செமிகோரெக்ஸ் சஸ்செப்டர் டிஸ்க் என்பது மெட்டல்-ஆர்கானிக் கெமிக்கல் நீராவி வைப்பில் (எம்ஓசிவிடி) இன்றியமையாத கருவியாகும். செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் உற்பத்தியில் சஸ்பெப்டர் டிஸ்க் கருவியாக உள்ளது, அங்கு துல்லியமான அடுக்கு வளர்ச்சி மிக முக்கியமானது. சந்தை-முன்னணி தரத்திற்கான செமிகோரெக்ஸின் அர்ப்பணிப்பு, போட்டி நிதிக் கருத்தாய்வுகளுடன் இணைந்து, உங்கள் குறைக்கடத்தி செதில் கடத்தல் தேவைகளை நிறைவேற்றுவதில் கூட்டாண்மைகளை நிறுவுவதற்கான எங்கள் ஆர்வத்தை உறுதிப்படுத்துகிறது.
உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டு, MOCVD நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடுக்குடன் பூசப்பட்டது, Semicorex Susceptor Disc ஆனது குறிப்பிடத்தக்க இரசாயன நிலைத்தன்மையுடன் விதிவிலக்கான வெப்ப பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் நிலைமைகளுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை உறுதி செய்கிறது, சவாலான சூழல்களில் சஸ்பெப்டர் டிஸ்கின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க முக்கியமானது.
கூடுதலாக, சஸ்செப்டர் டிஸ்கில் உள்ள SiC பூச்சு அதன் வெப்ப கடத்துத்திறனை மேம்படுத்துகிறது, இது சீரான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு முக்கியமான வேகமான மற்றும் வெப்ப விநியோகத்தை அனுமதிக்கிறது. இது வெப்பத்தை திறம்பட உறிஞ்சி கதிர்வீச்சு செய்கிறது, மெல்லிய படலங்கள் படிவதற்கு தேவையான நிலையான, சீரான வெப்பநிலையை வழங்குகிறது. மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்பாடு மற்றும் செயல்திறனுக்கு அடிப்படையான உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை அடைவதற்கு இந்த சீரான தன்மை மிகவும் முக்கியமானது.
சஸ்பெப்டர் டிஸ்கின் வடிவமைப்பு வெப்ப விரிவாக்கத்தின் சவாலையும் நிவர்த்தி செய்கிறது. வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்தபட்ச குணகம் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளுடன் வலுவான பிணைப்பை உறுதி செய்கிறது, வெப்ப சுழற்சியின் காரணமாக விரிசல் ஏற்படும் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. இந்த அம்சம், சஸ்பெப்டர் டிஸ்கின் உயர் உருகுநிலை மற்றும் சிறந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்புடன் இணைந்து, தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் நம்பகமான செயல்பாட்டை அனுமதிக்கிறது.
இந்த மேம்பட்ட பண்புகளுடன், சஸ்பெப்டர் டிஸ்க் நவீன MOCVD பயன்பாடுகளின் கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்வது மட்டுமல்லாமல், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் வெளியீட்டை மேம்படுத்தும் நம்பகமான, உயர் செயல்திறன் தீர்வை வழங்குகிறது.