15" குவார்ட்ஸ் பெல் ஜார்

செமிகோரெக்ஸ் 15" குவார்ட்ஸ் பெல் ஜார் இந்த சவால்களை எதிர்கொள்ளும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, நடுத்தர முதல் பெரிய அளவிலான தொகுதி செயலாக்கத்திற்கான உயர் செயல்திறன் தீர்வை வழங்குகிறது, அங்கு வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் பொருள் தூய்மை ஆகியவை விளைச்சலை அதிகரிக்க அவசியம். குறைக்கடத்தி மற்றும் மெல்லிய-படத் தொழில்களில், செயல்முறை அறையின் ஒருமைப்பாடு தேவை இல்லை. ஒரு சுத்தமான, நிலையான மற்றும் இரசாயன மந்தமான சூழல் பேச்சுவார்த்தைக்குட்படாது.

1. பொருள் அறிவியல்: உருகிய சிலிக்காவின் தூய்மை

எங்கள் மணி ஜாடியின் அடித்தளம் உயர் தூய்மைஇணைந்த சிலிக்கா (குவார்ட்ஸ்). நிலையான கண்ணாடியைப் போலல்லாமல், குவார்ட்ஸ் முற்றிலும் SiO2 ஐக் கொண்டுள்ளது, இது குறைக்கடத்தி புனையலுக்கு இன்றியமையாத தனித்துவமான பண்புகளை வழங்குகிறது:

அல்ட்ரா-குறைந்த மாசுபாடு: எங்களின் குவார்ட்ஸ் உலோக சுவடு கூறுகளை (அல், ஃபெ, நா மற்றும் கே போன்றவை) ஒரு பில்லியனுக்கு பாகங்கள் (பிபிபி) அளவிற்கு குறைக்க செயலாக்கப்படுகிறது. இது அதிக வெப்பநிலை சுழற்சிகளின் போது செதில்களில் அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கிறது, சாதனங்களின் மின் ஒருமைப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

உயர்ந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு: குவார்ட்ஸ் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் பூஜ்ஜியத்திற்கு அருகில் குணகம் (CTE) கொண்டுள்ளது. இது 15" குவார்ட்ஸ் பெல் ஜாடியை விரைவாக வெப்பநிலை அதிகரிப்பு மற்றும் முறிவு அல்லது கட்டமைப்பு சோர்வு ஆபத்து இல்லாமல் தாங்க அனுமதிக்கிறது - உயர்-செயல்திறன் உலைகளுக்கு ஒரு முக்கியமான தேவை.

சிறந்த இரசாயன செயலற்ற தன்மை: குவார்ட்ஸ் பெரும்பாலான அமிலங்கள் (ஹைட்ரோபுளோரிக் அமிலம் தவிர) மற்றும் அரிக்கும் செயல்முறை வாயுக்களுக்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது, ஆக்கிரமிப்பு பொறித்தல் அல்லது படிவு சுழற்சிகளின் போது அறை சிதைவடையாது அல்லது வாயு வெளியேறாது என்பதை உறுதி செய்கிறது.

2. துல்லிய பொறியியல் மற்றும் ஒளியியல் தெளிவு

15" குவார்ட்ஸ் பெல் ஜார், தொகுதி செதில் செயலாக்கத்தின் நோக்கத்திற்காக அதிகபட்ச அளவு மற்றும் உகந்த வாயு ஓட்ட இயக்கவியலை வழங்குகிறது. ஜாடியில் ஒரு செங்குத்து புகைபோக்கி (கழுத்து என்றும் அழைக்கப்படுகிறது) உள்ளது, இது வாயுவுக்கான நுழைவாயிலை வழங்குவதற்கு அல்லது ஜாடியில் இருந்து வெற்றிடத்தின் மூலம் வாயுவைப் பிரித்தெடுப்பதற்கு உகந்ததாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது மேலே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது.

ஒளியியல் வெளிப்படைத்தன்மை - அதிக அளவிலான பரிமாற்றம்குவார்ட்ஸ் பொருள்ஸ்பெக்ட்ரமின் புற ஊதா, புலப்படும் மற்றும் அகச்சிவப்பு பகுதிகளில் அலைநீளங்களை வெளியிடுவது, நிகழ்நேர செயலாக்கத்தையும், விரைவான வெப்ப செயலாக்கத்திற்கு (RTP) வெளிப்புற விளக்கு ஹீட்டர்களைப் பயன்படுத்துவதையும் அனுமதிக்கிறது.

வலுவூட்டப்பட்ட சீலிங் மேற்பரப்புகள் - ஜாடியின் கழுத்தில் சிறப்பாக உருவாக்கப்பட்ட ஒளிபுகா வெள்ளை முத்திரை உள்ளது (இது தரை மூட்டு என்றும் குறிப்பிடப்படுகிறது) இது ஒரு ஹெர்மீடிக் (காற்று-சீல்) மற்றும் உலை அடித்தளத்திற்கும் ஜாடிக்கும் இடையில் வெற்றிட-இறுக்கமான இடைமுகத்தை வழங்குகிறது.

அழுத்த நிவாரணத்திற்கான அனீலிங் - அனைத்து 15" குவார்ட்ஸ் பெல் ஜாடியும் ஒரு கடுமையான வெப்ப அனீலிங் செயல்முறைக்கு உட்படுகிறது, இது ஜாடியை வீசும் அல்லது வடிவமைக்கும் இயந்திர செயல்முறையின் மூலம் ஜாடியின் மீது வைக்கப்பட்டுள்ள உள் இயந்திர அழுத்தத்தை நீக்குகிறது, எனவே ஒரு ஜாடியின் கீழ் வைக்கப்படும் போது அது தானாகவே தோல்வியடையும் வாய்ப்பைக் கணிசமாகக் குறைக்கிறது.

3. செமிகண்டக்டர் ஃபேப்பில் முக்கியமான பயன்பாடுகள்

எங்கள் 15" குவார்ட்ஸ் பெல் ஜார் குறிப்பாக பின்வரும் உயர் மதிப்பு செயல்முறைகளில் ஒருங்கிணைக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது:

சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி: உயர்தர ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் அடுக்குகளை வளர்ப்பதற்கு ஒரு வெளிப்படையான, வினைத்திறன் இல்லாத பாத்திரத்தை வழங்குகிறது.

பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட CVD (PECVD): உயர் மின்கடத்தா வலிமையைப் பராமரிக்கும் போது அரிக்கும் பிளாஸ்மா சூழலைத் தாங்கும்.

பரவல் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றம்: கேட் ஆக்சைடுகள் மற்றும் டோபண்ட் டிரைவ்-இன் உருவாக்கத்திற்கான சுத்தமான, அதிக வெப்ப அறையாகச் செயல்படுகிறது.

ஆப்டிகல் ஃபைபர் ப்ரீஃபார்ம் தயாரிப்பு: சிறப்பு கண்ணாடி உற்பத்தியில் சிலிக்கா அடுக்குகளின் உயர்-தூய்மை படிவதற்கு ஏற்றது.

செமிகோரெக்ஸில், ஒவ்வொரு மணி ஜாடியையும் துல்லியமான ஆய்வக உபகரணமாக கையாளுகிறோம். எங்கள் செயல்முறை பின்வருவனவற்றை உள்ளடக்குகிறது: சரிபார்க்கப்பட்ட மின்னணு தரத்துடன் கடுமையான பொருள் ஆதாரம்குவார்ட்ஸ்இங்காட்கள்; பாரம்பரிய கண்ணாடி வீசும் திறன்களை CNC-கட்டுப்படுத்தப்பட்ட அரைக்கும் மற்றும் மெருகூட்டுதலுடன் இணைக்கும் மேம்பட்ட புனைகதை; மற்றும் துல்லியமான பரிமாண சோதனைகளுக்கு எஞ்சிய அழுத்தத்தையும் லேசர் இன்டர்ஃபெரோமெட்ரியையும் கண்டறிய துருவப்படுத்தப்பட்ட ஒளியைப் பயன்படுத்தி முழுமையான ஆய்வு.