SiC படகு

Semicorex SiC படகுகள், உயர்-தூய்மை SiC செராமிக் மூலம் உன்னிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, இது ஒப்பிடமுடியாத வெப்ப நிலைத்தன்மை, விதிவிலக்கான இயந்திர வலிமை மற்றும் அசைக்க முடியாத இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றிற்காக கொண்டாடப்படுகிறது. இந்த குணங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கடுமையான நிலைமைகளுக்கு சரியான தேர்வாக அமைகிறது.

SiC படகுகள், பொருளின் கடினத்தன்மை மற்றும் அணிவதற்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பின் காரணமாக, இணையற்ற இயந்திர வலிமை மற்றும் நீடித்து நிலைத்தன்மையைப் பெருமைப்படுத்துகின்றன. இது படிப்படியாக தேய்மானம் மற்றும் கிழிவுக்கு அடிபணியாமல் உயர்-செயல்திறன் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களின் கோரும் தன்மையை தாங்கிக்கொள்ள அவர்களுக்கு உதவுகிறது. மற்ற பொருட்களைப் போலல்லாமல், SiC அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை காலப்போக்கில் பராமரிக்கிறது, அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை கணிசமாகக் குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி நடவடிக்கைகளில் வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது - இறுதியில் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு கணிசமான செலவு சேமிப்புக்கு வழிவகுக்கிறது.

SiC இன் இரசாயன செயலற்ற தன்மையானது, வினைத்திறன் வாயுக்கள் மற்றும் குளோரின் மற்றும் ஃவுளூரின் போன்ற பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களிலிருந்து இரசாயனத் தாக்குதலுக்கு அதிக எதிர்ப்பை வழங்குவதன் மூலம் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கான அதன் பொருத்தத்தை மேலும் திடப்படுத்துகிறது. இந்த வலுவான எதிர்ப்பானது SiC படகுகள் செயலாக்கத்தின் போது செதில்களை மாசுபடுத்தாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது, இதன் மூலம் புனையப்படும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் தூய்மை மற்றும் தரத்தை நிலைநிறுத்துகிறது. இன்னும் அதிக அளவிலான இரசாயன எதிர்ப்பைக் கோரும் செயல்முறைகளுக்கு, SiC படகுகள் SiC இன் கூடுதல் அடுக்குடன் பூசப்படலாம், இரசாயனத் தாக்குதலுக்கு எதிராக கூடுதல் தடையை அளிக்கிறது மற்றும் துகள் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்க படகின் மேற்பரப்பை உயர்த்துகிறது.

இந்த படகுகளில் பயன்படுத்தப்படும் SiC பீங்கான்களின் உயர் தூய்மை மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியானது குறைந்தபட்ச அசுத்தங்கள் கொண்ட பொருட்களை கட்டாயமாக்குகிறது. அசுத்தங்களின் சுவடு அளவு கூட செதில்களின் மின் பண்புகளை பாதிக்கலாம் மற்றும் இறுதி சாதனங்களில் குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தும். SiC படகுகள் அதி-உயர்-தூய்மை SiC செராமிக் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, அவை செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனுக்குப் பொதுவான உயர்ந்த வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை நிலைகளில் கூட, செயல்முறை சூழலில் எந்த அசுத்தங்களையும் அறிமுகப்படுத்துவதில்லை. இந்தத் தூய்மையானது முக்கியமான செயல்முறைப் படிகளுக்கு SiC படகுகளின் நம்பகத்தன்மையை உறுதிப்படுத்துகிறது.

பல்வேறு குறைக்கடத்தி உபகரணங்களுடன் SiC படகுகளின் இணக்கத்தன்மை மிக முக்கியமானது. SiC இன் பன்முகத்தன்மையானது, பல்வேறு வகையான குறைக்கடத்தி உலைகள் மற்றும் உலைகளுக்குத் தேவையான குறிப்பிட்ட பரிமாணங்கள் மற்றும் உள்ளமைவுகளுக்குப் பொருத்தமாக, சிறிய அளவிலான ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு செயல்பாடுகள் முதல் பெரிய அளவிலான உற்பத்திக் கோடுகள் வரை பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளுக்குப் பொருத்தமானதாக அமைகிறது. கூடுதலாக, பொருளின் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்பச் சிதறல் பண்புகள் செயலாக்கத்தின் போது மிகவும் திறமையான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டிற்கு பங்களிக்கிறது, மேலும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.