பொறித்தல் மோதிரம்

செமிகோரெக்ஸ் எட்ச்சிங் ரிங் என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சாதனங்களில், குறிப்பாக பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்புகளில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். இரசாயன நீராவி படிவு சிலிக்கான் கார்பைடு (CVD SiC) இலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டது, இந்த கூறு மிகவும் தேவைப்படும் பிளாஸ்மா சூழல்களில் சிறந்த செயல்திறனை வழங்குகிறது, இது குறைக்கடத்தி துறையில் துல்லியமான பொறித்தல் செயல்முறைகளுக்கு ஒரு தவிர்க்க முடியாத தேர்வாக அமைகிறது.

செமிகண்டக்டர் சாதனங்களை உருவாக்குவதில் ஒரு அடிப்படை படியான செதுக்கல் செயல்முறைக்கு, கடுமையான பிளாஸ்மா சூழல்களை சிதைக்காமல் தாங்கக்கூடிய உபகரணங்கள் தேவை. சிலிக்கான் செதில்களில் வடிவங்களை பொறிக்க பிளாஸ்மா பயன்படுத்தப்படும் அறையின் ஒரு பகுதியாக நிலைநிறுத்தப்பட்ட செதுக்கல் வளையம், இந்த செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

பொறித்தல் வளையமானது ஒரு கட்டமைப்பு மற்றும் பாதுகாப்புத் தடையாகச் செயல்படுகிறது, பிளாஸ்மா பொறிக்கப்பட்ட செயல்பாட்டின் போது தேவைப்படும் இடத்தில் துல்லியமாக இயக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது. உயர் வெப்பநிலை, அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் சிராய்ப்பு பிளாஸ்மா போன்ற பிளாஸ்மா அறைகளுக்குள் உள்ள தீவிர நிலைமைகளைக் கருத்தில் கொண்டு, அணியும் மற்றும் அரிப்புக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வழங்கும் பொருட்களிலிருந்து பொறித்தல் வளையம் கட்டமைக்கப்படுவது அவசியம். இங்குதான் CVD SiC (ரசாயன நீராவி படிவு சிலிக்கான் கார்பைடு) பொறிப்பு வளைய உற்பத்திக்கான சிறந்த தேர்வாக அதன் மதிப்பை நிரூபிக்கிறது.

CVD SiC என்பது அதன் சிறந்த இயந்திர, இரசாயன மற்றும் வெப்ப பண்புகளுக்கு அறியப்பட்ட ஒரு மேம்பட்ட பீங்கான் பொருள் ஆகும். இந்த குணாதிசயங்கள், செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி சாதனங்களில், குறிப்பாக செதுக்கல் செயல்பாட்டில், செயல்திறன் தேவைகள் அதிகமாக இருக்கும் போது, ​​பயன்படுத்துவதற்கு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது.

அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு:

CVD SiC என்பது கிடைக்கக்கூடிய கடினமான பொருட்களில் ஒன்றாகும், இது வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக உள்ளது. இந்த தீவிர கடினத்தன்மை சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது பிளாஸ்மா செதுக்கலின் கடுமையான, சிராய்ப்பு சூழலை தாங்கும் திறன் கொண்டது. செயல்பாட்டின் போது அயனிகளால் தொடர்ச்சியான குண்டுவீச்சுக்கு வெளிப்படும் எச்சிங் வளையம், மற்ற பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை நீண்ட காலத்திற்கு பராமரிக்க முடியும், மாற்றங்களின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது.

இரசாயன செயலற்ற தன்மை:

செதுக்கும் செயல்பாட்டில் முதன்மையான கவலைகளில் ஒன்று ஃப்ளோரின் மற்றும் குளோரின் போன்ற பிளாஸ்மா வாயுக்களின் அரிக்கும் தன்மை ஆகும். இந்த வாயுக்கள் வேதியியல் ரீதியாக எதிர்க்காத பொருட்களில் குறிப்பிடத்தக்க சிதைவை ஏற்படுத்தும். இருப்பினும், CVD SiC விதிவிலக்கான இரசாயன செயலற்ற தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, குறிப்பாக அரிக்கும் வாயுக்கள் கொண்ட பிளாஸ்மா சூழல்களில், அதன் மூலம் குறைக்கடத்தி செதில்கள் மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் பொறித்தல் செயல்முறையின் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.

வெப்ப நிலைத்தன்மை:

குறைக்கடத்தி பொறித்தல் செயல்முறைகள் பெரும்பாலும் உயர்ந்த வெப்பநிலையில் நிகழ்கின்றன, இது பொருட்களின் மீது வெப்ப அழுத்தத்தை ஏற்படுத்தும். CVD SiC சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கொண்டது, இது அதிக வெப்பநிலையில் கூட அதன் வடிவத்தையும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டையும் பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது. இது வெப்ப சிதைவின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, உற்பத்தி சுழற்சி முழுவதும் சீரான செதுக்குதல் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.

உயர் தூய்மை:

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களின் தூய்மை மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் எந்தவொரு மாசுபாடும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் விளைச்சலை எதிர்மறையாக பாதிக்கும். CVD SiC என்பது ஒரு உயர் தூய்மையான பொருள், இது உற்பத்தி செயல்முறையில் அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்தும் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. இது அதிக மகசூல் மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் சிறந்த ஒட்டுமொத்த தரத்திற்கு பங்களிக்கிறது.

சிவிடி எஸ்ஐசியால் செய்யப்பட்ட எட்ச்சிங் ரிங் முதன்மையாக பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அவை செமிகண்டக்டர் செதில்களில் சிக்கலான வடிவங்களை பொறிக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. செயலிகள், நினைவக சில்லுகள் மற்றும் பிற மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் உள்ளிட்ட நவீன குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் காணப்படும் நுண்ணிய சுற்றுகள் மற்றும் கூறுகளை உருவாக்க இந்த வடிவங்கள் அவசியம்.