எரிவாயு விநியோக தகடுகள்

மேம்பட்ட பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்புகளில் செமிகோரெக்ஸ் எரிவாயு விநியோக தகடுகள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, குறிப்பாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் துல்லியம், சீரான தன்மை மற்றும் மாசு கட்டுப்பாடு ஆகியவை முக்கியத்துவம் வாய்ந்தவை. எங்கள் எரிவாயு விநியோக தட்டு, உயர் தூய்மை வேதியியல் நீராவி படிவு சிலிக்கான் கார்பைடு (சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி.), நவீன உலர் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் கடுமையான கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது, செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் நிலையான பிளாஸ்மா விநியோகத்தை உறுதிப்படுத்த, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட மற்றும் சீரான முறையில் அறையில் எதிர்வினை வாயுக்கள் அறிமுகப்படுத்தப்பட வேண்டும். எரிவாயு விநியோகத் தகடுகள் மூலோபாய ரீதியாக செதிலுக்கு மேலே அமைந்துள்ளன மற்றும் இரட்டை செயல்பாட்டிற்கு உதவுகின்றன: இது முதலில் செயல்முறை வாயுக்களை முன்கூட்டியே சிதறடிக்கிறது, பின்னர் அவற்றை தொடர்ச்சியான நேர்த்தியான சேனல்கள் மற்றும் எலக்ட்ரோடு அமைப்பை நோக்கி துளைகள் மூலம் இயக்குகிறது. இந்த துல்லியமான எரிவாயு விநியோகம் சீரான பிளாஸ்மா பண்புகள் மற்றும் முழு செதில் முழுவதும் நிலையான எட்ச் விகிதங்களை அடைய அவசியம்.

எதிர்வினை வாயுவின் ஊசி முறையை மேம்படுத்துவதன் மூலம் சீரான தன்மையை பொறித்தல் மேலும் மேம்படுத்த முடியும்:

• அலுமினிய பொறித்தல் அறை: எதிர்வினை வாயு பொதுவாக செதிலுக்கு மேலே அமைந்துள்ள ஒரு ஷவர்ஹெட் வழியாக வழங்கப்படுகிறது.

• சிலிக்கான் பொறித்தல் அறை: ஆரம்பத்தில், வாயு செதிலின் சுற்றளவில் இருந்து செலுத்தப்பட்டது, பின்னர் படிப்படியாக பொறித்தல் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதற்காக செதில் மையத்திலிருந்து மேலே செலுத்தப்பட்டது.

எரிவாயு விநியோக தகடுகள், ஷவர்ஹெட்ஸ் என்றும் அழைக்கப்படுகின்றன, அவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு எரிவாயு விநியோக சாதனமாகும். எதிர்வினை செயல்பாட்டின் போது குறைக்கடத்தி பொருட்களை வாயுவுடன் சமமாக தொடர்பு கொள்ள முடியும், உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துவதை உறுதி செய்வதற்காக எதிர்வினை அறைக்கு வாயுவை சமமாக விநியோகிக்க இது முக்கியமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. தயாரிப்பு அதிக துல்லியம், அதிக தூய்மை மற்றும் பல-ஒருங்கிணைந்த மேற்பரப்பு சிகிச்சையின் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது (மணல் வெட்டுதல்/அனோடிசிங்/தூரிகை நிக்கல் முலாம்/மின்னாற்பகுப்பு மெருகூட்டல் போன்றவை). எரிவாயு விநியோக தகடுகள் எதிர்வினை அறையில் அமைந்துள்ளன மற்றும் வேஃபர் எதிர்வினை சூழலுக்கு ஒரே மாதிரியாக டெபாசிட் செய்யப்பட்ட வாயு திரைப்பட அடுக்கை வழங்குகின்றன. இது செதில் உற்பத்தியின் முக்கிய அங்கமாகும்.

செதில் எதிர்வினை செயல்பாட்டின் போது, வாயு விநியோக தகடுகளின் மேற்பரப்பு மைக்ரோபோர்களால் அடர்த்தியாக உள்ளது (துளை 0.2-6 மிமீ). துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட துளை அமைப்பு மற்றும் எரிவாயு பாதை மூலம், சிறப்பு செயல்முறை வாயு சீரான வாயு தட்டில் ஆயிரக்கணக்கான சிறிய துளைகளை கடந்து செல்ல வேண்டும், பின்னர் செதில் மேற்பரப்பில் சமமாக டெபாசிட் செய்யப்பட வேண்டும். செதில் வெவ்வேறு பகுதிகளில் உள்ள பட அடுக்குகள் அதிக சீரான தன்மையையும் நிலைத்தன்மையையும் உறுதிப்படுத்த வேண்டும். ஆகையால், தூய்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பிற்கான மிக உயர்ந்த தேவைகளுக்கு மேலதிகமாக, எரிவாயு விநியோக தகடுகள் சீரான வாயு தட்டில் உள்ள சிறிய துளைகளின் துளை மற்றும் சிறிய துளைகளின் உள் சுவரில் உள்ள பர்ஸின் நிலைத்தன்மையில் கடுமையான தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன. துளை அளவு சகிப்புத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையின் நிலையான விலகல் மிகப் பெரியதாக இருந்தால் அல்லது எந்த உள் சுவரிலும் பர்ஸ் இருந்தால், டெபாசிட் செய்யப்பட்ட திரைப்பட அடுக்கின் தடிமன் சீரற்றதாக இருக்கும், இது உபகரணங்கள் செயல்முறை விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கும். பிளாஸ்மா-உதவி செயல்முறைகளில் (பி.இ.சி.வி.டி மற்றும் உலர் பொறித்தல் போன்றவை), ஷவர் தலை, மின்முனையின் ஒரு பகுதியாக, பிளாஸ்மாவின் சீரான விநியோகத்தை ஊக்குவிப்பதற்காக ஒரு ஆர்.எஃப் மின்சாரம் மூலம் ஒரு சீரான மின்சார புலத்தை உருவாக்குகிறது, இதன் மூலம் பொறித்தல் அல்லது படிவு ஆகியவற்றின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

எங்கள்சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி.குறைக்கடத்தி புனையல், எம்இஎம்எஸ் செயலாக்கம் மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படும் பரந்த அளவிலான பிளாஸ்மா பொறித்தல் தளங்களுக்கு எரிவாயு விநியோக தகடுகள் பொருத்தமானவை. பரிமாணங்கள், துளை வடிவங்கள் மற்றும் மேற்பரப்பு முடிவுகள் உள்ளிட்ட குறிப்பிட்ட கருவி தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயன் வடிவமைப்புகளை உருவாக்க முடியும்.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி யால் செய்யப்பட்ட செமிகோரெக்ஸ் எரிவாயு விநியோக தகடுகள் நவீன பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்புகளில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது விதிவிலக்கான எரிவாயு விநியோக செயல்திறன், சிறந்த பொருள் ஆயுள் மற்றும் குறைந்தபட்ச மாசு அபாயத்தை வழங்குகிறது. அதன் பயன்பாடு நேரடியாக அதிக செயல்முறை விளைச்சல், குறைந்த குறைபாடு மற்றும் நீண்ட கருவி நேரம் நேரம் ஆகியவற்றிற்கு பங்களிக்கிறது, இது முன்னணி-விளிம்பு குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு நம்பகமான தேர்வாக அமைகிறது.