SiC ஆக்சில் ஸ்லீவ்

செமிகோரெக்ஸ் உங்கள் OEM செமி ஃபேப்ரிகேஷன் கருவிகள் மற்றும் வேஃபர் கையாளும் கூறுகளுக்கு செமிகண்டக்டர் தர மட்பாண்டங்களை வழங்குகிறது. நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு படத்தின் தயாரிப்பாளர் மற்றும் சப்ளையர். எங்கள் SiC ஆக்சில் ஸ்லீவ் ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பெரும்பாலான ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

எங்கள் SiC ஆக்சில் ஸ்லீவ் அரிப்புக்கு நல்ல எதிர்ப்பையும், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு சிறந்த எதிர்ப்பையும் கொண்டுள்ளது. நெகிழ்ச்சித்தன்மையின் உயர் மாடுலஸ் மேலும் சிறந்த பரிமாண நிலைத்தன்மையை விளைவிக்கிறது. கூடுதலாக, பீங்கான் பொருளின் பூஜ்ஜிய போரோசிட்டி மற்றும் குறைந்த துளை அடர்த்தி உள்ளது.

வாடிக்கையாளர்களின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப அனைத்து வகையான SiC ஆக்சில் ஸ்லீவ்களையும் நாங்கள் செயல்படுத்த முடியும்.

SiC ஆக்சில் ஸ்லீவின் அளவுருக்கள்

தொழில்நுட்ப பண்புகள்
குறியீட்டு	அலகு	மதிப்பு
பொருள் பெயர்		எதிர்வினை சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு	அழுத்தம் இல்லாத சிலிக்கான் கார்பைடு	மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு
கலவை		RBSiC	SSiC	R-SiC
மொத்த அடர்த்தி	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
நெகிழ்வு வலிமை	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
அமுக்க வலிமை	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
கடினத்தன்மை	பொத்தான்	2700	2800	/
பிரேக்கிங் டெனாசிட்டி	MPa m1/2	4.5	4	/
வெப்ப கடத்துத்திறன்	W/m.k	95	120	23
வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம்	10^-6.1/°C	5	4	4.7
குறிப்பிட்ட வெப்பம்	ஜூல்/கிராம் 0கே	0.8	0.67	/
காற்றில் அதிகபட்ச வெப்பநிலை	℃	1200	1500	1600
மீள் மாடுலஸ்	ஜி.பி.ஏ	360	410	240

Semicorex மூன்று வடிவங்களில் SiC ஆக்சில் ஸ்லீவ் தயாரித்தது, எதிர்வினை சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு(RBSiC), பிரஷர்லெஸ் சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு(SSiC) மற்றும் ரீகிரிஸ்டல் சிலிக்கான் கார்பைடு(R-SiC).

SSiC மற்றும் RBSiC இடையே உள்ள வேறுபாடு:

1. சின்டரிங் செயல்முறை வேறுபட்டது. RBSiC என்பது குறைந்த வெப்பநிலையில் இலவச Si ஐ சிலிக்கான் கார்பைடுக்குள் ஊடுருவச் செய்வதாகும், SSiC ஆனது 2100 டிகிரியில் இயற்கையான சுருக்கத்தால் உருவாகிறது.

2. SSiC மென்மையான மேற்பரப்பு, அதிக அடர்த்தி மற்றும் அதிக வலிமை கொண்டது, மேலும் கடுமையான மேற்பரப்பு தேவைகள் கொண்ட சில சீல்களுக்கு, SSiC சிறப்பாக இருக்கும்.

3. வெவ்வேறு PH மற்றும் வெப்பநிலையின் கீழ் வெவ்வேறு நேரம் பயன்படுத்தப்படுகிறது, SSiC RBSiC ஐ விட நீளமானது

SiC ஆக்சில் ஸ்லீவின் அம்சங்கள்

- அதிக வலிமை (மோஸ் கடினத்தன்மை 9.5, வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக)

- அமிலங்கள், காரங்கள், உப்புகள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்களுக்கு அரிப்பு எதிர்ப்பு

- உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு, நீண்ட ஆயுள்

- குறைக்கடத்திகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் கிடைக்கும் வடிவங்கள்:

● பீங்கான் கம்பி / பீங்கான் முள் / பீங்கான் உலக்கை

● பீங்கான் குழாய் / பீங்கான் புஷிங் / செராமிக் ஸ்லீவ்

● பீங்கான் வளையம் / பீங்கான் வாஷர் / செராமிக் ஸ்பேசர்

● பீங்கான் வட்டு

● பீங்கான் தட்டு / பீங்கான் தொகுதி