போரஸ் சிக் சக்

செமிகோரெக்ஸ் போரஸ் சிக் சக் என்பது ஒரு பீங்கான் பகுதியாகும், இது ஆய்வு, சோதனை மற்றும் லித்தோகிராஃபி போன்ற செயல்முறை நடவடிக்கைகள் மூலம் செமிகண்டக்டர் பயன்பாடுகளுக்கான பாதுகாப்பான, திறமையான செதில் அடி மூலக்கூறுகளை கையாள்வதற்கான துல்லியத்துடன் கூடியது. சக் மைக்ரோ-நுண்ணிய சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் (sic) தயாரிக்கப்படுகிறது. SIC க்கு இயந்திர வலிமை, வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும் அதிநவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களுக்கு தேவையான வெப்ப நிலைத்தன்மை பண்புகள் உள்ளன.

நுண்ணிய சிக் சக்கின் ஒரு அத்தியாவசிய பண்பு அதன் தனித்துவமான நுண் கட்டமைப்பு ஆகும், இது 35%-40%போரோசிட்டியை வெளிப்படுத்துகிறது. சக் இறுக்கமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்டதன் மூலம், சக் முழுவதும் வெற்றிட உறிஞ்சலை சமமாக விநியோகிக்க அதிகப்படியான வடிவமைப்பு அனுமதிக்கிறது, இது பொதுவாக மென்மையான செதில் அடி மூலக்கூறுகளுக்கு நிலையான நிலையான மற்றும் தொடர்பு அல்லாத ஆதரவை உருவாக்குகிறது: சிலிக்கான் அல்லது கான் மற்றும் பிற கூட்டு செமிகண்டக்டர்கள்.  வெற்றிட உறிஞ்சும் பயன்முறை துகள் மாசுபாடு மற்றும் இயந்திர சேதம் இரண்டையும் தவிர்க்கிறது, இதன் மூலம் செயல்பாட்டின் போது செதில் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கிறது.

சக்கின் பீங்கான் உடல் முதன்மையாக அதிக தூய்மை SIC ஆகும், இதில் அலுமினா (AL2O3) போன்ற பிற மட்பாண்டங்கள் உள்ளன, இது பயன்பாட்டைப் பொறுத்து குறிப்பிட்ட எண்ணிக்கையிலான செயல்பாட்டு அடுக்குகளுக்கு பயன்படுத்தப்படலாம். பொருளின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு துளை அளவு மற்றும் விநியோகத்தை நிர்வகிக்க அனுமதிக்க அனுமதிக்கிறது, அவை செதில் அளவுகள் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகளைப் பொறுத்து காற்றோட்டத்தையும் வைத்திருக்கும் சக்தியையும் வடிவமைக்கின்றன. மெல்லிய செதில்களில் வெற்றிடத்தைக் கட்டுப்படுத்துவது முக்கியம் என்றால், சிறிய துளை அளவு இணைக்கப்படும். பொருத்தமான இடங்களில் வேகமான ஓட்ட விகிதங்களுக்கு, பெரிய துளை அளவு பயன்படுத்தப்படும்.

மாறுபட்ட துளை அளவுகள், பீங்கான் கலவைகள் மற்றும் துப்பாக்கி சூடு நிலைமைகளின் விளைவாக போரஸ் சிக் சக்ஸ் வண்ண மாறுபாட்டை வெளிப்படுத்துகிறது. சிலிக்கான் கார்பைட்டின் நிறம் சாம்பல் அல்லது கருப்பு நிறமாக இருப்பதால் SIC சக்ஸ் கருப்பு அல்லது அடர் சாம்பல் நிறமாக இருக்கும், இருப்பினும் பெரிய அலுமினா உள்ளடக்கத்துடன் கூடிய சக்ஸ் வெள்ளை நிறத்தில் இருக்கும். வண்ணத்தில் உள்ள மாறுபாடுகள் உற்பத்தியின் செயல்திறனில் எந்த விளைவையும் ஏற்படுத்தாது மற்றும் குறிப்பிட்ட வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு இணங்க குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளுக்காக உருவாக்கப்பட்ட பொறியியல் பண்புகளை மட்டுமே குறிக்கின்றன.

உயர்நிலை செதில் செயலாக்க கருவிகளில், வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை ஆகியவை இரண்டு மிக முக்கியமான அம்சங்களாகும். சிலிக்கான் கார்பைடு அரிப்பு வாயுக்கள் மற்றும் வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதலுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. நுண்ணிய SIC சக் வெற்றிட அறைகள் மற்றும் பிளாஸ்மா எட்ச் கருவிகளில் வெற்றிகரமாக இயங்குகிறது, மேலும் இது வேகமாக மாறிவரும் வெப்பநிலையுடன் தொடர்ந்து சிறப்பாக செயல்படுகிறது. சக்கின் மங்கலான நிலைத்தன்மையை பராமரிப்பதற்கான அவர்களின் திறன், செதில் ஒரே இடத்தில் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, துல்லியமான தேவைகள் துணை மைக்ரோனுக்கு கீழே இருக்கக்கூடும் என்றாலும், பரிமாண உறுதிப்படுத்தப்பட்ட செயல்முறையைப் பொறுத்து துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.

சீரான போரோசிட்டி, அதிக நெகிழ்வு வலிமை மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கத்தை வழங்கும் அங்கீகரிக்கப்பட்ட உருவாக்கம் மற்றும் சின்தேரிங் நடைமுறைகளைப் பயன்படுத்தி செமிகோரெக்ஸ் போரஸ் எஸ்.ஐ.சி சக்ஸ் செய்யப்படுகிறது. ஒவ்வொரு சக் ஒரு நம்பகமான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தயாரிப்பை உறுதிப்படுத்த துளை அமைப்பு, தட்டையானது மற்றும் வெற்றிட செயல்திறனுக்காக ஆய்வு செய்யப்படுகிறது. குறிப்பிட்ட செதில் அளவுகள் மற்றும் பின் பக்க வாயு ஓட்ட சேனல்கள் அல்லது பெருகிவரும் அம்சங்கள் போன்ற கணினி ஒருங்கிணைப்பு தேவைகளுக்கு இடமளிக்க தனிப்பயன் வடிவமைப்புகள் கிடைக்கின்றன.

முடிவில், நுண்ணிய SIC சக் என்பது அதிக நம்பகத்தன்மை அடி மூலக்கூறு ஆதரவு அமைப்பாகும், இது துல்லியமான செதில் செயலாக்கத்திற்கான தேவைகளுடன் இணைந்து செயல்பட கவனமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதிக வெற்றிட ஹோல்டிங் திறன், தனிப்பயனாக்கக்கூடிய துளை அமைப்பு மற்றும் சிறந்த பொருள் ஸ்திரத்தன்மை ஆகியவற்றுடன், இது இன்றைய குறைக்கடத்தி புனையல் வரிகளில் இன்றியமையாத தயாரிப்பு ஆகும்.