6 அங்குல SiC படகு

Semicorex 6 Inch SiC படகு என்பது உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் செயல்திறன் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு மேம்பட்ட செதில் கேரியர் ஆகும், குறிப்பாக ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் பிற வெப்ப செயல்முறைகள் போன்ற பயன்பாடுகளுக்கு. உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து (SiC) தயாரிக்கப்பட்ட இந்தத் தயாரிப்பு, முக்கியமான உயர் வெப்பநிலை செயல்பாடுகளின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களை வைத்திருப்பதற்கும், சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்தபட்ச மாசுபாடு அபாயங்களை வழங்குவதற்கும் வலுவான தீர்வை வழங்குகிறது.

6 அங்குல SiC படகு உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஐப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகிறது, இது அதன் சிறந்த வெப்ப பண்புகள், இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் கடுமையான சூழல்களில் நீடித்து நிலைத்திருக்கும். SiC ஆனது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, ஏனெனில் அதன் உயர் உருகும் புள்ளி (சுமார் 2,700 ° C), ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உலைகளில் செதில் செயலாக்கம் போன்ற உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு இது சிறந்தது. படகின் வடிவமைப்பு சிறந்த கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இது குறைக்கடத்தி படிக வளர்ச்சி, ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பிற வெப்ப சிகிச்சைகள் ஆகியவற்றில் நிலையான முடிவுகளை அடைவதற்கு முக்கியமானது.

முக்கிய அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்

உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை

SiC இன் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் 6 அங்குல SiC படகு தீவிர வெப்பநிலையை சிதைக்காமல் அல்லது சிதைக்காமல் தாங்கும் என்பதை உறுதி செய்கிறது. ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் செயல்முறைகளின் போது இந்த பண்பு குறிப்பாக மதிப்புமிக்கது, நிலையான செதில் செயலாக்கத்திற்கு துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு அவசியம்.

சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு

சிலிக்கான் கார்பைட்டின் இரசாயன அரிப்புக்கான உள்ளார்ந்த எதிர்ப்பானது, ஆக்சிஜன், நைட்ரஜன் அல்லது பிற வினைத்திறன் கூறுகள் போன்ற ஆக்கிரமிப்பு வாயுக்களின் வெளிப்பாடு பொதுவாக இருக்கும் சூழல்களில் படகைப் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக ஆக்குகிறது. படகு அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை, இரசாயன எதிர்வினை சூழல்களில் செயல்திறனைப் பராமரிக்கிறது, இது மாசுபடுவதற்கான வாய்ப்பைக் குறைக்கிறது.

உயர் வெப்பநிலை நீடித்து நிலைத்திருக்கும்

6 அங்குல SiC படகு 1,500°C வரை வெப்பநிலையில் செயல்படும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உள்ளிட்ட பல உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்குத் தேவைப்படுகிறது. இந்த உயர்-வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை கோரும் பயன்பாடுகளில் கூட நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை உறுதி செய்கிறது.

குறைந்த மாசுபாடு ஆபத்து

செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் முக்கியமான காரணிகளில் ஒன்று செதில் மேற்பரப்பில் மாசுபடுவதைக் குறைப்பதாகும். SiC இன் குறைந்த தூய்மையற்ற நிலைகள் மற்றும் வினைத்திறன் இல்லாத தன்மை ஆகியவை 6 அங்குல SiC படகு ஒரு சுத்தமான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழலுக்கு பங்களிப்பதை உறுதிசெய்கிறது, இதன் மூலம் செயலாக்கத்தின் போது தேவையற்ற மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

சீரான வேஃபர் ஆதரவு

படகின் வடிவமைப்பு செதில்கள் சமமாக ஆதரிக்கப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, உகந்த செதில் சீரமைப்பைப் பராமரித்தல் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கத்தின் போது ஏதேனும் தொய்வு அல்லது தவறான சீரமைப்புகளைத் தடுக்கிறது. சீரான முடிவுகளை உறுதி செய்வதற்கும் செதில் குறைபாடுகளைத் தடுப்பதற்கும் இந்த சீரான ஆதரவு அவசியம்.

தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்கள்

6 அங்குல SiC படகு குறிப்பிட்ட வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்றவாறு தனிப்பயனாக்கப்படலாம், இதில் வெவ்வேறு செதில் வகைகளுக்கான வடிவமைக்கப்பட்ட அளவுகள், வடிவங்கள் மற்றும் உள்ளமைவுகள் ஆகியவை அடங்கும். ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் அல்லது பிற வெப்ப செயல்முறைகளுக்குப் பயன்படுத்தப்பட்டாலும், வாடிக்கையாளரின் குறிப்பிட்ட செயல்முறை ஓட்டத்திற்கு படகை மேம்படுத்தலாம்.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பயன்பாடுகள்

6 அங்குல SiC படகு முதன்மையாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உயர் வெப்பநிலை வெப்ப செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உலைகளில் இது மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும், வெற்றிகரமான செதில் செயலாக்கத்திற்கு வெப்பநிலை மற்றும் வளிமண்டலத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது.

• ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறை: ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்பாட்டின் போது, ​​சிலிக்கான் செதில்கள் செதில் மேற்பரப்பில் மெல்லிய சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு அடுக்கை உருவாக்க உயர்ந்த வெப்பநிலையில் ஆக்ஸிஜனை வெளிப்படுத்துகின்றன. 6 அங்குல SiC படகு, இந்த உயர்-வெப்பநிலை செயல்பாட்டின் போது செதில்கள் பாதுகாப்பாகவும் சமமாகவும் வைத்திருப்பதை உறுதிசெய்கிறது, சிதைவு அல்லது தவறான சீரமைப்புகளைத் தடுக்கிறது மற்றும் சீரான ஆக்சைடு அடுக்கு வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
• பரவல் செயல்முறை: பரவல் செயல்பாட்டில், சிலிக்கான் செதில் அதன் மின் பண்புகளை மாற்ற டோபண்டுகள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த முக்கியமான கட்டத்தின் போது SiC படகு செதில்களுக்கு நிலையான மற்றும் நம்பகமான ஆதரவை வழங்குகிறது, அங்கு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் பரவல் சூழலின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு மிக முக்கியமானது. அதன் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை சீரான வெப்பத்தை உறுதி செய்கிறது, இது விரும்பிய டோபண்ட் சுயவிவரத்தை அடைவதற்கு முக்கியமானது.
• மற்ற உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகள்: ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவலுக்கு அப்பால், 6 அங்குல SiC படகு, அனீலிங், நைட்ரைடேஷன் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி போன்ற உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படலாம். அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவை குறைக்கடத்தி சாதனம் தயாரிப்பின் பல்வேறு நிலைகளுக்கு பல்துறை தீர்வாக அமைகிறது.

மற்ற பொருட்களை விட நன்மைகள்

குவார்ட்ஸ் அல்லது கிராஃபைட் போன்ற பாரம்பரிய பொருட்களுடன் ஒப்பிடுகையில், சிலிக்கான் கார்பைடு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் குறிப்பிடத்தக்க நன்மைகளை வழங்குகிறது. குவார்ட்ஸ் படகுகள் வெப்ப அதிர்ச்சி மற்றும் இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு மிகவும் எளிதில் பாதிக்கப்படுகின்றன, அதே நேரத்தில் கிராஃபைட் படகுகள் வாயுவை வெளியேற்றி மாசுபடுத்தும். மறுபுறம், SiC படகுகள், மாசுபாடு, வெப்ப உறுதியற்ற தன்மை அல்லது சீரழிவு ஆகியவற்றின் அபாயங்கள் இல்லாமல் கடுமையான சூழல்களில் தங்கள் செயல்திறனைப் பராமரிக்கின்றன. இது 6 அங்குல SiC படகு உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கு மிகவும் நம்பகமான மற்றும் திறமையான தேர்வாக அமைகிறது.

Semicorex 6 Inch SiC படகு என்பது செமிகண்டக்டர் துறையில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது மேம்பட்ட செதில் செயலாக்கத்திற்கு தேவையான நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப செயல்திறனை வழங்குகிறது. அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், இரசாயன அரிப்பை எதிர்ப்பது மற்றும் குறைந்தபட்ச மாசுபாடு ஆபத்து ஆகியவை ஆக்ஸிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் பிற உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு அல்லது பெரிய அளவிலான உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்பட்டாலும், 6 அங்குல SiC படகு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மிக உயர்ந்த தரமான முடிவுகளை உறுதி செய்ய தேவையான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது.