SiC வேஃபர் தட்டு

செமிகோரெக்ஸ் SiC வேஃபர் ட்ரே, MOCVD கருவியில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக செயல்படுகிறது, ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறுகளை வைத்திருக்கிறது மற்றும் வெப்பமாக நிர்வகிக்கிறது. அதன் விதிவிலக்கான செயல்திறன் பண்புகள், உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான தன்மை மற்றும் அரிப்பைத் தடுப்பது மற்றும் பல, எபிடாக்சியல் பொருட்களின் உயர்தர வளர்ச்சிக்கு முக்கியமானது. இந்த பண்புக்கூறுகள் மெல்லிய பட அடுக்குகளில் சீரான சீரான தன்மை மற்றும் தூய்மையை உறுதி செய்கின்றன.

SiC பூச்சுடன் மேம்படுத்தப்பட்ட, SiC செதில் தட்டு வெப்ப கடத்துத்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, சீரான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு முக்கியமான விரைவான மற்றும் வெப்ப விநியோகத்தை எளிதாக்குகிறது. SiC வேஃபர் ட்ரேயின் வெப்பத்தை திறம்பட உறிஞ்சி கதிர்வீச்சு செய்யும் திறன் ஒரு நிலையான மற்றும் சீரான வெப்பநிலையை பராமரிக்கிறது, இது மெல்லிய படலங்களின் துல்லியமான படிவுக்கு அவசியம். மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறனுக்கு அவசியமான உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை உருவாக்குவதற்கு இந்த சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் முக்கியமானது.

SiC வேஃபர் ட்ரேயின் நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் ஆயுட்காலம் ஆகியவை மாற்றுகளின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கின்றன, வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பராமரிப்புச் செலவுகளைக் குறைக்கின்றன. அதன் வலுவான கட்டுமானம் மற்றும் சிறந்த செயல்பாட்டு திறன்கள் செயல்முறை செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உற்பத்தி மற்றும் செலவு-செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.

கூடுதலாக, Semicorex SiC வேஃபர் ட்ரே அதிக வெப்பநிலையில் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, மேலும் அதன் ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. அதன் உயர் வெப்ப சகிப்புத்தன்மை, குறிப்பிடத்தக்க உருகுநிலையால் குறிக்கப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறைகளில் உள்ளார்ந்த கடுமையான வெப்ப நிலைகளை தாங்கிக்கொள்ள உதவுகிறது.