Semicorex SiC Multi Pocket Susceptor உயர்தர செமிகண்டக்டர் செதில்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் ஒரு முக்கியமான செயல்படுத்தும் தொழில்நுட்பத்தைக் குறிக்கிறது. ஒரு அதிநவீன இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையின் மூலம் உருவாக்கப்பட்ட இந்த susceptors விதிவிலக்கான எபிடாக்சியல் லேயர் சீரான தன்மை மற்றும் செயல்முறை செயல்திறனை அடைவதற்கான வலுவான மற்றும் உயர்-செயல்திறன் தளத்தை வழங்குகிறது.**
Semicorex SiC Multi Pocket Susceptor இன் அடித்தளம் அதி-உயர் தூய்மையான ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட் ஆகும், இது வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றிற்கு பெயர் பெற்றது. நுணுக்கமாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட CVD-டெபாசிட் செய்யப்பட்ட SiC பூச்சு பயன்பாட்டின் மூலம் இந்த அடிப்படைப் பொருள் மேலும் மேம்படுத்தப்படுகிறது. இந்த கலவையானது பண்புகளின் தனித்துவமான சினெர்ஜியை வழங்குகிறது:
இணையற்ற இரசாயன எதிர்ப்பு:SiC மேற்பரப்பு அடுக்கு ஆக்சிஜனேற்றம், அரிப்பு மற்றும் இரசாயன தாக்குதலுக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளுக்கு உள்ளார்ந்த உயர்ந்த வெப்பநிலையில் கூட. இந்த செயலற்ற தன்மை SiC Multi Pocket Susceptor அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் மேற்பரப்பு தரத்தை பராமரிக்கிறது, மாசுபாட்டின் அபாயத்தை குறைக்கிறது மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட செயல்பாட்டு ஆயுளை உறுதி செய்கிறது.
விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான தன்மை:ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட்டின் உள்ளார்ந்த நிலைத்தன்மை, சீரான SiC பூச்சுடன் இணைந்து, சஸ்பெப்டர் மேற்பரப்பு முழுவதும் சீரான வெப்ப விநியோகத்திற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. எபிடாக்ஸியின் போது செதில் முழுவதும் ஒரே மாதிரியான வெப்பநிலை சுயவிவரங்களை அடைவதில் இந்த சீரான தன்மை மிக முக்கியமானது, இது நேரடியாக உயர்ந்த படிக வளர்ச்சி மற்றும் பட சீரானதாக மொழிபெயர்க்கிறது.
மேம்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை திறன்:SiC Multi Pocket Susceptor இன் வலிமை மற்றும் நீண்ட ஆயுட்காலம் அதிகரித்த செயல்முறை செயல்திறனுக்கு பங்களிக்கிறது. துப்புரவு அல்லது மாற்றுதலுக்கான குறைக்கப்பட்ட வேலையில்லா நேரம், அதிக செயல்திறன் மற்றும் குறைந்த ஒட்டுமொத்த உரிமைச் செலவு, குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு சூழல்களைக் கோருவதில் முக்கியமான காரணிகள்.
SiC மல்டி பாக்கெட் சஸ்செப்டரின் உயர்ந்த பண்புகள், எபிடாக்சியல் வேஃபர் ஃபேப்ரிகேஷனில் உறுதியான பலன்களுக்கு நேரடியாக மொழிபெயர்க்கின்றன:
மேம்படுத்தப்பட்ட வேஃபர் தரம்:மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்பநிலை சீரான தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவை எபிடாக்சியல் அடுக்கில் குறைபாடுகள் மற்றும் மேம்பட்ட படிக தரத்தை குறைக்க பங்களிக்கின்றன. இது இறுதி குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் மேம்பட்ட செயல்திறன் மற்றும் விளைச்சலுக்கு நேரடியாக மொழிபெயர்க்கிறது.
அதிகரித்த சாதன செயல்திறன்:எபிடாக்ஸியின் போது ஊக்கமருந்து சுயவிவரங்கள் மற்றும் அடுக்கு தடிமன் ஆகியவற்றின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அடைவதற்கான திறன் சாதனத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கு முக்கியமானது. SiC Multi Pocket Susceptor வழங்கும் நிலையான மற்றும் சீரான இயங்குதளமானது, குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளுக்கான சாதனத்தின் சிறப்பியல்புகளை நன்றாக மாற்றுவதற்கு உற்பத்தியாளர்களுக்கு உதவுகிறது.
மேம்பட்ட பயன்பாடுகளை இயக்குதல்:குறைக்கடத்தி தொழில் சிறிய சாதன வடிவவியல் மற்றும் மிகவும் சிக்கலான கட்டமைப்புகளை நோக்கி தள்ளப்படுவதால், உயர் செயல்திறன் கொண்ட எபிடாக்சியல் செதில்களுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரித்து வருகிறது. செமிகோரெக்ஸ் SiC Multi Pocket Susceptor ஆனது துல்லியமான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு தேவையான தளத்தை வழங்குவதன் மூலம் இந்த முன்னேற்றங்களை செயல்படுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.