SiC செராமிக் வெற்றிட சக்

மூரின் சட்டத்திற்காக அவர்கள் பாடுபடுகையில், செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன் வசதிகளுக்கு செதில்-பிடிப்பு தளங்கள் தேவைப்படுகின்றன, அவை கடுமையான இயந்திர சக்திகளைத் தாங்கும் மற்றும் புடைப்புகள் அல்லது தாழ்வுகள் இல்லாமல் தட்டையாக இருக்கும். Semicorex SiC செராமிக் வெற்றிட சக் பாரம்பரிய அலுமினா மற்றும் துருப்பிடிக்காத எஃகு சக்ஸை மாற்றுவதற்கான சரியான தீர்வை வழங்குகிறது; அவை எடை விகிதத்திற்கு தேவையான விறைப்பை வழங்கும் மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக செயல்படாது, இவை இரண்டும் 300 மிமீ செதில்கள் மற்றும் அதற்கு அப்பால் செயலாக்க அவசியம்.

1. சின்டர்டு டென்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடை (SSiC) பயன்படுத்துவதன் மூலம் பொருள் நன்மைகள்.

எங்கள் முக்கிய கூறுSiC செராமிக்வெற்றிட சக் சின்டர்ட் ஆகும்சிலிக்கான் கார்பைடு, ஒரு பொருள் அதன் மிக வலுவான கோவலன்ட் பிணைப்பால் வரையறுக்கப்படுகிறது. எங்கள் SSiC நுண்துளை அல்லது எதிர்வினை-பிணைப்பு இல்லை; மாறாக, இது கிட்டத்தட்ட தத்துவார்த்த அடர்த்தியை (> 3.10 g/cm3) அடைய> 2000 டிகிரி செல்சியஸில் சின்டர் செய்யப்படுகிறது - எளிமையாகச் சொன்னால், வெற்றிட சக்ஸைத் தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் மற்ற பொருட்களை விட இது மிகவும் திடமானது.

விதிவிலக்கான இயந்திர விறைப்பு.

SSiC இன் யங்ஸ் மாடுலஸ் தோராயமாக 420 GPa ஆகும், இதனால் இது அலுமினாவை விட மிகவும் கடினமாக உள்ளது (தோராயமாக 380 GPa). நெகிழ்ச்சித்தன்மையின் இந்த உயர் மாடுலஸ் காரணமாக, வெற்றிட மற்றும் அதிவேக சுழற்சி நிலைகளின் கீழ் நமது சக்ஸ் நிலையாக இருக்கும் மற்றும் சிதைக்காது; எனவே, செதில்கள் "உருளைக்கிழங்கு சிப்" (அதாவது, வார்ப்) செய்யாது மற்றும் அவற்றின் முழு மேற்பரப்பு முழுவதும் எப்போதும் ஒரே மாதிரியான தொடர்பை ஏற்படுத்தும்.

வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைந்த CTE

உயர்-தீவிர UV ஒளி அல்லது உராய்வு-தூண்டப்பட்ட வெப்பம் சம்பந்தப்பட்ட செயல்முறைகளில், வெப்ப விரிவாக்கம் மேலடுக்கு பிழைகளுக்கு வழிவகுக்கும். எங்கள் SiC chucks குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (CTE) 4.0 x 10^{-6}/K, உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் (>120W/m·K) உடன் இணைந்துள்ளது. இந்த கலவையானது சக்கை விரைவாக வெப்பத்தை வெளியேற்ற அனுமதிக்கிறது, நீண்ட கால லித்தோகிராபி அல்லது மெட்ராலஜி சுழற்சிகளின் போது பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது.

2. துல்லிய பொறியியல் மற்றும் வடிவமைப்பு

தயாரிப்புப் படத்தில் தெரியும்படி, எங்கள் வெற்றிட சக்ஸ் குவிவு மற்றும் ரேடியல் வெற்றிட சேனல்களின் சிக்கலான நெட்வொர்க்கைக் கொண்டுள்ளது. இவை செதில் முழுவதும் ஒரே மாதிரியான உறிஞ்சுதலை உறுதி செய்வதற்காக தீவிர துல்லியத்துடன் CNC-இயந்திரம், செதில் உடைப்புக்கு வழிவகுக்கும் உள்ளூர் அழுத்த புள்ளிகளைக் குறைக்கிறது.

சப்-மைக்ரான் பிளாட்னஸ்: <1μm உலகளாவிய சமத்துவத்தை அடைய, மேம்பட்ட வைர அரைக்கும் மற்றும் லேப்பிங் நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துகிறோம். மேம்பட்ட லித்தோகிராஃபி முனைகளில் தேவைப்படும் குவிய ஆழத்தை பராமரிக்க இது மிகவும் முக்கியமானது.

லைட்வெயிட்டிங் (விரும்பினால்): ஸ்டெப்பர்கள் மற்றும் ஸ்கேனர்களில் அதிக முடுக்கம் நிலைகளுக்கு இடமளிக்க, கட்டமைப்பு விறைப்புத்தன்மையை சமரசம் செய்யாமல் வெகுஜனத்தைக் குறைக்கும் உள் தேன்கூடு "இலகு எடை" கட்டமைப்புகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.

சுற்றளவு சீரமைப்பு குறிப்புகள்: செயல்முறைக் கருவியில் உள்ள ரோபோடிக் எண்ட்-எஃபெக்டர்கள் மற்றும் சீரமைப்பு சென்சார்களுடன் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பை ஒருங்கிணைந்த குறிப்புகள் அனுமதிக்கின்றன.

3. செமிகண்டக்டர் சப்ளை செயினில் முக்கியமான பயன்பாடுகள்

எங்கள் SiC செராமிக் வெற்றிட சக்ஸ் தொழில்துறை தரநிலை:

வேஃபர் தின்னிங் & கிரைண்டிங் (சிஎம்பி): விளிம்பு சிப்பிங் இல்லாமல் மைக்ரான் அளவு வரை மெல்லிய செதில்களுக்குத் தேவையான உறுதியான ஆதரவை வழங்குதல்.

லித்தோகிராபி (ஸ்டெப்பர்ஸ்/ஸ்கேனர்கள்): துணை-7nm முனைகளுக்கு துல்லியமான லேசர் கவனம் செலுத்துவதை உறுதி செய்யும் அல்ட்ரா-பிளாட் "ஸ்டேஜ்" ஆக செயல்படுகிறது.

அளவியல் & AOI: உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட ஆய்வு மற்றும் குறைபாடு மேப்பிங்கிற்கு செதில்கள் மிகவும் தட்டையாக இருப்பதை உறுதி செய்தல்.

வேஃபர் டைசிங்: அதிவேக மெக்கானிக்கல் அல்லது லேசர் டைசிங் செயல்பாடுகளின் போது நிலையான உறிஞ்சுதலை வழங்குதல்.

செமிகோரெக்ஸில், வெற்றிட சக் அதன் மேற்பரப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் போலவே சிறந்தது என்பதை நாங்கள் புரிந்துகொள்கிறோம். ஒவ்வொரு சக் பல-நிலை தரக் கட்டுப்பாட்டு செயல்முறைக்கு உட்படுகிறது:

லேசர் இன்டர்ஃபெரோமெட்ரி: முழு விட்டம் முழுவதும் சமதளத்தை சரிபார்க்க.

ஹீலியம் கசிவு சோதனை: வெற்றிட சேனல்கள் முழுமையாக சீல் மற்றும் திறமையானவை என்பதை உறுதி செய்தல்.

கிளீன்ரூம் சுத்தம்: பூஜ்ஜிய உலோக அல்லது கரிம மாசுபாட்டை உறுதி செய்வதற்காக வகுப்பு 100 சூழல்களில் செயலாக்கப்பட்டது.

ஸ்லாட் வடிவங்கள், பரிமாணங்கள் மற்றும் பெருகிவரும் இடைமுகங்களைத் தனிப்பயனாக்க, எங்கள் பொறியியல் குழு OEM கருவி உற்பத்தியாளர்களுடன் நெருக்கமாகச் செயல்படுகிறது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கும், மேலடுக்கு துல்லியத்தை மேம்படுத்தும் மற்றும் அதீத ஆயுள் மூலம் உங்களின் மொத்த உரிமைச் செலவைக் குறைக்கும் ஒரு பாகத்தில் முதலீடு செய்கிறீர்கள்.