SiC செராமிக் ரோபோடிக் ஆர்ம்

SiC பீங்கான்ரோபோ கைபல குறைக்கடத்தி செதில் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது செதில் தயாரிப்பின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. செமிகண்டக்டர் செதில்களைக் கையாளுதல் மற்றும் நிலைநிறுத்துதல் ஆகியவற்றில் நேரடியாகப் பங்கேற்கும் பொறித்தல் இயந்திரங்கள், படிவு கருவிகள், லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள், சுத்தம் செய்யும் கருவிகள் போன்ற பல்வேறு குறைக்கடத்தி முன்-இறுதி உபகரணங்களின் அறைகளுக்கு உள்ளேயும் வெளியேயும் இது பொதுவாக நிறுவப்படுகிறது. 

செமிகண்டக்டர் செதில்கள் துகள்களால் எளிதில் மாசுபடுத்தப்படுகின்றன, எனவே அவற்றின் தொடர்புடைய உற்பத்தி செயல்முறைகள் முக்கியமாக சுத்தமான மற்றும் வெற்றிட குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் மேற்கொள்ளப்படுகின்றன. உண்மையான செயல்பாட்டில், அத்தகைய உபகரணங்களின் இன்றியமையாத அங்கமாக, SiC செராமிக் ரோபோடிக் கை, குறைக்கடத்தி செதில்களுடன் நேரடியாக தொடர்பு கொள்கிறது மற்றும் மிக உயர்ந்த தூய்மைத் தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸின் SiC செராமிக் ரோபோடிக் கையானது உயர் செயல்திறன் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் மற்றும் துல்லியமான மேற்பரப்பை முடித்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்தல் ஆகியவற்றால் ஆனது, இது தூய்மை மற்றும் மேற்பரப்பு தட்டையான செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் கடுமையான தேவைகளை துல்லியமாக பூர்த்தி செய்யும். இது செதில் குறைபாடுகளைக் குறைப்பதற்கும் செதில் உற்பத்தி விளைச்சலை மேம்படுத்துவதற்கும் குறிப்பிடத்தக்க பங்களிப்பை வழங்குகிறது.

SiC பீங்கான்அனீலிங், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் போன்ற வெப்ப சிகிச்சை நடைமுறைகளுக்கு ரோபோடிக் கை ஒரு சிறந்த தேர்வாகும். சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களின் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர்ந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு காரணமாக, SiC செராமிக் ரோபோடிக் கை அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் நீண்ட காலத்திற்கு நம்பகத்தன்மையுடன் செயல்பட முடியும். இது வெப்ப விரிவாக்கத்தின் செல்வாக்கை எதிர்க்கும் மற்றும் வெப்ப அழுத்தத்தின் கீழ் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பாதுகாத்து, அதன் மூலம் செதில் பொருத்துதலின் நிலையான துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.

அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் திரவங்களுக்கு அதன் வலுவான எதிர்ப்பிற்கு நன்றி, SiC செராமிக் ரோபோடிக் கை, பொறித்தல், மெல்லிய படல படிவு மற்றும் அயன் பொருத்துதல் போன்ற ஆக்கிரமிப்பு அரிக்கும் செயல்முறை வளிமண்டலங்களுக்கு வெளிப்படும் போதும் அதன் செயல்திறனை நிலையாக பராமரிக்க முடியும். இந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு செயல்திறன், அரிப்பு தொடர்பான கூறு சேதத்தின் அபாயத்தை திறம்பட குறைப்பதன் மூலம் குறைக்கடத்தி செதில் உற்பத்தியின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் அடிக்கடி மாற்றுதல் மற்றும் பராமரிப்பின் தேவையை குறைக்கிறது.