மூன்று இதழ்கள் கொண்ட கிராஃபைட் குரூசிபிள்

செமிகோரெக்ஸ் த்ரீ-இதழ் கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் (மூன்று-பகுதி அல்லது பிரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது) மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பொருட்களின் வெப்ப செயலாக்கத்தில் குறிப்பிடத்தக்க பொறியியல் முன்னேற்றத்தைக் குறிக்கிறது. அதி-உயர்-தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டிலிருந்து துல்லியமாக-இயந்திரம் செய்யப்பட்ட இந்த சிறப்புக் கப்பல், அடுத்த தலைமுறையின் படிக வளர்ச்சியின் தீவிர வெப்ப மற்றும் இரசாயன சூழல்களைத் தாங்கும் வகையில், குறிப்பாக சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பதங்கமாதல் மற்றும் இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) மற்றும் monocrystaling உற்பத்தி வழியாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

பாரம்பரிய ஒற்றை-துண்டு மோனோலிதிக் க்ரூசிபிள்கள் போலல்லாமல், புதுமையான மூன்று இதழ்கள் பிரிக்கப்பட்ட கட்டிடக்கலை சிறந்த இயந்திர நிவாரணத்தை வழங்குகிறது, இது வளர்ந்து வரும் படிக மேட்ரிக்ஸில் விரிசல் அல்லது அழுத்தமின்றி விரைவான வெப்ப சுழற்சிகளின் கீழ் ஒரே மாதிரியாக விரிவடைந்து சுருங்க அனுமதிக்கிறது.

முக்கிய தயாரிப்பு நன்மைகள் & பொறியியல் சிறப்பு

1. மன அழுத்தத்தைக் குறைக்கும் மூன்று இதழ்களின் கட்டிடக்கலை

கையொப்பம் மூன்று பிரிவு பிளவு வடிவமைப்பு ஒரு பொதுவான தொழில் வலி புள்ளியை தீர்க்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது:வெப்ப விரிவாக்கம் பொருந்தாமை. செமிகண்டக்டர் படிகமயமாக்கலின் தீவிர வெப்பம் மற்றும் குளிரூட்டும் கட்டங்களின் போது, ​​மோனோலிதிக் சிலுவைகள் பெரும்பாலும் உள்ளூர் அழுத்தத்தை அனுபவிக்கின்றன, இது கட்டமைப்பு சிதைவு அல்லது முன்கூட்டிய தோல்விக்கு வழிவகுக்கிறது. ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்பட்ட மூன்று இதழ் அமைப்பு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட நுண்ணிய நெகிழ்வை வழங்குகிறது, வெப்ப அழுத்தத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது, சிலுவை விரிசல் அபாயத்தை நீக்குகிறது மற்றும் கூறுகளின் செயல்பாட்டு ஆயுளை நீட்டிக்கிறது.

2. அல்ட்ரா-ஹை ப்யூரிட்டி கார்பன் அடி மூலக்கூறு

அதிக மகசூல் தரும் குறைக்கடத்தி வளர்ச்சியின் இறுதி எதிரி மாசுபாடு. எங்களின் மூன்று இதழ்கள் கொண்ட சிலுவைகள் சாம்பலைக் குறைக்கவும், உலோகத்தின் உள்ளடக்கத்தைக் கண்டறியவும் கடுமையான இரசாயன மற்றும் வெப்ப சுத்திகரிப்பு செயல்முறைகளுக்கு உட்படுகின்றன.5 ppm க்கும் குறைவானது. இது உலைக்குள் விதிவிலக்கான சுத்தமான சூழலை உறுதி செய்கிறது, உருகும் அல்லது நீராவி கட்டத்தில் ஆவியாகும் தூய்மையற்ற பரவலைத் தடுக்கிறது மற்றும் இறுதி செதில் சிப்பின் மின் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கிறது.

3. விதிவிலக்கான வெப்ப சுயவிவர சீரான தன்மை

குறைபாடற்ற ஒற்றை-படிக அமைப்பை அடைவதற்கு வெப்ப சாய்வுகளின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது. நாங்கள் தேர்ந்தெடுத்த ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் தரத்தின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மூன்று பிரிவுகளிலும் விரைவான, சீரான வெப்ப பரிமாற்றத்திற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. இந்த சீரான வெப்ப விவரக்குறிப்பு, உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட "ஹாட் ஸ்பாட்களை" நீக்குகிறது, இது ஒரு முழுமையான தட்டையான திடப்படுத்துதலை ஊக்குவிக்கிறது மற்றும் வளர்ந்து வரும் படிக இங்காட்டில் உள்ள இடப்பெயர்வுகள் போன்ற குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது.

4. மேம்பட்ட மேற்பரப்பு பூச்சுகள் (விரும்பினால்)

SiC கிரிஸ்டல் இழுப்பின் கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய—அதிக அரிக்கும் சூழல்களில் வெப்பநிலை 2000℃ ஐ விட அதிகமாக இருக்கும்—இந்த சிலுவைகளை சிறப்புடன் மேம்படுத்தலாம்.டான்டலம் கார்பைடு (TaC)அல்லதுசிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) பூச்சுகள். இந்த பாதுகாப்பு தடையானது எதிர்வினை வாயு அரிப்புக்கு எதிராக ஒப்பிடமுடியாத எதிர்ப்பை வழங்குகிறது மற்றும் கார்பன் வெளியேற்றத்தை தடுக்கிறது.

முதன்மை பயன்பாடுகள்

எங்கள் மூன்று இதழ்கள் கொண்ட கிராஃபைட் குரூசிபிள்கள் மேம்பட்ட தொழில்துறை வெப்ப மண்டலங்களில் பரவலாக செயல்படுத்தப்படுகின்றன:

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிக வளர்ச்சி: மின்சார வாகனங்கள் (EVகள்) மற்றும் பசுமை ஆற்றல் கட்டங்களில் பயன்படுத்தப்படும் பரந்த-பேண்ட்கேப் பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ்க்கு இன்றியமையாதது.

Czochralski (CZ) & PVT முறைகள்: உயர்-வெப்பநிலை தூண்டல் அல்லது எதிர்ப்பு உலைகளுக்குள் அதிக வலிமை கொண்ட வெளிப்புற ஆதரவு ஷெல் அல்லது நேரடி கட்டுப்பாட்டு பாத்திரமாக சிறந்தது.

கூட்டு குறைக்கடத்தி தொகுப்பு: அடுத்த ஜென் அடி மூலக்கூறு பொருட்களின் உயர்-தூய்மை செயலாக்கத்திற்கு ஏற்றது.

செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கான மேம்பட்ட பொருள் தீர்வுகளை வழங்குவதில் முன்னணி நிறுவனமாக, எங்கள் உற்பத்தி செயல்முறைகள் முழு தானியங்கு அமைப்புகள் மூலம் இறுக்கமாக கட்டுப்படுத்தப்படுகின்றன. ஒவ்வொரு மூன்று இதழ்கள் கொண்ட கிராஃபைட் குரூசிபிள் கடுமையான அழிவில்லாத சோதனை, துல்லியமான ஒருங்கிணைப்பு அளவீட்டு ஆய்வுகள் மற்றும் கண்டிப்பான தூய்மை சரிபார்ப்புக்கு உட்படுகிறது. நாங்கள் யூகிக்கக்கூடிய, மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய வெப்ப செயல்திறனை வழங்குகிறோம், செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ஸ் விளைச்சலை அதிகரிக்கவும், வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கவும் மற்றும் உரிமையின் ஒட்டுமொத்த செலவைக் குறைக்கவும் அனுமதிக்கிறது.