அதிக உருகுநிலை, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றுடன், செமிகோரெக்ஸ் SiC-கோடட் கிரிஸ்டல் க்ரோத் சஸ்செப்டர் ஒற்றை படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த சிறந்த தேர்வாகும். அதன் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு சிறந்த தட்டையான தன்மை மற்றும் வெப்ப விநியோக பண்புகளை வழங்குகிறது, இது அதிக வெப்பநிலை சூழல்களுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.
Semicorex SiC-Coated Crystal Growth Susceptor செமிகண்டக்டர் செதில்களில் எபிடாக்சியல் லேயர் உருவாக்கத்திற்கான சரியான தேர்வாகும், அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப விநியோக பண்புகளுக்கு நன்றி. அதன் உயர்-தூய்மை SiC பூச்சு மிகவும் தேவைப்படும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் கூட உயர்ந்த பாதுகாப்பை வழங்குகிறது.
எங்கள் SiC-கோடட் கிரிஸ்டல் க்ரோத் சஸ்செப்டர் சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவத்தை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
எங்களின் SiC-கோடட் கிரிஸ்டல் க்ரோத் சஸ்செப்டர் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
SiC-கோடட் கிரிஸ்டல் க்ரோத் சஸ்செப்டரின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
SiC-கோடட் கிரிஸ்டல் க்ரோத் சஸ்செப்டரின் அம்சங்கள்
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் நல்ல அடர்த்தி மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நல்ல பாதுகாப்புப் பாத்திரத்தை வகிக்க முடியும்.
- ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சிக்காகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் மிக உயர்ந்த மேற்பரப்புத் தட்டையானது.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குக்கு இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைக்கவும், விரிசல் மற்றும் சிதைவைத் தடுக்க பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்தவும்.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.
- உயர் உருகுநிலை, உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு.