நுண்துளை டான்டலம் கார்பைடு வளையங்கள்

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) இங்காட்களின் உயர்-பங்கு உற்பத்தியில், "சூடான மண்டலம்" சூழல் குறைக்கடத்தி துறையில் மிகவும் தண்டனைக்குரிய ஒன்றாகும். 2,200 முதல் 2500℃ வரையிலான வெப்பநிலையில் செயல்படும் நிலையான பயனற்ற பொருட்கள், படிக லட்டுகளை அழிக்கும் உலோக அசுத்தங்களை அடிக்கடி மேம்படுத்துகின்றன அல்லது அறிமுகப்படுத்துகின்றன. செமிகோரெக்ஸ் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு மோதிரங்கள் இந்த தீவிர சவால்களுக்கு ஒற்றைக்கல், சின்டர்டு தீர்வாக வடிவமைக்கப்பட்டு, நீண்ட கால படிக வளர்ச்சி சுழற்சிகளுக்கு தேவையான கட்டமைப்பு மற்றும் வேதியியல் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது.

1. மோனோலிதிக் சின்டர்டு அமைப்பு: தூய்மை மற்றும் ஒருமைப்பாடு

பாரம்பரிய பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகளைப் போலல்லாமல், எங்கள் போரஸ் TaC மோதிரங்கள் முழு உடல் சின்டரிங் செயல்முறை மூலம் தயாரிக்கப்படுகின்றன. இது ஒரு "திட-நிலை" பீங்கான் உடலை உருவாக்குகிறது, அது அதன் முழு அளவு முழுவதும் அதன் இரசாயன அடையாளத்தை பராமரிக்கிறது.

அல்ட்ரா-ஹை ப்யூரிட்டி: டான்டலம் கார்பைடு உள்ளடக்கம் 99.9% அதிகமாக இருப்பதால், இந்த மோதிரங்கள் வாயுவை வெளியேற்றும் அபாயத்தைக் குறைக்கின்றன அல்லது SiC இங்காட்டில் மைக்ரோபைப்புகள் அல்லது பிற இடப்பெயர்வுகளுக்கு வழிவகுக்கும் உலோக சுவடு கூறுகளை வெளியிடுகின்றன.

டெலமினேஷன் இல்லை: மோதிரம் பூச்சு இல்லை என்பதால், வெப்ப விரிவாக்கம் பொருந்தாததால் உரிதல் அல்லது "உரித்தல்" ஆபத்து இல்லை, இது நிலையான பூசப்பட்ட பாகங்களில் பொதுவான தோல்வி பயன்முறையாகும்.

2. PVT உகப்பாக்கத்திற்கான பொறியியல் போரோசிட்டி

எங்களின் டான்டலம் கார்பைட்டின் "போரஸ்" தன்மையானது, இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) செயல்முறைக்கான வேண்டுமென்றே பொறியியல் தேர்வாகும். துளை அளவு மற்றும் விநியோகத்தைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், பல முக்கியமான செயல்முறை நன்மைகளை நாங்கள் செயல்படுத்துகிறோம்:

வெப்ப காப்பு மற்றும் சாய்வு கட்டுப்பாடு: நுண்துளை அமைப்பு உயர் செயல்திறன் கொண்ட வெப்ப இன்சுலேட்டராக செயல்படுகிறது, மூலப்பொருளிலிருந்து விதை படிகத்திற்கு SiC நீராவியை இயக்க தேவையான செங்குத்தான மற்றும் நிலையான வெப்பநிலை சாய்வுகளை பராமரிக்க உதவுகிறது.

நீராவி கட்ட மேலாண்மை: வளையத்தின் ஊடுருவல் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வாயு பரவல் மற்றும் க்ரூசிபிளுக்குள் அழுத்தம் சமநிலைப்படுத்த அனுமதிக்கிறது, இது படிகமயமாக்கல் இடைமுகத்தை சீர்குலைக்கும் கொந்தளிப்பைக் குறைக்கிறது.

இலகுரக ஆயுள்: போரோசிட்டி வெப்ப மண்டலக் கூறுகளின் ஒட்டுமொத்த வெகுஜனத்தைக் குறைக்கிறது, இது TaC இன் உள்ளார்ந்த உயர் இயந்திர வலிமையைப் பராமரிக்கும் போது வேகமான வெப்ப மறுமொழி நேரத்தை அனுமதிக்கிறது.

3. விதிவிலக்கான இரசாயன மற்றும் வெப்ப மீள்தன்மை

டான்டலம் கார்பைடு எந்த பைனரி சேர்மத்திலும் ($3,880^\circ C$) அதிக உருகுநிலையைக் கொண்டுள்ளது. ஆக்கிரமிப்பு SiC நீராவி மற்றும் உயர் வெப்பநிலை சூழல்களின் முன்னிலையில், எங்கள் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு வளையங்கள் வழங்குகின்றன:

Si/C நீராவிக்கு செயலற்ற தன்மை: கிராஃபைட்டைப் போலல்லாமல், சிலிக்கான் நீராவியுடன் வினைபுரிந்து SiC ஐ உருவாக்கி, C/Si விகிதத்தை மாற்ற முடியும், TaC ஆனது வேதியியல் ரீதியாக நிலையானதாக உள்ளது, இது வளர்ச்சி செயல்முறையின் நோக்கம் கொண்ட ஸ்டோச்சியோமெட்ரியைப் பாதுகாக்கிறது.

வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு: ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்பட்ட நுண்ணிய கட்டமைப்பானது நெகிழ்ச்சியின் அளவை வழங்குகிறது, இது மோதிரம் மீண்டும் மீண்டும், வேகமான வெப்ப சுழற்சிகளில் விரிசல் இல்லாமல் வாழ அனுமதிக்கிறது.