Sic பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டுகள்

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டுகள் குறிப்பாக எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி சூழல்களைக் கோருவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மேம்பட்ட பொருட்கள் ஆகும். புற ஊதா எல்.ஈ.டி தொழில்துறையில், குறிப்பாக அல்கன் அடிப்படையிலான சாதனங்களின் புனையலில், உலோக-கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) செயல்முறைகளின் போது சீரான வெப்ப விநியோகம், வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை உறுதி செய்வதில் இந்த தட்டுகள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.

ஆல்கன் பொருட்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உயர் செயல்முறை வெப்பநிலை, ஆக்கிரமிப்பு முன்னோடிகள் மற்றும் மிகவும் சீரான திரைப்பட படிவு ஆகியவற்றின் தேவை காரணமாக தனித்துவமான சவால்களை முன்வைக்கிறது. எங்கள் SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டுகள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், அதிக தூய்மை மற்றும் வேதியியல் தாக்குதலுக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வழங்குவதன் மூலம் இந்த சவால்களை எதிர்கொள்ள வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. கிராஃபைட் கோர் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, அதே நேரத்தில் அடர்த்தியானதுSic பூச்சுஅம்மோனியா மற்றும் உலோக-கரிம முன்னோடிகள் போன்ற எதிர்வினை இனங்களுக்கு எதிராக ஒரு பாதுகாப்பு தடையை வழங்குகிறது.

SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டுகள் பெரும்பாலும் உலோக கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) கருவிகளில் ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறுகளை ஆதரிக்கவும் வெப்பப்படுத்தவும் ஒரு அங்கமாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டுகளின் வெப்ப நிலைத்தன்மை, வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் பிற செயல்திறன் அளவுருக்கள் எபிடாக்சியல் பொருள் வளர்ச்சியின் தரத்தில் ஒரு தீர்க்கமான பாத்திரத்தை வகிக்கின்றன, எனவே இது MOCVD கருவிகளின் முக்கிய முக்கிய அங்கமாகும்.

மெட்டல் ஆர்கானிக் வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) தொழில்நுட்பம் தற்போது நீல ஒளி எல்.ஈ.டிகளில் கான் மெல்லிய படங்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான பிரதான தொழில்நுட்பமாகும். இது எளிய செயல்பாட்டின் நன்மைகள், கட்டுப்படுத்தக்கூடிய வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் வளர்ந்த கான் மெல்லிய படங்களின் அதிக தூய்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. MOCVD கருவிகளின் எதிர்வினை அறையில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக, GAN மெல்லிய படங்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு பயன்படுத்தப்படும் SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டுகள், அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, சீரான வெப்ப கடத்துத்திறன், நல்ல வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் வலுவான வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் நன்மைகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். கிராஃபைட் பொருட்கள் மேற்கண்ட நிபந்தனைகளை பூர்த்தி செய்யலாம்.

MOCVD கருவிகளில் முக்கிய கூறுகளில் ஒன்றாக, திSic பூசப்பட்ட கிராஃபைட்தட்டுகள் என்பது அடி மூலக்கூறு அடி மூலக்கூறின் கேரியர் மற்றும் வெப்பமூட்டும் உறுப்பு ஆகும், இது மெல்லிய திரைப்படப் பொருளின் சீரான தன்மையையும் தூய்மையையும் நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது. எனவே, அதன் தரம் எபிடாக்சியல் செதில்களை தயாரிப்பதை நேரடியாக பாதிக்கிறது. அதே நேரத்தில், வேலை நிலைமைகளின் பயன்பாடுகளின் எண்ணிக்கை மற்றும் மாற்றங்கள் அதிகரிப்பதன் மூலம், அணியவும் கிழிக்கவும் மிகவும் எளிதானது, மேலும் இது ஒரு நுகர்வு.

கிராஃபைட் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் ஸ்திரத்தன்மையைக் கொண்டிருந்தாலும், இது MOCVD கருவிகளின் அடிப்படைக் அங்கமாக ஒரு நல்ல நன்மையாக அமைகிறது, உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது, ​​மீதமுள்ள அரிக்கும் வாயு மற்றும் உலோக கரிமப் பொருட்களின் காரணமாக கிராஃபைட் சிதைந்து தூள் செய்யப்படும், இது கிராஃபைட் தளத்தின் சேவை வாழ்க்கையை வெகுவாகக் குறைக்கும். அதே நேரத்தில், விழுந்த கிராஃபைட் தூள் சிப்பிற்கு மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தும்.

பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் தோற்றம் மேற்பரப்பு தூள் சரிசெய்தலை வழங்கவும், வெப்ப கடத்துத்திறனை மேம்படுத்தவும், வெப்ப விநியோகத்தை சமப்படுத்தவும் முடியும், மேலும் இந்த சிக்கலை தீர்க்க முக்கிய தொழில்நுட்பமாக மாறியுள்ளது. கிராஃபைட் அடிப்படை MOCVD உபகரண சூழலில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் கிராஃபைட் தளத்தின் மேற்பரப்பு பூச்சு பின்வரும் பண்புகளை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்:

.

(2) பல உயர் வெப்பநிலை மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை சுழற்சிகளை அனுபவித்த பிறகு பூச்சு வீழ்ச்சியடைவது எளிதல்ல என்பதை உறுதிப்படுத்த கிராஃபைட் தளத்துடன் அதிக பிணைப்பு வலிமையைக் கொண்டுள்ளது.

(3) அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வளிமண்டலத்தில் பூச்சு தோல்வியடைவதைத் தவிர்க்க இது நல்ல வேதியியல் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.

SIC க்கு அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வேதியியல் நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் நன்மைகள் உள்ளன, மேலும் GAN எபிடாக்சியல் வளிமண்டலத்தில் நன்றாக வேலை செய்ய முடியும். கூடுதலாக, SIC இன் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கிராஃபைட்டுக்கு மிக நெருக்கமாக உள்ளது, எனவே கிராஃபைட் தளத்தின் மேற்பரப்பு பூச்சுக்கு SIC என்பது விருப்பமான பொருள்.

தற்போது, ​​பொதுவான SIC முக்கியமாக 3C, 4H மற்றும் 6H வகைகள், மற்றும் வெவ்வேறு படிக வடிவங்களின் sic வெவ்வேறு பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது. எடுத்துக்காட்டாக, உயர் சக்தி சாதனங்களை தயாரிக்க 4H-SIC பயன்படுத்தப்படலாம்; 6H-SIC மிகவும் நிலையானது மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களை தயாரிக்க பயன்படுத்தலாம்; 3C-SIC, GAN ஐ ஒத்த அதன் கட்டமைப்பின் காரணமாக, GAN EPITAXIAL அடுக்குகளை உருவாக்கி SIC-GAN RF சாதனங்களை தயாரிக்க பயன்படுத்தலாம். 3C-SIC பொதுவாக β-SIC என்றும் குறிப்பிடப்படுகிறது. Β-SIC இன் முக்கியமான பயன்பாடு ஒரு மெல்லிய படம் மற்றும் பூச்சு பொருள். எனவே, β-SIC தற்போது பூச்சு செய்வதற்கான முக்கிய பொருளாகும்.