Semicorex CVD SiC ஷவர் ஹெட் என்பது செமிகண்டக்டர் செதுக்கும் கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது ஒரு மின்முனையாகவும் வாயுக்களை பொறிப்பதற்கான ஒரு வழியாகவும் செயல்படுகிறது. செமிகோரெக்ஸை அதன் உயர்ந்த பொருள் கட்டுப்பாடு, மேம்பட்ட செயலாக்க தொழில்நுட்பம் மற்றும் கோரும் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் நம்பகமான, நீண்டகால செயல்திறனுக்காக தேர்வு செய்யவும்.*
Semicorex CVD SiC ஷவர் ஹெட் என்பது செமிகண்டக்டர் பொறித்தல் கருவிகளில், குறிப்பாக ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கான உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். CVD (ரசாயன நீராவி டெபாசிஷன்) முறையைப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்பட்ட இந்த CVD SiC ஷவர் ஹெட், செதில் உற்பத்தியின் செதுக்கல் கட்டத்தில் இரட்டைப் பாத்திரத்தை வகிக்கிறது. இது கூடுதல் மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துவதற்கான மின்முனையாகவும், அறைக்குள் பொறிக்கப்பட்ட வாயுக்களை வழங்குவதற்கான ஒரு வழியாகவும் செயல்படுகிறது. இந்த செயல்பாடுகள் செமிகண்டக்டர் துறையில் துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்யும் செதில் பொறித்தல் செயல்பாட்டின் இன்றியமையாத பகுதியாக ஆக்குகிறது.
தொழில்நுட்ப நன்மைகள்
CVD SiC ஷவர் ஹெட்டின் தனித்துவமான அம்சங்களில் ஒன்று, சுயமாக தயாரிக்கப்பட்ட மூலப்பொருட்களின் பயன்பாடு ஆகும், இது தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையின் மீது முழு கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. இந்த திறன் பல்வேறு வாடிக்கையாளர்களின் மாறுபட்ட மேற்பரப்பு பூச்சு தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய தயாரிப்புக்கு உதவுகிறது. உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் முதிர்ந்த செயலாக்கம் மற்றும் துப்புரவு தொழில்நுட்பங்கள், சிவிடி எஸ்ஐசி ஷவர் ஹெட்டின் உயர்தர செயல்திறனுக்கு பங்களித்து, நேர்த்தியான தனிப்பயனாக்கத்தை அனுமதிக்கின்றன.
கூடுதலாக, வாயு துளைகளின் உட்புற சுவர்கள் எஞ்சியிருக்கும் சேதம் அடுக்கு இல்லை என்பதை உறுதிப்படுத்தவும், பொருளின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கவும் மற்றும் அதிக தேவை சூழல்களில் செயல்திறனை மேம்படுத்தவும் கவனமாக செயலாக்கப்படுகின்றன. ஷவர் ஹெட் குறைந்தபட்ச துளை அளவை 0.2 மிமீ அடையும் திறன் கொண்டது, இது எரிவாயு விநியோகத்தில் விதிவிலக்கான துல்லியத்தை அனுமதிக்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைக்குள் உகந்த பொறித்தல் நிலைமைகளை பராமரிக்கிறது.
முக்கிய நன்மைகள்
வெப்ப சிதைவு இல்லை: ஷவர் ஹெடில் CVD SiC ஐப் பயன்படுத்துவதன் முதன்மையான நன்மைகளில் ஒன்று வெப்ப சிதைவுக்கு அதன் எதிர்ப்பாகும். செமிகண்டக்டர் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் பொதுவான உயர்-வெப்பச் சூழல்களில் கூட கூறு நிலையாக இருப்பதை இந்தப் பண்பு உறுதி செய்கிறது. ஸ்திரத்தன்மை தவறான சீரமைப்பு அல்லது இயந்திர தோல்வியின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, இதனால் ஒட்டுமொத்த சாதனங்களின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நீண்ட ஆயுளை மேம்படுத்துகிறது.
வாயு உமிழ்வு இல்லை: செயல்பாட்டின் போது CVD SiC எந்த வாயுவையும் வெளியிடாது, இது பொறிக்கப்பட்ட சூழலின் தூய்மையைப் பராமரிப்பதில் முக்கியமானது. இது மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது, பொறித்தல் செயல்முறையின் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது மற்றும் உயர்தர செதில் உற்பத்திக்கு பங்களிக்கிறது.
சிலிக்கான் பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது நீண்ட ஆயுட்காலம்: பாரம்பரிய சிலிக்கான் ஷவர் ஹெட்களுடன் ஒப்பிடும் போது, CVD SiC பதிப்பு கணிசமாக நீண்ட செயல்பாட்டு ஆயுளை வழங்குகிறது. இது மாற்றீடுகளின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது, இதன் விளைவாக குறைந்த பராமரிப்பு செலவுகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு குறைவான வேலையில்லா நேரம். சிவிடி எஸ்ஐசி ஷவர் ஹெட்டின் நீண்ட கால ஆயுள் அதன் செலவு-செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
சிறந்த இரசாயன நிலைப்புத்தன்மை: CVD SiC பொருள் வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றது, இது குறைக்கடத்தி பொறிப்பில் பயன்படுத்தப்படும் பரந்த அளவிலான இரசாயனங்களுக்கு எதிர்ப்புத் தெரிவிக்கிறது. இந்த ஸ்திரத்தன்மை, ஷவர் ஹெட் செயல்முறையில் ஈடுபடும் அரிக்கும் வாயுக்களால் பாதிக்கப்படாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது, மேலும் அதன் பயனுள்ள ஆயுளை நீட்டிக்கிறது மற்றும் அதன் சேவை வாழ்க்கை முழுவதும் நிலையான செயல்திறனை பராமரிக்கிறது.
Semicorex CVD SiC ஷவர் ஹெட் தொழில்நுட்ப மேன்மை மற்றும் நடைமுறை நன்மைகளின் கலவையை வழங்குகிறது, இது குறைக்கடத்தி பொறித்தல் கருவிகளில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத அங்கமாக அமைகிறது. அதன் மேம்பட்ட செயலாக்க திறன்கள், வெப்ப மற்றும் இரசாயன சவால்களுக்கு எதிர்ப்பு மற்றும் பாரம்பரிய பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது நீட்டிக்கப்பட்ட ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றுடன், CVD SiC ஷவர் ஹெட் என்பது உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறைகளில் அதிக செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை எதிர்பார்க்கும் சிறந்த தேர்வாகும்.