பரவல் உலைகளுக்கான செயல்முறை குழாய்

பரவல் உலைகளுக்கான செமிகோரெக்ஸ் செயல்முறை குழாய் பொதுவாக CVD SiC பூச்சுடன் உயர்-தூய்மை SiC ஆல் செய்யப்படுகிறது. இந்த பொருட்கள் அவற்றின் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் உயர் வெப்பநிலைகளுக்கு எதிர்ப்பிற்காக தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றன.

பரவல் உலைகளுக்கான செமிகோரெக்ஸ் செயல்முறை குழாய் உருளை வடிவத்தில் உள்ளது, மூடிய முனை மற்றும் திறந்த முனையுடன் உள்ளது. இது பரவல் உலைக்குள் செருகப்பட்டு, பரவல் செயல்முறை நடைபெறும் ஒரு சீல் அறையை உருவாக்குகிறது. வாயுக்களின் கசிவைத் தடுக்கவும் மற்றும் உலைக்குள் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வளிமண்டலத்தை பராமரிக்கவும் குழாய் கவனமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

பரவல் உலைகளுக்கான செயல்முறைக் குழாய் குறைக்கடத்தி சாதனங்களைத் தயாரிப்பதில் முக்கியப் பங்கு வகிக்கிறது. இது பரவல் செயல்முறைகளுக்கான கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழலை வழங்குகிறது, சீரான ஊக்கமருந்து சுயவிவரங்கள் மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்கள் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. உயர் தூய்மை பொருட்கள் மற்றும் கவனமாக வடிவமைப்பு பரிசீலனைகள் செயல்முறை குழாய் ஒருமைப்பாடு பராமரிக்க மற்றும் உயர்தர குறைக்கடத்தி செதில்கள் உற்பத்தி உறுதி உதவுகிறது.