ரிசீவர் தட்டு

செமிகோரெக்ஸ் சஸ்செப்டர் பிளேட் என்பது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், குறிப்பாக மெல்லிய படலங்கள் அல்லது அடுக்குகளின் படிவுகளின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களை எடுத்துச் செல்ல வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மெட்டல்-ஆர்கானிக் கெமிக்கல் நீராவி படிவு (எம்ஓசிவிடி) சூழலில், இந்த தட்டுகள் குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கக்கூடிய மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சிக்கு நிலையான மேற்பரப்பை வழங்கும் பொருட்களிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.

இந்தச் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் சஸ்செப்டர் பிளேட், MOCVD செயல்முறையின் மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டிலிருந்து கட்டப்பட்டது. சிலிக்கான் கார்பைடு விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, இயந்திர வலிமை மற்றும் இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் கோரும் நிலைமைகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.

MOCVD இன் போது, ​​சஸ்பெப்டர் பிளேட் வெப்பத்தை குறைக்கடத்தி செதில்களுக்கு திறம்பட மாற்றுவதன் மூலம் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. தட்டு சுற்றியுள்ள சூழலில் இருந்து ஆற்றலை உறிஞ்சி அதை செதில்களை நோக்கி கதிர்வீச்சு செய்கிறது, இது மெல்லிய படலங்களை செதில் பரப்புகளில் கட்டுப்படுத்துகிறது. சீரான மற்றும் உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை அடைவதற்கு இந்தத் துல்லியமான வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாடு அவசியம், அவை மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியில் முக்கியமானவை.

SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டால் ஆன MOCVD செயல்முறைகளில் உள்ள சஸ்செப்டர் பிளேட், குறைக்கடத்தி செதில்களை ஆதரிப்பதற்கும், உகந்த வெப்பப் பரிமாற்றத்தை உறுதி செய்வதற்கும், மற்றும் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு தேவையான குணாதிசயங்களைக் கொண்ட மெல்லிய படங்களின் வெற்றிகரமான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு பங்களிப்பதற்கும் நம்பகமான தளமாக செயல்படுகிறது.