SiC ஃபோகஸ் ரிங்

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி ஃபோகஸ் ரிங் என்பது துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட, மோதிர வடிவ கூறு ஆகும், இது உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடால் தயாரிக்கப்படுகிறது. SiC ஃபோகஸ் ரிங் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி செயலாக்க பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு வெப்ப நிலைத்தன்மை (அதிக உருகுநிலை), இயந்திர ஆயுள் (அதிக கடினத்தன்மை) மற்றும் மின் கடத்தல் பண்புகள் ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் சிறந்த செயல்திறனை வழங்குகிறது, இது பல அடுத்த தலைமுறை செதில் புனையமைப்பு தொழில்நுட்பங்களின் விவரக்குறிப்புகளுடன் பொருந்துவதற்கு முக்கியமானது. SiC ஃபோகஸ் ரிங் என்பது பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் படிவு அறை கூறுகளில் காணப்படும் கூறுகள், மேலும் பிளாஸ்மா விநியோகத்தை கட்டுப்படுத்துதல், செதில் சீரான தன்மையை அடைதல் மற்றும் வெகுஜன உற்பத்தியில் விளைச்சல் ஆகியவற்றில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

SiC ஃபோகஸ் வளையத்தின் பொருள் தூய்மை மற்றும் மின் செயல்திறன் ஆகியவை இந்த கூறுகளை வரையறுக்கும் மற்றும் பீங்கான் பொருட்களிலிருந்து வேறுபடுத்தும் மிக முக்கியமான காரணிகளாகும். உயர் தூய்மைசிலிக்கான் கார்பைடுபாரம்பரிய பீங்கான் பொருட்கள் போலல்லாமல், இது ஒரு கலவையை வழங்குகிறது 

கடினத்தன்மை மற்றும் பல இரசாயனங்களுக்கு எதிர்ப்பு, மற்றும் தனித்துவமான மின் பண்புகள். குறிப்பிடத்தக்க வகையில், மிக முக்கியமாக, உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு, பிளாஸ்மாவுடன் தொடர்புகொள்வதற்கான சிறந்த அரை-கடத்தி சமநிலையுடன் மிகவும் பொருத்தமான அளவிலான கடத்தும் அல்லது அவமதிப்பு செயல்திறனை உருவாக்க, டோபண்டுகள் மற்றும் செயலாக்க முறைகளைப் பயன்படுத்தி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது உயர் ஆற்றல் சூழல்களில் நிலையான செயல்திறனை அனுமதிக்கிறது.

பிளாஸ்மாவின் விளிம்பு விளைவு காரணமாக, அடர்த்தி மையத்தில் அதிகமாகவும் விளிம்புகளில் குறைவாகவும் இருக்கும். ஃபோகஸ் ரிங், அதன் வளைய வடிவம் மற்றும் CVD SiC இன் பொருள் பண்புகள் மூலம், ஒரு குறிப்பிட்ட மின்சார புலத்தை உருவாக்குகிறது. இந்த புலம் பிளாஸ்மாவில் உள்ள சார்ஜ் செய்யப்பட்ட துகள்களை (அயனிகள் மற்றும் எலக்ட்ரான்கள்) செதில் மேற்பரப்பில், குறிப்பாக விளிம்பில் வழிநடத்துகிறது மற்றும் கட்டுப்படுத்துகிறது. இது விளிம்பில் உள்ள பிளாஸ்மா அடர்த்தியை திறம்பட உயர்த்தி, மையத்தில் உள்ளதை நெருங்குகிறது. இது செதில் முழுவதும் சீரான பொறிப்பை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, விளிம்பு சேதத்தை குறைக்கிறது மற்றும் மகசூலை அதிகரிக்கிறது.

மெர்குரி உற்பத்தியானது, இறுக்கமான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்பு பூச்சு ஆகியவற்றை அடையும் அதிநவீன எந்திர மற்றும் மெருகூட்டல் செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்தி SiC ஃபோகஸ் வளையத்தை செயலாக்குகிறது. இந்த கூறுகளின் பரிமாணத் துல்லியமானது, பல பிளாஸ்மா எட்ச் மற்றும் படிவு அமைப்புகளில் பரிமாற்றத்தை உறுதிசெய்ய பல்வேறு குறைக்கடத்தி உபகரண வழங்குநர்களுடன் இணக்கத்தன்மையை செயல்படுத்துகிறது. வளைய தடிமன், உள் மற்றும் வெளிப்புற விட்டம் மற்றும் மேற்பரப்பு கடத்துத்திறன் அளவுகள் உள்ளிட்ட குறிப்பிட்ட செயல்முறை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயன் வடிவமைப்புகள் உருவாக்கப்படலாம்.

SiC ஃபோகஸ் ரிங் பயன்பாடுகள் குறைக்கடத்தி தயாரிப்பில் பரந்த வரிசையை உள்ளடக்கியது: DRAM, NAND ஃபிளாஷ், லாஜிக் சாதனங்கள் மற்றும் புதிய ஆற்றல் குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பங்கள். சாதன வடிவவியல்கள் சுருங்கி, செயல்முறை முனைகள் மூலம் தொடர்ந்து முன்னேறும்போது, ​​SiC ஃபோகஸ் ரிங் போன்ற மிகவும் நம்பகமான நிலையான அறைக் கூறுகளின் தேவை முக்கியமானது. SiC ஃபோகஸ் ரிங் பிளாஸ்மாவின் சரியான கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது மற்றும் செதில் தரத்தை தொடர்ந்து மேம்படுத்துகிறது, இது எப்போதும் சிறிய, வேகமான மற்றும் திறமையான மின்னணு சாதனங்களை நோக்கி தொழில்துறையின் லட்சியங்களை மேம்படுத்துகிறது. பொருள் அறிவியல், துல்லியப் பொறியியல் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயல்முறை பரிணாமத்தின் குறுக்குவெட்டு புள்ளியை Semicorex SiC ஃபோகஸ் ரிங் வரையறுக்கிறது. SiC ஃபோகஸ் ரிங் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, உயர்ந்த இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் குறிப்பிட்ட மின் கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. செயல்முறைகளின் போது நம்பகத்தன்மை மற்றும் விளைச்சலை உறுதி செய்வதில் இந்த அம்சங்கள் ஒரு முக்கிய அங்கமாக அமைகின்றன.