பரவல் உலை குழாய்

பரவல் உலை குழாய் பொதுவாக உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸ் அல்லது SiC இலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, இவை இரண்டும் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகின்றன. இது முக்கியமானது, ஏனெனில் பரவல் உலை குழாய் செயலாக்கப்படும் குறைக்கடத்தி பொருட்களில் அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்தக்கூடாது. சிறிய அசுத்தங்கள் கூட புனையப்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையில் குறிப்பிடத்தக்க தீங்கு விளைவிக்கும்.

செயலாக்கத்தின் போது குறைக்கடத்தி செதில்கள் மாசுபடுவதைத் தடுக்க, பரவலான உலைக் குழாயைக் கட்டமைக்கப் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்கள் அவற்றின் உயர் தூய்மைக்காகத் தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றன. பரவல் உலை குழாய் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு சிதைக்காமல் அல்லது சமரசம் செய்யாமல் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் போது எதிர்கொள்ளும் தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்கும். இது நீடித்த செயல்பாட்டின் போது நிலையான மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. வெப்ப நிலைத்தன்மைக்கு கூடுதலாக, பரவல் உலை குழாய் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் இரசாயனங்கள் மற்றும் வாயுக்களின் அரிக்கும் விளைவுகளுக்கு எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. இது காலப்போக்கில் குழாயின் சிதைவைத் தடுக்கிறது மற்றும் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது.

சில பரவல் உலை குழாய்கள் அவற்றின் செயல்திறனை மேலும் மேம்படுத்த அல்லது மாசு அல்லது இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு எதிராக கூடுதல் பாதுகாப்பை வழங்க சிறப்புப் பொருட்களால் செய்யப்பட்ட லைனர்களைக் கொண்டிருக்கலாம். இந்த லைனர்கள் குழாயின் பொருளின் பண்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் குறிப்பிட்ட தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றன.