுத்துகிறது. எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் கூறுகளில் விரிவான அனுபவத்துடன், நீண்ட கால நம்பகத்தன்மை மற்றும் குறைக்கடத்தி தர செயல்திறனுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட துல்லிய-பொறியியல் தயாரிப்புகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.

எங்கள் நன்மைகள் அடங்கும்:

* உயர் தூய்மையான மூலப்பொருட்கள்

* மேம்பட்ட SiC பூச்சு தொழில்நுட்பம்

* துல்லியமான இயந்திர திறன்

* தனிப்பயன் பொறியியல் ஆதரவு

* கடுமையான தரக் கட்டுப்பாடு

* உலகளாவிய விநியோக திறன்

மேம்பட்ட பொருள் நிபுணத்துவத்தை தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உற்பத்தி தீர்வுகளுடன் இணைப்பதன் மூலம், அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பங்களுக்கான நிலையான மற்றும் திறமையான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளை அடைவதில் செமிகோரெக்ஸ் உலகளாவிய வாடிக்கையாளர்களை ஆதரிக்கிறது.