SOI வேஃபர்

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஓஐ வேஃபர் (சிலிக்கான் ஆன் இன்சுலேட்டர்) என்பது நவீன ஒருங்கிணைந்த சுற்று (ஐசி) ஃபேப்ரிகேஷனின் உயர் செயல்திறன் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு அதிநவீன குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறு ஆகும். பொதுவாக சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SiO₂) இன்சுலேடிங் பொருளின் மேல் சிலிக்கானின் மெல்லிய அடுக்குடன் கட்டமைக்கப்படுகிறது, SOI செதில்கள் வெவ்வேறு மின் கூறுகளுக்கு இடையில் தனிமைப்படுத்துவதன் மூலம் குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் குறிப்பிடத்தக்க செயல்திறன் மேம்பாடுகளை செயல்படுத்துகின்றன. மின் சாதனங்கள், RF (ரேடியோ அதிர்வெண்) கூறுகள் மற்றும் MEMS (மைக்ரோ-எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ்) ஆகியவற்றின் உற்பத்தியில் இந்த செதில்கள் குறிப்பாக நன்மை பயக்கும், அங்கு வெப்ப மேலாண்மை, ஆற்றல் திறன் மற்றும் மினியேட்டரைசேஷன் ஆகியவை முக்கியமானவை.

SOI செதில்கள் குறைந்த ஒட்டுண்ணி கொள்ளளவு, அடுக்குகளுக்கு இடையே குறுக்கு பேச்சு குறைதல் மற்றும் சிறந்த வெப்ப தனிமைப்படுத்தல் உள்ளிட்ட சிறந்த மின் பண்புகளை வழங்குகின்றன, இது மேம்பட்ட எலக்ட்ரானிக்ஸில் அதிக அதிர்வெண், அதிவேக மற்றும் ஆற்றல் உணர்திறன் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. Semicorex குறிப்பிட்ட உற்பத்தித் தேவைகளுக்கு ஏற்ப பல்வேறு SOI செதில்களை வழங்குகிறது, இதில் வெவ்வேறு சிலிக்கான் தடிமன்கள், செதில் விட்டம் மற்றும் இன்சுலேட்டிங் அடுக்குகள் ஆகியவை அடங்கும், வாடிக்கையாளர்கள் தங்கள் பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமான தயாரிப்பைப் பெறுவதை உறுதிசெய்கிறது.

கட்டமைப்பு மற்றும் அம்சங்கள்

ஒரு SOI செதில் மூன்று முக்கிய அடுக்குகளைக் கொண்டுள்ளது: மேல் சிலிக்கான் அடுக்கு, ஒரு காப்பு அடுக்கு (பொதுவாக சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு) மற்றும் ஒரு மொத்த சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு. மேல் சிலிக்கான் அடுக்கு, அல்லது சாதன அடுக்கு, குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் புனையப்பட்ட செயலில் உள்ள பகுதியாக செயல்படுகிறது. இன்சுலேடிங் லேயர் (SiO₂) ஒரு மின்சார இன்சுலேடிங் தடையாக செயல்படுகிறது, மேல் சிலிக்கான் அடுக்கு மற்றும் மொத்த சிலிக்கான் இடையே ஒரு பிரிவை வழங்குகிறது, இது செதில் இயந்திர ஆதரவாக செயல்படுகிறது.

செமிகோரெக்ஸின் SOI செதில்களின் முக்கிய அம்சங்கள் பின்வருமாறு:

சாதன அடுக்கு: சிலிக்கானின் மேல் அடுக்கு பொதுவாக மெல்லியதாக இருக்கும், பயன்பாட்டினைப் பொறுத்து பத்து நானோமீட்டர்கள் முதல் பல மைக்ரோமீட்டர்கள் தடிமன் வரை இருக்கும். இந்த மெல்லிய சிலிக்கான் அடுக்கு டிரான்சிஸ்டர்கள் மற்றும் பிற குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் அதிவேக மாறுதல் மற்றும் குறைந்த மின் நுகர்வு ஆகியவற்றை அனுமதிக்கிறது.

இன்சுலேடிங் லேயர் (SiO₂): இன்சுலேடிங் லேயர் பொதுவாக 100 nm மற்றும் பல மைக்ரோமீட்டர்கள் தடிமனாக இருக்கும். இந்த சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு அடுக்கு செயலில் உள்ள மேல் அடுக்கு மற்றும் மொத்த சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையே மின் தனிமைப்படுத்தலை வழங்குகிறது, இது ஒட்டுண்ணி கொள்ளளவைக் குறைக்க உதவுகிறது மற்றும் சாதனத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

மொத்த சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு: மொத்த சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு இயந்திர ஆதரவை வழங்குகிறது மற்றும் பொதுவாக சாதன அடுக்கை விட தடிமனாக இருக்கும். அதன் எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் தடிமன் ஆகியவற்றை சரிசெய்வதன் மூலம் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்பவும் இது வடிவமைக்கப்படலாம்.

தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்கள்: Semicorex பல்வேறு சிலிக்கான் அடுக்கு தடிமன்கள், காப்பு அடுக்கு தடிமன்கள், செதில் விட்டம் (பொதுவாக 100mm, 150mm, 200mm மற்றும் 300mm) மற்றும் செதில் நோக்குநிலைகள் உட்பட பல்வேறு தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்களை வழங்குகிறது. சிறிய அளவிலான ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு முதல் அதிக அளவு உற்பத்தி வரையிலான பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்ற SOI செதில்களை வழங்க இது அனுமதிக்கிறது.

உயர்தர பொருள்: எங்கள் SOI செதில்கள் உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் மூலம் தயாரிக்கப்படுகின்றன, குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் உயர் படிக தரத்தை உறுதி செய்கிறது. இது சிறந்த சாதன செயல்திறன் மற்றும் புனையலின் போது விளைச்சலை விளைவிக்கிறது.

மேம்பட்ட பிணைப்பு நுட்பங்கள்: Semicorex SIMOX (ஆக்ஸிஜனைப் பொருத்துவதன் மூலம் பிரித்தல்) அல்லது ஸ்மார்ட் கட்™ தொழில்நுட்பம் போன்ற மேம்பட்ட பிணைப்பு நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தி எங்கள் SOI செதில்களை உருவாக்குகிறது. இந்த முறைகள் சிலிக்கான் மற்றும் இன்சுலேடிங் அடுக்குகளின் தடிமன் மீது சிறந்த கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கின்றன, மிகவும் தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்ற நிலையான, உயர்தர செதில்களை வழங்குகின்றன.

செமிகண்டக்டர் துறையில் பயன்பாடுகள்

SOI செதில்கள் பல மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் அவற்றின் மேம்பட்ட மின் பண்புகள் மற்றும் உயர் அதிர்வெண், குறைந்த சக்தி மற்றும் அதிவேக சூழல்களில் சிறந்த செயல்திறன் காரணமாக முக்கியமானவை. செமிகோரெக்ஸின் SOI செதில்களின் சில முக்கிய பயன்பாடுகள் கீழே உள்ளன:

RF மற்றும் மைக்ரோவேவ் சாதனங்கள்: SOI செதில்களின் இன்சுலேடிங் லேயர் ஒட்டுண்ணி கொள்ளளவைக் குறைக்க உதவுகிறது மற்றும் சிக்னல் சிதைவைத் தடுக்கிறது, அவை RF (ரேடியோ அலைவரிசை) மற்றும் பவர் பெருக்கிகள், ஆஸிலேட்டர்கள் மற்றும் மிக்சர்கள் உள்ளிட்ட மைக்ரோவேவ் சாதனங்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. இந்த சாதனங்கள் மேம்படுத்தப்பட்ட தனிமைப்படுத்தலில் இருந்து பயனடைகின்றன, இதன் விளைவாக அதிக செயல்திறன் மற்றும் குறைந்த மின் நுகர்வு.

சக்தி சாதனங்கள்: SOI செதில்களில் உள்ள இன்சுலேடிங் லேயர் மற்றும் மெல்லிய மேல் சிலிக்கான் லேயர் ஆகியவற்றின் கலவையானது சிறந்த வெப்ப மேலாண்மைக்கு அனுமதிக்கிறது, திறமையான வெப்பச் சிதறல் தேவைப்படும் சக்தி சாதனங்களுக்கு அவை சரியானதாக அமைகிறது. பயன்பாடுகளில் பவர் MOSFET கள் (மெட்டல்-ஆக்சைடு-செமிகண்டக்டர் ஃபீல்ட்-எஃபெக்ட் டிரான்சிஸ்டர்கள்) அடங்கும், அவை குறைக்கப்பட்ட மின் இழப்பு, வேகமான மாறுதல் வேகம் மற்றும் மேம்பட்ட வெப்ப செயல்திறன் ஆகியவற்றிலிருந்து பயனடைகின்றன.

MEMS (மைக்ரோ-எலக்ட்ரோமெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ்): SOI செதில்கள் MEMS சாதனங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, ஏனெனில் நன்கு வரையறுக்கப்பட்ட, மெல்லிய சிலிக்கான் சாதன அடுக்கு, சிக்கலான கட்டமைப்புகளை உருவாக்குவதற்கு எளிதில் மைக்ரோமச்சின் செய்யப்படலாம். SOI-அடிப்படையிலான MEMS சாதனங்கள் சென்சார்கள், ஆக்சுவேட்டர்கள் மற்றும் அதிக துல்லியம் மற்றும் இயந்திர நம்பகத்தன்மை தேவைப்படும் பிற அமைப்புகளில் காணப்படுகின்றன.

மேம்பட்ட தர்க்கம் மற்றும் CMOS தொழில்நுட்பம்: அதிவேக செயலிகள், நினைவக சாதனங்கள் மற்றும் பிற ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகளை உருவாக்க மேம்பட்ட CMOS (நிரப்பு உலோக-ஆக்சைடு-குறைக்கடத்தி) தர்க்க தொழில்நுட்பங்களில் SOI செதில்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. SOI செதில்களின் குறைந்த ஒட்டுண்ணி கொள்ளளவு மற்றும் குறைக்கப்பட்ட மின் நுகர்வு வேகமான மாறுதல் வேகம் மற்றும் அதிக ஆற்றல் திறன், அடுத்த தலைமுறை மின்னணுவியலில் முக்கிய காரணிகளை அடைய உதவுகிறது.

ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் ஃபோட்டானிக்ஸ்: SOI செதில்களில் உள்ள உயர்தர படிக சிலிக்கான், ஃபோட்டோடெக்டர்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் இன்டர்கனெக்ட்ஸ் போன்ற ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. இந்த பயன்பாடுகள் இன்சுலேடிங் லேயரால் வழங்கப்படும் சிறந்த மின் தனிமை மற்றும் ஒரே சிப்பில் ஃபோட்டானிக் மற்றும் எலக்ட்ரானிக் கூறுகளை ஒருங்கிணைக்கும் திறன் ஆகியவற்றிலிருந்து பயனடைகின்றன.

நினைவக சாதனங்கள்: ஃப்ளாஷ் நினைவகம் மற்றும் SRAM (நிலையான சீரற்ற அணுகல் நினைவகம்) உள்ளிட்ட நிலையற்ற நினைவக பயன்பாடுகளிலும் SOI செதில்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இன்சுலேடிங் லேயர், மின் குறுக்கீடு மற்றும் குறுக்கு பேச்சு ஆகியவற்றின் அபாயத்தைக் குறைப்பதன் மூலம் சாதனத்தின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க உதவுகிறது.

செமிகோரெக்ஸின் SOI செதில்கள் RF சாதனங்கள் முதல் பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் MEMS வரையிலான பரந்த அளவிலான குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு மேம்பட்ட தீர்வை வழங்குகிறது. குறைந்த ஒட்டுண்ணி கொள்ளளவு, குறைக்கப்பட்ட மின் நுகர்வு மற்றும் சிறந்த வெப்ப மேலாண்மை உள்ளிட்ட விதிவிலக்கான செயல்திறன் பண்புகளுடன், இந்த செதில்கள் மேம்பட்ட சாதன செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகின்றன. குறிப்பிட்ட வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்கக்கூடியது, செமிகோரெக்ஸின் SOI செதில்கள் அடுத்த தலைமுறை எலக்ட்ரானிக்ஸ்க்கு உயர் செயல்திறன் கொண்ட அடி மூலக்கூறுகளைத் தேடும் உற்பத்தியாளர்களுக்கு சிறந்த தேர்வாகும்.