SiC MOCVD கவர் பிரிவு

Semicorex SiC MOCVD கவர் பிரிவு, தீவிர வெப்பநிலை மற்றும் அதிக வினைத்திறன் கொண்ட முன்னோடிகளின் முன்னிலையில் அவற்றின் செயல்திறனுக்காக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொருட்களின் ஒருங்கிணைந்த கலவையை மேம்படுத்துகிறது. ஒவ்வொரு பிரிவின் மையமும் இதிலிருந்து கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளதுஉயர் தூய்மையான ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட், 5 ppm க்கும் குறைவான சாம்பல் உள்ளடக்கத்தை பெருமைப்படுத்துகிறது. இந்த விதிவிலக்கான தூய்மையானது சாத்தியமான மாசுபாடு அபாயங்களைக் குறைக்கிறது, வளர்ந்து வரும் SiC எபிலேயர்களின் ஒருமைப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. அது தவிர, ஒரு துல்லியமாக பயன்படுத்தப்படும்இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) SiC பூச்சுகிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மீது ஒரு பாதுகாப்பு தடையை உருவாக்குகிறது. இந்த உயர்-தூய்மை (≥ 6N) அடுக்கு பொதுவாக SiC எபிடாக்ஸியில் பயன்படுத்தப்படும் ஆக்கிரமிப்பு முன்னோடிகளுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது.

முக்கிய அம்சங்கள்:

இந்த பொருள் பண்புகள் SiC MOCVD இன் கோரும் சூழலில் உறுதியான நன்மைகளாக மொழிபெயர்க்கப்படுகின்றன:

அசையாத வெப்பநிலை மீள்தன்மை: SiC MOCVD அட்டைப் பிரிவின் ஒருங்கிணைந்த வலிமையானது கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் SiC எபிடாக்ஸிக்கு தேவைப்படும் தீவிர வெப்பநிலையில் (பெரும்பாலும் 1500°Cக்கு மேல்) கூட சிதைப்பது அல்லது சிதைவதைத் தடுக்கிறது.

இரசாயன தாக்குதல் எதிர்ப்பு: CVD SiC அடுக்கு, silane மற்றும் trimethylaluminum போன்ற பொதுவான SiC epitaxy முன்னோடிகளின் அரிக்கும் தன்மைக்கு எதிராக ஒரு வலுவான கவசமாக செயல்படுகிறது. இந்த பாதுகாப்பு SiC MOCVD கவர் பிரிவின் நீட்டிக்கப்பட்ட பயன்பாட்டின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது, துகள் உருவாக்கத்தை குறைக்கிறது மற்றும் தூய்மையான செயல்முறை சூழலை உறுதி செய்கிறது.

வேஃபர் ஒற்றுமையை ஊக்குவித்தல்: SiC MOCVD கவர் பிரிவின் உள்ளார்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான தன்மை எபிடாக்ஸியின் போது செதில் முழுவதும் மிகவும் சமமாக விநியோகிக்கப்படும் வெப்பநிலை சுயவிவரத்திற்கு பங்களிக்கிறது. இது டெபாசிட் செய்யப்பட்ட SiC எபிலேயர்களின் ஒரே மாதிரியான வளர்ச்சி மற்றும் உயர்ந்த சீரான தன்மையை ஏற்படுத்துகிறது.

Aixtron G5 ரிசீவர் கிட் செமிகோரெக்ஸ் சப்ளைஸ்

செயல்பாட்டு நன்மைகள்:

செயல்முறை மேம்பாடுகளுக்கு அப்பால், Semicorex SiC MOCVD கவர் பிரிவு குறிப்பிடத்தக்க செயல்பாட்டு நன்மைகளை வழங்குகிறது:

நீடித்த சேவை வாழ்க்கை: வலுவான பொருள் தேர்வு மற்றும் கட்டுமானம் கவர் பிரிவுகளுக்கான நீட்டிக்கப்பட்ட ஆயுட்காலம், அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது. இது செயல்முறை வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் ஒட்டுமொத்த செயல்பாட்டுச் செலவுகளைக் குறைக்க உதவுகிறது.

உயர்தர எபிடாக்சி இயக்கப்பட்டது: இறுதியில், மேம்பட்ட SiC MOCVD கவர் பிரிவு, சிறந்த SiC எபிலேயர்களின் உற்பத்திக்கு நேரடியாகப் பங்களிக்கிறது, பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ், RF தொழில்நுட்பம் மற்றும் பிற கோரும் பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படும் அதிக செயல்திறன் கொண்ட SiC சாதனங்களுக்கு வழி வகுக்கிறது.