RTA SiC வேஃபர் கேரியர்கள்

ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் வெப்ப செயலாக்க நுட்பமாகும். ஆலசன் அகச்சிவப்பு விளக்குகளை வெப்ப ஆதாரமாகப் பயன்படுத்தி, இது செதில்கள் அல்லது குறைக்கடத்திப் பொருட்களை 300 ℃ மற்றும் 1200℃ க்கு இடைப்பட்ட வெப்பநிலையில் மிக விரைவான வெப்பமூட்டும் விகிதத்துடன், அதைத் தொடர்ந்து விரைவான குளிரூட்டலுடன் விரைவாக வெப்பப்படுத்துகிறது. விரைவான வெப்ப அனீலிங் செயல்முறையானது செதில்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி பொருட்களில் உள்ள எஞ்சிய அழுத்தம் மற்றும் குறைபாடுகளை நீக்கி, பொருளின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. RTA SiC வேஃபர் கேரியர்கள் RTA செயல்பாட்டில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் இன்றியமையாத சுமந்து செல்லும் கூறு ஆகும், இது செயல்படும் போது செதில் மற்றும் குறைக்கடத்தி பொருட்களை நிலையானதாக ஆதரிக்கும் மற்றும் நிலையான வெப்ப சிகிச்சை விளைவை உறுதி செய்கிறது.

Semicorex RTA SiC வேஃபர் கேரியர்களின் நன்மைகள்

1. உயர்ந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை

செமிகோரெக்ஸ் ஆர்டிஏ எஸ்ஐசி வேஃபர் கேரியர்கள் சிறந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மையை வழங்குகின்றன மற்றும் கடுமையான ஆர்டிஏ நிலைமைகளின் கீழ் பல்வேறு இயந்திர அழுத்தங்களைத் தாங்கும் அதே வேளையில் பரிமாண ரீதியாக நிலையானதாகவும் நீடித்ததாகவும் இருக்கும். அவற்றின் சிறந்த கடினத்தன்மையுடன், RTA SiC வேஃபர் கேரியர்களின் மேற்பரப்பு கீறல்கள் குறைவாக உள்ளது, இது ஒரு தட்டையான, மென்மையான ஆதரவு மேற்பரப்பை வழங்குகிறது, இது கேரியர் கீறல்களால் ஏற்படும் செதில் சேதத்தை திறம்பட தடுக்கிறது.

2. விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன்

Semicorex RTA SiC வேஃபர் கேரியர்கள் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டிருக்கின்றன, அவை வெப்பத்தை திறம்பட சிதறடித்து நடத்துகின்றன. விரைவான வெப்ப செயலாக்கத்தின் போது அவை துல்லியமான வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாட்டை வழங்க முடியும், இது செதில்களுக்கு வெப்ப சேதத்தின் அபாயத்தைக் கணிசமாகக் குறைக்கிறது மற்றும் அனீலிங் செயல்முறையின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

3. சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை

சிலிக்கான் கார்பைடு 2700 டிகிரி செல்சியஸ் உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் 1350-1600 டிகிரி செல்சியஸ் தொடர்ச்சியான இயக்க வெப்பநிலையில் சிறந்த நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது. இது செமிகோரெக்ஸை வழங்குகிறதுRTA SiC வேஃபர் கேரியர்கள்உயர் வெப்பநிலை RTA இயக்க நிலைமைகளுக்கு சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை. கூடுதலாக, வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகத்துடன், செமிகோரெக்ஸ் ஆர்டிஏ எஸ்ஐசி வேஃபர் கேரியர்கள் விரைவான வெப்பமாக்கல் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளின் போது சீரற்ற வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கத்தால் ஏற்படும் விரிசல் அல்லது சேதத்தைத் தவிர்க்கலாம்.

4. சிறந்த குறைந்த-மாசு செயல்திறன்

கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட உயர் தூய்மையிலிருந்து உருவாக்கப்பட்டதுசிலிக்கான் கார்பைடு, Semicorex RTA SiC வேஃபர் கேரியர்கள் குறைந்த தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்தைக் கொண்டுள்ளன. அவற்றின் குறிப்பிடத்தக்க இரசாயன எதிர்ப்புக்கு நன்றி, செமிகோரெக்ஸ் ஆர்டிஏ எஸ்ஐசி வேஃபர் கேரியர்கள் விரைவான வெப்ப அனீலிங் போது செயல்முறை வாயுக்களிலிருந்து அரிப்பைத் தவிர்க்க முடிகிறது, இதன் மூலம் எதிர்வினைகளால் ஏற்படும் செதில் மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் கடுமையான தூய்மைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.