வெற்றிட சக்

செமிகோரெக்ஸ்வெற்றிட சக்செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் இன்றியமையாத கருவியாகும், இது திறமையான மற்றும் நம்பகமான செதில் கையாளுதலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, குறிப்பாக செதில் சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல், படிவு மற்றும் சோதனை போன்ற செயல்முறைகளின் போது. எந்தவொரு இயந்திர சேதம் அல்லது மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தாமல், செயலாக்கத்தின் போது அதிக துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்யும் வகையில் செதில்களை பாதுகாப்பாக வைத்திருக்க இந்த கூறு ஒரு வெற்றிட பொறிமுறையைப் பயன்படுத்துகிறது. அலுமினியம் ஆக்சைடு (Al₂O₃) போன்ற நுண்துளை மட்பாண்டங்களின் பயன்பாடு மற்றும்சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC), குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு வெற்றிட சக்கை ஒரு வலுவான, உயர் செயல்திறன் தீர்வாக மாற்றுகிறது.

வெற்றிட சக்கின் அம்சங்கள்

பொருள் கலவை:வெற்றிட சக் அலுமினா (Al₂O₃) மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) போன்ற மேம்பட்ட நுண்ணிய மட்பாண்டங்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, இவை இரண்டும் சிறந்த இயந்திர வலிமை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன அரிப்பை எதிர்க்கும். செமிகண்டக்டர் செயல்முறைகளில் பொதுவான அதிக வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களின் வெளிப்பாடு உள்ளிட்ட கடுமையான சூழல்களை சக் தாங்கும் என்பதை இந்த பொருட்கள் உறுதி செய்கின்றன.

அலுமினியம் ஆக்சைடு (Al₂O₃):அதிக கடினத்தன்மை, சிறந்த மின் இன்சுலேடிங் பண்புகள் மற்றும் அரிப்பை எதிர்ப்பதற்காக அறியப்பட்ட அலுமினா பெரும்பாலும் உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. Vacuum Chucks இல், அலுமினா உயர் நிலை நீடித்துழைப்புக்கு பங்களிக்கிறது மற்றும் நீண்ட கால செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது, குறிப்பாக துல்லியம் மற்றும் நீண்ட ஆயுட்காலம் முக்கியமான சூழல்களில்.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC): SiC சிறந்த இயந்திர வலிமை, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உடைகள் மற்றும் அரிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இந்த பண்புகளுக்கு மேலதிகமாக, SiC ஆனது குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு ஒரு சிறந்த பொருளாகும், ஏனெனில் உயர்-வெப்பநிலை நிலைகளில் சீரழிவு இல்லாமல் செயல்படும் திறன் உள்ளது, இது எபிடாக்சி அல்லது அயன் பொருத்துதல் போன்ற கோரும் செயல்முறைகளின் போது துல்லியமான செதில் கையாளுதலுக்கு இது சரியானது.

போரோசிட்டி மற்றும் வெற்றிட செயல்திறன்:பீங்கான் பொருட்களின் நுண்துளை அமைப்பு, காற்று அல்லது வாயுவை மேற்பரப்பு வழியாக இழுக்க அனுமதிக்கும் சிறிய துளைகள் மூலம் ஒரு வலுவான வெற்றிட சக்தியை உருவாக்க சக்கிற்கு உதவுகிறது. இந்த போரோசிட்டியானது, சக் செதில் ஒரு பாதுகாப்பான பிடியை உருவாக்கி, செயலாக்கத்தின் போது எந்த சறுக்கல் அல்லது அசைவையும் தடுக்கிறது. வெற்றிட சக், உறிஞ்சும் சக்தியை சமமாக விநியோகிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, செதில் சிதைவு அல்லது சேதத்தை ஏற்படுத்தக்கூடிய உள்ளூர் அழுத்த புள்ளிகளைத் தவிர்க்கிறது.

துல்லியமான செதில் கையாளுதல்:செமிகண்டக்டர் உற்பத்திக்கு வெற்றிட சக்கின் திறன் செதில்களை ஒரே மாதிரியாக வைத்திருக்கும் மற்றும் உறுதிப்படுத்துகிறது. சீரான உறிஞ்சும் அழுத்தம், அதிவேக சுழற்சிகள் அல்லது வெற்றிட அறைகளுக்குள் சிக்கலான கையாளுதல்களின் போது கூட, சக் மேற்பரப்பில் செதில் பிளாட் மற்றும் நிலையானதாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி போன்ற துல்லியமான செயல்முறைகளுக்கு இந்த அம்சம் மிகவும் முக்கியமானது, செதில் நிலையில் நிமிட மாற்றங்கள் கூட குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும்.

வெப்ப நிலைத்தன்மை:அலுமினா மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு இரண்டும் அதிக வெப்ப நிலைப்புத்தன்மைக்கு பெயர் பெற்றவை. வெற்றிட சக் தீவிர வெப்ப நிலைகளிலும் கூட அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க முடியும். படிவு, பொறித்தல் மற்றும் பரவல் போன்ற செயல்முறைகளில் இது குறிப்பாக நன்மை பயக்கும், அங்கு செதில்கள் விரைவான வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் அல்லது அதிக இயக்க வெப்பநிலைகளுக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன. வெப்ப அதிர்ச்சியை எதிர்க்கும் பொருளின் திறன், உற்பத்தி சுழற்சி முழுவதும் சீரான செயல்திறனைப் பராமரிக்க முடியும் என்பதை உறுதி செய்கிறது.

இரசாயன எதிர்ப்பு:வெற்றிட சக்கில் பயன்படுத்தப்படும் நுண்துளை செராமிக் பொருட்கள், அமிலங்கள், கரைப்பான்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொதுவாக எதிர்கொள்ளும் எதிர்வினை வாயுக்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு வகையான இரசாயனங்களுக்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை. இந்த எதிர்ப்பு சக் மேற்பரப்பின் சிதைவைத் தடுக்கிறது, நீண்ட கால செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது மற்றும் அடிக்கடி பராமரிப்பு அல்லது மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது.

குறைந்த மாசு ஆபத்து:செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் உள்ள முக்கிய கவலைகளில் ஒன்று, செதில் கையாளும் போது ஏற்படும் மாசுபாட்டைக் குறைப்பதாகும். வெற்றிட சக்கின் மேற்பரப்பு நுண்ணிய துகள்கள் மாசுபடாமல் இருக்கவும், இரசாயன சிதைவை மிகவும் எதிர்க்கும் வகையிலும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது செமிகண்டக்டர் பயன்பாடுகளுக்குத் தேவையான கடுமையான தூய்மைத் தரங்களை இறுதி தயாரிப்பு பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்து, செதில் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பயன்பாடுகள்

• செதில் சுத்தம்:செதில் சுத்தம் செய்யும் போது, ​​வெற்றிட சக் பாதுகாப்பான, ஆக்கிரமிப்பு இல்லாத பிடியை வழங்குகிறது, இது செதில்களை உடல் ரீதியாக தொடாமல் சுத்தம் செய்ய அனுமதிக்கிறது. இது இயந்திர தொடர்புகளிலிருந்து சேதம் ஏற்படும் அபாயத்தைத் தடுக்கிறது மற்றும் செதில் மேற்பரப்பில் வெளிநாட்டு துகள்கள் அல்லது எச்சங்கள் மாற்றப்படுவதை உறுதி செய்கிறது.
• செதில் பொறித்தல் மற்றும் படிதல்:வினைத்திறன் அயனி எச்சிங் (RIE) அல்லது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) போன்ற செயல்முறைகளில், செதில்கள் வாயுக்கள் அல்லது பிளாஸ்மாவுக்கு வெளிப்படும், வெற்றிட சக் செதில்களை துல்லியமாக வைத்திருக்கும். சக் செதில் மீது ஒரு நிலையான பிடியை பராமரிக்கிறது, பொறித்தல் அல்லது படிவு சூழலுக்கு ஒரே மாதிரியான வெளிப்பாட்டிற்கு அனுமதிக்கிறது மற்றும் உயர்தர முடிவுகளை உறுதி செய்கிறது.
• செதில் சோதனை:மின் செயல்திறன் அல்லது கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டிற்காக செதில்கள் சோதிக்கப்படும் போது, ​​சிதைவு அல்லது சேதம் ஏற்படும் அபாயத்தைக் குறைக்கும் போது, ​​செதில்களைப் பாதுகாப்பாக வைத்திருக்க வெற்றிட சக் பயன்படுத்தப்படுகிறது. நிலையான பிடிப்பு சோதனையின் போது செதில்களின் நிலைப்பாடு மாறாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, இது துல்லியமான மற்றும் நம்பகமான முடிவுகளை வழங்குகிறது.
• வேஃபர் டைசிங்:சக் செதில் டைசிங் செயல்பாடுகளிலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, தனித்தனி சில்லுகளாக வெட்டப்படும்போது செதில் உறுதியாகப் பிடிக்கப்பட வேண்டும். வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது செதில் மாறாமல் இருப்பதை வெற்றிடம் உறுதி செய்கிறது, இல்லையெனில் தவறான சீரமைப்பு அல்லது மகசூல் இழப்பு ஏற்படலாம்.
• உயர் துல்லியமான செதில் போக்குவரத்து:வெற்றிட சக்ஸ் பொதுவாக ரோபோடிக் ஆயுதங்கள் அல்லது செதில் பரிமாற்ற நிலையங்கள் போன்ற தானியங்கி செதில் கையாளுதல் அமைப்புகளில் ஒரு செயலாக்க அறையிலிருந்து மற்றொரு இடத்திற்கு செதில்களை கொண்டு செல்ல பயன்படுத்தப்படுகிறது. சக் போக்குவரத்தின் போது செதில்களின் மீது நிலையான மற்றும் பாதுகாப்பான பிடியை வழங்குகிறது, இது மாசுபடுதல் அல்லது உடைப்பு அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

வெற்றிட சக்ஸின் நன்மைகள்

• மேம்படுத்தப்பட்ட துல்லியம்:வெற்றிட சக் வழங்கும் சீரான மற்றும் பாதுகாப்பான பிடியானது, செதில்கள் மிகவும் துல்லியமாக கையாளப்படுவதை உறுதி செய்கிறது, செயலாக்கத்தின் போது குறைபாடுகள் அல்லது சேதம் ஏற்படும் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.
• ஆயுள்:அலுமினா மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு போன்ற உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் பொருட்களின் பயன்பாடு, அதிக வெப்பநிலை, இரசாயன வெளிப்பாடு மற்றும் இயந்திர உடைகள் உள்ளிட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கடுமையான நிலைமைகளை வெற்றிட சக் தாங்கும் என்று உத்தரவாதம் அளிக்கிறது.
• குறைந்த பராமரிப்பு:வெற்றிட சக்கின் நீடித்த கட்டுமானம் மற்றும் எதிர்ப்புத் தன்மைகள் அதற்கு குறைந்தபட்ச பராமரிப்பு தேவை என்பதை உறுதிப்படுத்துகிறது, குறைந்த செயல்பாட்டு செலவுகள் மற்றும் அதிக உற்பத்தித்திறனுக்கு பங்களிக்கிறது.
• குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு:சக்கின் நுண்துளை இல்லாத மேற்பரப்பு மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவை மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கின்றன, உற்பத்தி செயல்முறை முழுவதும் செதில்கள் மிக உயர்ந்த அளவிலான தூய்மையைப் பராமரிப்பதை உறுதி செய்கிறது.

அலுமினியம் ஆக்சைடு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு போன்ற நுண்துளை மட்பாண்டங்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் செமிகோரெக்ஸ் வெற்றிட சக் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அதன் மேம்பட்ட பொருள் பண்புகள்-அதிக வெப்ப நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த வெற்றிட செயல்திறன் போன்றவை-சுத்தம், பொறித்தல், படிவு மற்றும் சோதனை போன்ற முக்கிய செயல்முறைகளின் போது திறமையான மற்றும் துல்லியமான செதில் கையாளுதலை உறுதி செய்கிறது. வெற்றிட சக்கின் செதில்களின் மீது பாதுகாப்பான மற்றும் சீரான பிடியை பராமரிக்கும் திறன், அதிக துல்லியமான பயன்பாடுகளுக்கு இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது, அதிக விளைச்சலுக்கு பங்களிக்கிறது, செதில் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது.