செமிகோரெக்ஸ் என்பது சீனாவில் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டரின் பெரிய அளவிலான உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குகள் மற்றும் எபிடாக்ஸி குறைக்கடத்தி போன்ற குறைக்கடத்தி தொழில்களில் நாங்கள் கவனம் செலுத்துகிறோம். செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களுக்கான எங்கள் கேஸ் இன்லெட் ரிங் ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களுக்கான செமிகோரெக்ஸ் கேஸ் இன்லெட் ரிங் என்பது SiC பூசப்பட்டதாகும், இது அடர்த்தியான, தேய்மானத்தை எதிர்க்கும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு ஆகும். இது அதிக அரிப்பு மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பு பண்புகள் மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது. வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி கிராஃபைட்டில் மெல்லிய அடுக்குகளில் SiC ஐப் பயன்படுத்துகிறோம்.
செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களுக்கான எங்கள் கேஸ் இன்லெட் ரிங் சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவத்தை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களுக்கான எங்கள் கேஸ் இன்லெட் ரிங் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
குறைக்கடத்தி உபகரணங்களுக்கான கேஸ் இன்லெட் வளையத்தின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களுக்கான கேஸ் இன்லெட் வளையத்தின் அம்சங்கள்
● உயர் தூய்மை SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்
● சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை
● ஒரு மென்மையான மேற்பரப்பிற்காக பூசப்பட்ட ஃபைன் SiC படிக
● இரசாயன சுத்தம் எதிராக உயர் ஆயுள்
● விரிசல் மற்றும் சிதைவு ஏற்படாத வகையில் பொருள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.