வேஃபர் கேசட்டுகள்

செமிகோரெக்ஸ் வேஃபர் கேசட்டுகள் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, செதுக்கல், படிவு, சுத்தம் செய்தல் மற்றும் ஆய்வு போன்ற செதில் செயலாக்கத்தின் பல்வேறு கட்டங்களில் செதில்களை பாதுகாப்பாக வைத்திருக்கும் கேரியர்களாக செயல்படுகின்றன. நவீன செதில் கையாளுதலில், குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் தரம் மற்றும் விளைச்சலைப் பராமரிக்க துல்லியம், தூய்மை மற்றும் பொருள் ஒருமைப்பாடு அவசியம். வேஃபர் கேசட்டுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களில், PFA (Perfluoroalkoxy) அதன் குறிப்பிடத்தக்க இரசாயன எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் மாசுபடுத்தாத பண்புகள் ஆகியவற்றின் காரணமாக ஒரு சிறந்த தேர்வாக உள்ளது, இது உணர்திறன் செமிகண்டக்டர் செதில்களைக் கையாளுவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

செதில் கேசட்டுகள் செயலாக்க நிலையங்களுக்கு இடையில் செதில்களை கொண்டு செல்வதில் இடைத்தரகர்களாக செயல்பட வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, செதில் சீரமைப்பு மற்றும் இடைவெளியை பராமரிக்கும் போது குறைந்தபட்ச மாசுபாட்டை உறுதி செய்கிறது. அவை செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் போது ஏற்படும் முக்கியமான கவலைகளான உடல் சேதம் மற்றும் மாசுபாட்டிலிருந்து செதில்களைப் பாதுகாக்கின்றன, இதில் சிறிதளவு அசுத்தம் அல்லது கீறல் கூட விலை உயர்ந்த மகசூல் இழப்புக்கு வழிவகுக்கும்.

செதில் கேசட்டுகள் பொதுவாக பல செதில்களை வைத்திருக்கின்றன, இது தொகுதி செயலாக்கத்தை எளிதாக்குகிறது, இது குறைக்கடத்தி புனையலின் செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது. ஈரமான இரசாயன சுத்தம், வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் உடல் நீராவி படிவு (PVD) போன்ற செயல்முறைகளின் போது செதில்களை பாதுகாப்பாக நிலைநிறுத்தும் அவர்களின் திறன், சுத்தமான அறை சூழல்களில் அவற்றை இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது. கூடுதலாக, செதில் கேசட்டுகள் தானியங்கி அமைப்புகளுடன் எளிதாக ஒருங்கிணைக்க அனுமதிக்கின்றன, அதாவது செதில் கையாளும் ரோபோக்கள், செயல்பாட்டுத் துல்லியத்தை மேம்படுத்துதல் மற்றும் கைமுறை தலையீட்டைக் குறைத்தல்.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் பல்வேறு நிலைகளில் PFA செதில் கேசட்டுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இதில் செதில் பொறித்தல், அயன் பொருத்துதல், இரசாயன இயந்திர பாலிஷ் (CMP) மற்றும் படிவு செயல்முறைகள் ஆகியவை அடங்கும். ஈரமான இரசாயன செயலாக்கப் படிகளில் அவை குறிப்பாக பயனுள்ளதாக இருக்கும், அங்கு செதில்கள் அரிக்கும் இரசாயனங்கள், அத்துடன் உயர் ஆற்றல் அயனிகளை உள்ளடக்கிய பிளாஸ்மா பொறித்தல் அல்லது படிவு செயல்முறைகளில் வெளிப்படும்.

செமிகண்டக்டர் ஃபேப்களில் அவற்றின் பயன்பாட்டிற்கு கூடுதலாக, புதிய செதில் தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் செயல்முறைகள் சோதிக்கப்படும் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டு சூழல்களிலும் PFA செதில் கேசட்டுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. செதில் தூய்மை மற்றும் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கும் அவர்களின் திறன் உற்பத்தி மற்றும் சோதனை அமைப்புகளில் நிலையான முடிவுகளை உறுதி செய்வதற்கான நம்பகமான கருவியாக அமைகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் பிஎஃப்ஏ வேஃபர் கேசட்டுகள் நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது செதில் கையாளுதல் மற்றும் போக்குவரத்தில் விதிவிலக்கான செயல்திறனை வழங்குகிறது. அதன் இரசாயன எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் தன்னியக்க அமைப்புகளுடன் பொருந்தக்கூடிய தன்மை ஆகியவை அதிக மகசூல் மற்றும் குறைந்தபட்ச மாசுபாட்டை அடைவதை நோக்கமாகக் கொண்ட குறைக்கடத்தி ஃபேப்களுக்கு விருப்பமான தேர்வாக அமைகிறது. குறைக்கடத்தி தொழில் தொடர்ந்து முன்னேறி வருவதால், அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு வழி வகுக்கும், செதில்கள் சுத்தமான, நம்பகமான மற்றும் திறமையான முறையில் செயலாக்கப்படுவதை உறுதி செய்வதில் PFA செதில் கேசட்டுகள் இன்றியமையாததாக இருக்கும்.