சிலிக்கான் கார்பைடு ICP பொறித்தல் தட்டு

சிலிக்கான் கார்பைடு ICP பொறித்தல் தட்டுபொறித்தல் செயல்பாடுகளில் செதில்களுக்கு நிலையான ஆதரவையும் துல்லியமான நிலைப்பாட்டையும் வழங்குவதில் திறமை வாய்ந்தது, அதிர்வு அல்லது இடப்பெயர்ச்சி மூலம் பொறித்தல் துல்லியம் குறைவதைத் தடுக்கிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு ICP பொறித்தல் தட்டு வெப்ப மேலாண்மை திறன்களைக் கொண்டுள்ளது. சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்SIC பீங்கான்சிலிக்கான் கார்பைடு ICP எட்ச்சிங் பிளேட்டுக்கு வெப்பத்தை விரைவாகச் சிதறடிக்கும் திறனை அளிக்கிறது, இது பணிப்பொருளின் உள்ளூர் அதிக வெப்பத்தைத் தடுக்க உதவுகிறது மற்றும் பொறித்தல் வெப்பநிலையின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது, இதன் மூலம் பொறித்தல் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது. SiC மட்பாண்டங்கள் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளன, இது சிலிக்கான் கார்பைடு ICP எட்ச்சிங் பிளேட்டை நல்ல பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கவும், வெப்ப விரிவாக்கத்தால் ஏற்படும் பணியிட இடப்பெயர்ச்சி அல்லது சிதைவைக் குறைக்கவும் அனுமதிக்கிறது.

அதன் சிறந்த கடினத்தன்மை மற்றும் வலிமை பண்புகளை நம்பி, சிலிக்கான் கார்பைடு ICP எட்ச்சிங் பிளேட், பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது ஏற்படும் இயந்திர அழுத்தம் மற்றும் பிளாஸ்மா தாக்கத்தை குறைந்தபட்ச சிதைவு அல்லது சேதத்துடன் பொறுத்துக்கொள்ளும் திறனைக் காட்டுகிறது. இந்த திறன் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் மகசூல் மற்றும் உற்பத்தி திறனை திறம்பட மேம்படுத்துகிறது.

ICP இயக்க சூழலுக்கு குறைக்கடத்தி நிலை தூய்மை தேவைப்படுகிறது. செமிகோரெக்ஸின் சிலிக்கான் கார்பைடு ஐசிபி எட்ச்சிங் பிளேட் இந்தத் தேவையை முழுமையாகப் பூர்த்தி செய்து, இரசாயன வாயுக்களுக்கு (குளோரின் மற்றும் ஃப்ளோரின் போன்றவை) விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வழங்குகிறது மற்றும் ஐசிபி எச்சிங் சூழல்களின் பிளாஸ்மா. இந்த குறிப்பிடத்தக்க அம்சம் செதுக்கல் செயல்பாடுகளின் போது வெளியிடப்படும் அசுத்தங்களின் அளவைக் குறைப்பதன் மூலம் செயல்முறை சூழலை சுத்தமாக வைத்திருக்கிறது.

Semicorex பயனர் வசதிக்காக முன்னுரிமை அளிக்கிறது, சிலிக்கான் கார்பைடு ICP எட்ச்சிங் பிளேட்டின் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வடிவமைப்புகளை வழங்குகிறது, இது ஏற்கனவே உள்ள ICP பொறித்தல் அமைப்புகளுடன் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கிறது மற்றும் பல்வேறு கட்டமைப்புகளுடன் இணக்கமானது. இது ஒரு மென்மையான மாற்றத்தை அனுமதிக்கிறது, இது உபகரண உற்பத்தியாளர்களுக்கு சிறந்த மேம்படுத்தல் தீர்வாக அமைகிறது.