SiC படகுகள்

செமிகோரெக்ஸ்SiCபடகுகள் என்பது செமிகண்டக்டர் மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தியில் பரவல் செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட துல்லிய-பொறியியல் செராமிக் செதில் வைத்திருப்பவர்கள். இந்த உயர்-செயல்திறன் கூறுகள் டோபண்டுகளின் வெப்பப் பரவலின் போது சிலிக்கான் செதில்களைப் பாதுகாப்பாக வைத்திருப்பதன் மூலம் உயர்தர மின்னணு சாதனங்களின் உற்பத்தியை செயல்படுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. SiC படகுகள் அதிக தூய்மை, சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன அரிப்பை எதிர்க்கும் தன்மை உள்ளிட்ட அவற்றின் உயர்ந்த பொருள் பண்புகளால் பரவலாக ஏற்றுக்கொள்ளப்படுகின்றன, அவை அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் தேவைப்படும் சூழல்களில் இன்றியமையாதவை.

பரவல் செயல்முறைகளில் பயன்பாடுகள்

SiC படகுகள் முதன்மையாக பரவல் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது குறைக்கடத்தி மற்றும் சூரிய மின்கலத் தயாரிப்பில் ஒரு முக்கியமான படியாகும். இந்த செயல்முறையானது பாஸ்பரஸ் அல்லது போரான் போன்ற டோபண்டுகளை சிலிக்கான் செதில்களில் அவற்றின் மின் பண்புகளை மாற்றியமைக்க அறிமுகப்படுத்துகிறது. சீரான டோபண்ட் விநியோகம் மற்றும் சீரான செதில் தரத்தை உறுதிப்படுத்த, பரவலுக்கு துல்லியமான வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக நிலையான சூழல் தேவைப்படுகிறது. SiC படகுகளின் உயர்-வெப்பநிலைத் திறன்கள் மற்றும் நீடித்து நிலைப்பு ஆகியவை இந்தப் பயன்பாட்டிற்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன, குறிப்பாக N-வகை TOPCon (Tunnel Oxide Passivated Contact) மற்றும் பிற அடுத்த தலைமுறை ஒளிமின்னழுத்தக் கலங்கள் போன்ற மேம்பட்ட சூரிய மின்கலத் தொழில்நுட்பங்களில்.

SiC படகுகளின் முக்கிய அம்சங்கள்

உயர் தூய்மை:

SiC படகுகள் 86.5% தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களால் தயாரிக்கப்படுகின்றன. இது பரவல் செயல்பாட்டின் போது செதில்களின் குறைந்தபட்ச மாசுபாட்டை உறுதி செய்கிறது, குறைக்கடத்தி-தர பொருட்களுக்கு தேவையான உயர் தரத்தை பராமரிக்கிறது.

வெப்ப நிலைத்தன்மை:

சிலிக்கான் கார்பைடுஇன் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவை படகுகள் விரைவான வெப்பநிலை மாற்றங்களைத் தாங்கி, 1,000°C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க உதவுகிறது. இந்த நிலைத்தன்மை பல பரவல் சுழற்சிகளில் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

இரசாயன எதிர்ப்பு:

SiC படகுகள், பாஸ்பைன் மற்றும் போரான் ட்ரைகுளோரைடு போன்ற வினைத்திறன் டோபண்ட் வாயுக்களுக்கு வெளிப்பட்டாலும் கூட, இரசாயன அரிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகின்றன. இந்த சொத்து நீண்ட கால ஆயுளை உறுதி செய்கிறது மற்றும் மாசுபாட்டின் அபாயத்தை குறைக்கிறது.

துல்லிய பொறியியல்:

SiC படகுகளின் வடிவமைப்பு பல்வேறு விட்டம் கொண்ட செதில்களை பாதுகாப்பாக வைக்க அதிக துல்லியத்தை வலியுறுத்துகிறது. மேம்பட்ட உற்பத்தி நுட்பங்கள் தன்னியக்க கையாளுதல் அமைப்புகளுடன் சீரான தன்மை மற்றும் இணக்கத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன, உயர்-செயல்திறன் உற்பத்தி வரிகளில் செயல்பாட்டு திறனை மேம்படுத்துகின்றன.

ஆயுள் மற்றும் ஆயுள்:

SiC படகுகள் விதிவிலக்கான உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன, இது மற்ற பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது அவற்றின் சேவை வாழ்க்கையை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது. மாற்றீடுகளின் அதிர்வெண்ணைக் குறைப்பதன் மூலம் உற்பத்தியாளர்களுக்கு இந்த நீடித்துழைப்பு செலவு சேமிப்புக்கு மொழிபெயர்க்கிறது.

தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்கள்:

குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தியாளர்களின் பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, SiC படகுகள் பரிமாணங்கள், செதில் திறன் மற்றும் வடிவமைப்பு விவரக்குறிப்புகள் ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் தனிப்பயனாக்கலாம். இந்த நெகிழ்வுத்தன்மை குறிப்பிட்ட பரவல் அமைப்புகள் மற்றும் செயல்முறைகளுடன் இணக்கத்தை உறுதி செய்கிறது.

பரவல் செயல்முறைகளில் SiC படகுகளின் நன்மைகள்

SiC படகுகள் குவார்ட்ஸ் அல்லது கிராஃபைட் போன்ற பாரம்பரிய பொருட்களை விட தனித்துவமான நன்மைகளை வழங்குகின்றன:

குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு ஆபத்து:

உயர் தூய்மைசிலிக்கான் கார்பைடுபரவல் செயல்பாட்டின் போது செதில் தரத்தை சமரசம் செய்யக்கூடிய அசுத்தங்களின் வெளியீட்டைக் குறைக்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை திறன்:

SiC இன் வெப்ப கடத்துத்திறன் அனைத்து செதில்களிலும் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, டோபண்ட் பரவல் நிலைத்தன்மையை அதிகரிக்கிறது மற்றும் குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட பாதுகாப்பு மற்றும் நம்பகத்தன்மை:

SiC இன் இயந்திர வலிமை மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் உருமாற்றத்திற்கு எதிர்ப்பு ஆகியவை பாதுகாப்பான செயல்பாட்டிற்கு பங்களிக்கின்றன மற்றும் பரவல் சூழல்களை கோருவதில் மிகவும் நம்பகமான முடிவுகளுக்கு பங்களிக்கின்றன.

நிலைத்தன்மை:

SiC படகுகளின் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை கழிவுகளை குறைக்கிறது மற்றும் சுற்றுச்சூழல் நிலையான உற்பத்தி நடைமுறைகளை ஆதரிக்கிறது.

பரவலுக்கு அப்பாற்பட்ட பயன்பாடுகள்

பரவல் செயல்முறைகள் SiC படகுகளின் முதன்மைப் பயன்பாட்டைப் பிரதிநிதித்துவப்படுத்தும் அதே வேளையில், அவற்றின் வலுவான பண்புகள் அவற்றை மற்ற உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றதாக ஆக்குகின்றன:

• குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அனீலிங்.
• மெல்லிய படல வளர்ச்சிக்கான இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறைகள்.
• மேம்பட்ட ஒளிமின்னழுத்த செல் உற்பத்தியில் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகள்.

SiC படகுகள் பரவல் செயல்பாட்டில் இன்றியமையாத கூறுகள் ஆகும், இது குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த சாதனங்களின் துல்லியமான மற்றும் நம்பகமான உற்பத்தியை செயல்படுத்துகிறது. இந்த சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் ஹோல்டர்கள் அவற்றின் பொருந்தாத பொருள் பண்புகள், நீடித்து நிலைப்பு மற்றும் தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்களுடன், உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் தேவையுள்ள பயன்பாடுகளில் செயல்திறனுக்கான புதிய தரநிலையை அமைத்துள்ளனர். Semicorex's SiC படகுகள், தொழில்துறையின் வளர்ந்து வரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, மேலும் பெருகிய முறையில் போட்டியிடும் சந்தையில் உற்பத்தியாளர்களுக்குத் தேவையான கருவிகளை வழங்குகின்றன.