கட்டம் கொண்ட சஸ்செப்டர்

செமிகோரெக்ஸ் சஸ்பெப்டர் வித் கிரிட் என்பது செமிகண்டக்டர் செதில்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பு கூறு ஆகும். இந்த முக்கியமான உபகரணமானது உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (எம்ஓசிவிடி) அமைப்பில் உள்ள பொருட்களின் படிவுகளின் போது செதில்களை எடுத்துச் செல்லவும் ஆதரிக்கவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகண்டக்டர் செதில்களில் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் சீரான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வளர்ச்சியை உறுதி செய்வதில் கட்டத்துடன் கூடிய சஸ்பெப்டர் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

கிரிட் கொண்ட சஸ்செப்டர் அதன் செயல்பாட்டிற்கு உகந்த பொருட்களால் கட்டப்பட்டுள்ளது. இந்த வழக்கில், இது MOCVD SiC (உலோக-ஆர்கானிக் கெமிக்கல் நீராவி படிவு சிலிக்கான் கார்பைடு) பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டால் ஆனது. இந்த பொருட்களின் தேர்வு உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் உட்பட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது. கிராஃபைட்டில் உள்ள SiC பூச்சு, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது எதிர்கொள்ளும் கடுமையான நிலைமைகளுக்கு சஸ்பெப்டரின் ஆயுள் மற்றும் எதிர்ப்பை அதிகரிக்கிறது.

கிரிட் அமைப்புடன் கூடிய சஸ்செப்டர் செமிகண்டக்டர் செதில்களுக்கான ஆதரவு பொறிமுறையாக செயல்படுகிறது. இது மூலோபாய ரீதியாக செதில்களை பாதுகாப்பாக வைக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, அதே நேரத்தில் வாயுக்களின் திறமையான ஓட்டம் மற்றும் பொருட்களின் சீரான படிவு ஆகியவற்றை அனுமதிக்கிறது. கட்டம் அமைப்பு வெப்பம் மற்றும் எதிர்வினைகளை செதில் மேற்பரப்பில் சமமாக விநியோகிக்க உதவுகிறது, இது எபிடாக்சியல் அடுக்கு தடிமன் மற்றும் கலவையின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டிற்கு பங்களிக்கிறது.

கிரிட் கொண்ட செமிகோரெக்ஸ் சஸ்செப்டர் என்பது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அதன் வலுவான கட்டுமானம் மற்றும் சிறப்பு வடிவமைப்பு, உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை அடைவதற்கான இன்றியமையாத கருவியாக அமைகிறது, சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையுடன் குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தியை உறுதி செய்கிறது.