செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்திற்கான நீடித்த ஃபோகஸ் வளையங்கள்

குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கான செமிகோரெக்ஸ் நீடித்த கவனம் வளையங்கள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் பிளாஸ்மா எட்ச் அறைகளின் தீவிர சூழல்களைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. எங்கள் ஃபோகஸ் மோதிரங்கள் அடர்த்தியான, அணிய-எதிர்ப்பு சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுடன் பூசப்பட்ட உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டால் ஆனவை. SiC பூச்சு உயர் அரிப்பு மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பு பண்புகள், அத்துடன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் உள்ளது. எங்கள் ஃபோகஸ் வளையங்களின் சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்த, வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி கிராஃபைட்டில் மெல்லிய அடுக்குகளில் SiC ஐப் பயன்படுத்துகிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்திற்கான எங்கள் நீடித்த ஃபோகஸ் வளையங்கள், செதில் விளிம்பு அல்லது சுற்றளவைச் சுற்றி எட்ச் சீரான தன்மையை மேம்படுத்தவும், மாசுபாட்டைக் குறைக்கவும் மற்றும் திட்டமிடப்படாத பராமரிப்புக்காகவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. அவை விரைவான வெப்ப அனீலிங் (RTA), விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் ஆகியவற்றிற்கு மிகவும் நிலையானவை.

செமிகோரெக்ஸில், குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கான உயர்தர, செலவு குறைந்த நீடித்த ஃபோகஸ் வளையங்களை வழங்குவதில் நாங்கள் கவனம் செலுத்துகிறோம், வாடிக்கையாளர் திருப்திக்கு முன்னுரிமை அளித்து, செலவு குறைந்த தீர்வுகளை வழங்குகிறோம். உயர்தர தயாரிப்புகள் மற்றும் விதிவிலக்கான வாடிக்கையாளர் சேவையை வழங்குவதன் மூலம் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.

குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கான எங்களின் நீடித்த ஃபோகஸ் வளையங்களைப் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.

குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கான நீடித்த கவனம் வளையங்களின் அளவுருக்கள்

CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்
SiC-CVD பண்புகள்
படிக அமைப்பு	FCC β கட்டம்
அடர்த்தி	g/cm ³	3.21
கடினத்தன்மை	விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை	2500
தானிய அளவு	μm	2~10
இரசாயன தூய்மை	%	99.99995
வெப்ப திறன்	ஜே கிலோ-1 கே-1	640
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	℃	2700
Felexural வலிமை	MPa (RT 4-புள்ளி)	415
யங்ஸ் மாடுலஸ்	Gpa (4pt வளைவு, 1300℃)	430
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E)	10-6K-1	4.5
வெப்ப கடத்துத்திறன்	(W/mK)	300

குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கான நீடித்த கவனம் வளையங்களின் அம்சங்கள்

● பின்ஹோல் எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக ஆயுட்காலத்திற்கான உயர் தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் SiC பூச்சு.

● கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் SiC அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.

● சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்த SiC பூச்சு மெல்லிய அடுக்குகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

சூடான குறிச்சொற்கள்: செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்திற்கான நீடித்த கவனம் வளையங்கள், சீனா, உற்பத்தியாளர்கள், சப்ளையர்கள், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, மொத்தமாக, மேம்பட்ட, நீடித்தது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை