செமிகோரெக்ஸ் உங்கள் OEM செமி ஃபேப்ரிகேஷன் கருவிகள் மற்றும் வேஃபர் கையாளும் கூறுகளுக்கு செமிகண்டக்டர் தர மட்பாண்டங்களை வழங்குகிறது. நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு படத்தின் தயாரிப்பாளர் மற்றும் சப்ளையர். எங்கள் செராமிக் ஆக்சில் ஸ்லீவ் ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பெரும்பாலான ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) என்பது ஒரு செயற்கை, அரைக்கடத்தி நன்றாகப் பயன்படுத்தப்படும் பீங்கான் ஆகும், இது தொழில்துறை சந்தைகளின் பரந்த குறுக்கு பிரிவில் சிறந்து விளங்குகிறது. செமிகோரெக்ஸ் செராமிக் ஆக்சில் ஸ்லீவ், உயர் அடர்த்தி மற்றும் திறந்த நுண்துளை கட்டமைப்புகள் இரண்டையும் கொண்டுள்ளது, மேலும் பொருளின் சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை வலிமை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புடன், உள்ளார்ந்த ஈர்க்கக்கூடிய இயந்திர பண்புகளுடன் இணைந்துள்ளது. வாடிக்கையாளர்களின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப அனைத்து வகையான செராமிக் ஆக்சில் ஸ்லீவ்களையும் நாங்கள் செயல்படுத்த முடியும்.
செராமிக் அச்சு ஸ்லீவ் அளவுருக்கள்
தொழில்நுட்ப பண்புகள் |
||||
குறியீட்டு |
அலகு |
மதிப்பு |
||
பொருள் பெயர் |
எதிர்வினை சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு |
அழுத்தம் இல்லாத சிலிக்கான் கார்பைடு |
மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு |
|
கலவை |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
மொத்த அடர்த்தி |
g/cm3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
நெகிழ்வு வலிமை |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
அமுக்க வலிமை |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
கடினத்தன்மை |
பொத்தான் |
2700 |
2800 |
/ |
பிரேக்கிங் டெனாசிட்டி |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம் |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
குறிப்பிட்ட வெப்பம் |
ஜூல்/கிராம் 0கே |
0.8 |
0.67 |
/ |
காற்றில் அதிகபட்ச வெப்பநிலை |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
மீள் மாடுலஸ் |
ஜி.பி.ஏ |
360 |
410 |
240 |
செமிகோரெக்ஸ் மூன்று வடிவங்களில் செராமிக் ஆக்சில் ஸ்லீவ் தயாரித்தது, ரியாக்ஷன் சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு(RBSiC), பிரஷர்லெஸ் சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு(SSiC) மற்றும் ரீகிரிஸ்டல் சிலிக்கான் கார்பைடு(R-SiC).
SSiC மற்றும் RBSiC இடையே உள்ள வேறுபாடு:
1. சின்டரிங் செயல்முறை வேறுபட்டது. RBSiC என்பது குறைந்த வெப்பநிலையில் இலவச Si ஐ சிலிக்கான் கார்பைடுக்குள் ஊடுருவச் செய்வதாகும், SSiC ஆனது 2100 டிகிரியில் இயற்கையான சுருக்கத்தால் உருவாகிறது.
2. SSiC மென்மையான மேற்பரப்பையும், அதிக அடர்த்தியையும், அதிக வலிமையையும் கொண்டுள்ளது, மேலும் கடுமையான மேற்பரப்புத் தேவைகளைக் கொண்ட சில சீல்களுக்கு, SSiC சிறப்பாக இருக்கும்.
3. வெவ்வேறு PH மற்றும் வெப்பநிலையின் கீழ் வெவ்வேறு நேரம் பயன்படுத்தப்படுகிறது, SSiC RBSiC ஐ விட நீளமானது
செராமிக் ஆக்சில் ஸ்லீவின் அம்சங்கள்
- அதிக வலிமை (மோஸ் கடினத்தன்மை 9.5, வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக)
- அமிலங்கள், காரங்கள், உப்புகள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்களுக்கு அரிப்பு எதிர்ப்பு
- உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு, நீண்ட ஆயுள்
- குறைக்கடத்திகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் கிடைக்கும் வடிவங்கள்:
● பீங்கான் கம்பி / பீங்கான் முள் / பீங்கான் உலக்கை
● பீங்கான் குழாய் / பீங்கான் புஷிங் / செராமிக் ஸ்லீவ்
● பீங்கான் வளையம் / பீங்கான் வாஷர் / செராமிக் ஸ்பேசர்
● பீங்கான் வட்டு
● பீங்கான் தட்டு / பீங்கான் தொகுதி
● பீங்கான் பந்து
● பீங்கான் பிஸ்டன்
● பீங்கான் முனை
● செராமிக் க்ரூசிபிள்
● பிற தனிப்பயன் செராமிக் பாகங்கள்