செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக், எம்ஓசிவிபி செமிகண்டக்டர் உற்பத்திப் பகுதிகளில் கவனம் செலுத்தும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட், துல்லியமான இயந்திரம் கொண்ட உயர் தூய்மை கிராஃபைட் ஆகியவற்றின் சுயாதீன சொந்த உற்பத்தியாளர். எங்கள் Robot End Effector ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
ரோபோ எண்ட் எஃபெக்டர் என்பது ரோபோவின் கை ஆகும், இது செமிகண்டக்டர் செதில்களை செதில் செயலாக்க உபகரணங்கள் மற்றும் கேரியர்களின் நிலைகளுக்கு இடையில் நகர்த்துகிறது. ரோபோ எண்ட் எஃபெக்டர் பரிமாண ரீதியாக துல்லியமாகவும், வெப்ப நிலைத்தன்மையுடனும் இருக்க வேண்டும், அதே சமயம் ஒரு மென்மையான, சிராய்ப்பு-எதிர்ப்பு மேற்பரப்புடன், சாதனங்களை சேதப்படுத்தாமல் அல்லது துகள் மாசுபாட்டை உருவாக்காமல் செதில்களைப் பாதுகாப்பாகக் கையாள வேண்டும். எங்களின் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு ரோபோ எண்ட் எஃபெக்டர் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பையும், நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மையையும், நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது.
ரோபோ எண்ட் எஃபெக்டரின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
ரோபோ எண்ட் எஃபெக்டரின் அம்சங்கள்
உயர் தூய்மை SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்
சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை
மென்மையான மேற்பரப்பிற்காக ஃபைன் SiC கிரிஸ்டல் பூசப்பட்டது
இரசாயன சுத்தம் எதிராக உயர் ஆயுள்
விரிசல் மற்றும் சிதைவு ஏற்படாத வகையில் பொருள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.