செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் பெல் ஜார்

செமிகோரெக்ஸ் செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் பெல் ஜார் பொதுவாக செயற்கை ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸிலிருந்து புனையப்பட்டது, இது விதிவிலக்கான தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க பண்புகளுக்கு பெயர் பெற்றது. அறையானது குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்பாட்டில் அசுத்தங்கள் அல்லது அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்தாது என்பதை இது உறுதி செய்கிறது.

செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் பெல் ஜார் பொதுவாக உருளை அல்லது குவிமாடம் வடிவமானது, குறைக்கடத்தி செதில்கள் அல்லது அடி மூலக்கூறுகளுக்கு இடமளிக்கும் ஒரு தட்டையான அல்லது சற்று வளைந்த அடித்தளத்துடன். செயலாக்கத்தின் போது அறைக்குள் ஒரு வெற்றிடத்தை அல்லது கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வளிமண்டலத்தை பராமரிக்க, ஃபிளேன்ஜ் அல்லது ஓ-ரிங் சீல் போன்ற துல்லியமான-பொறியியல், காற்று புகாத சீல் செய்யும் பொறிமுறையை இது கொண்டுள்ளது.

செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் பெல் ஜார் சிறந்த ஒளியியல் தெளிவை வழங்குகிறது, இது துல்லியத்தை சமரசம் செய்யாமல் அல்லது குறுக்கீட்டை அறிமுகப்படுத்தாமல் அறைக்குள் செயல்முறைகளை பார்வைக்கு கண்காணிக்க ஆபரேட்டர்களை அனுமதிக்கிறது. குவார்ட்ஸ் பொதுவாக குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் பெரும்பாலான அமிலங்கள், தளங்கள் மற்றும் கரைப்பான்களின் இரசாயன தாக்குதலுக்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது. இது அறையின் ஒருமைப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது மற்றும் அடி மூலக்கூறுகளின் மாசுபாட்டைத் தடுக்கிறது.

குவார்ட்ஸ் அதிக உருகுநிலை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் பெல் ஜாடியானது படிவு அல்லது அனீலிங் செயல்முறைகளின் போது ஏற்படும் உயர்ந்த வெப்பநிலையை சிதைவு அல்லது சிதைவு இல்லாமல் தாங்க அனுமதிக்கிறது.

பயன்பாடுகள்:

படிவு: செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் பெல் ஜாடிகள், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD), இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD), மற்றும் அணு அடுக்கு படிவு (ALD) போன்ற பல்வேறு படிவு நுட்பங்களில் மெல்லிய படலங்களை குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகளில் துல்லியமாகவும் சீரானதாகவும் டெபாசிட் செய்ய பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

பொறித்தல்: செமிகண்டக்டர் செதில்களில் இருந்து பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுத்து அகற்ற, அதிக துல்லியம் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய சிக்கலான வடிவங்கள் மற்றும் கட்டமைப்புகளை உருவாக்க பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறைகளில் அவை பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

அனீலிங்: செமிகண்டக்டர் செதில்களை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்ப சிகிச்சைக்கு உட்படுத்துவதற்கு, படிகமயமாக்கல், டோபண்ட் செயல்படுத்துதல் மற்றும் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படங்களில் அழுத்தத்தை குறைக்கும் செயல்முறைகளில் பெல் ஜாடிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.