SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்ஸி டிஸ்க்

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி கோடட் எபிடாக்ஸி டிஸ்க், செமிகண்டக்டர் தொழிற்துறையில் உள்ள இணையற்ற நன்மைகளின் வரம்பைக் கொண்டுள்ளது, இதை மேலும் பின்வருமாறு விரிவாகக் கூறலாம்:

வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம்: SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்ஸி வட்டு வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறிப்பிடத்தக்க குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது, இது பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை இன்றியமையாத குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் முக்கியமானது. இந்த பண்பு SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்ஸி டிஸ்க் வெப்பநிலை மாறுபாடுகளின் கீழ் குறைந்தபட்ச விரிவாக்கம் அல்லது சுருக்கத்திற்கு உட்படுகிறது, உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது குறைக்கடத்தி கட்டமைப்பின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது.

உயர்-வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: குறிப்பிடத்தக்க ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்புடன் வடிவமைக்கப்பட்ட இந்த SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்ஸி டிஸ்க் உயர்ந்த வெப்பநிலையில் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை தக்க வைத்துக் கொள்கிறது, இது வெப்ப நிலைத்தன்மை முக்கியமாக இருக்கும் உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்குள் பயன்பாடுகளுக்கு ஒரு சிறந்த அங்கமாக அமைகிறது.

அடர்த்தியான மற்றும் நுண்ணிய நுண்துளை மேற்பரப்பு: SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்ஸி வட்டின் மேற்பரப்பு அதன் அடர்த்தி மற்றும் நுண்ணிய போரோசிட்டி ஆகியவற்றால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது, இது பல்வேறு பூச்சுகளை ஒட்டுவதற்கு உகந்த மேற்பரப்பு அமைப்பை வழங்குகிறது மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்பை சேதப்படுத்தாமல் குறைக்கடத்தி செதில் செயலாக்கத்தின் போது பயனுள்ள பொருட்களை அகற்றுவதை உறுதி செய்கிறது.

உயர் கடினத்தன்மை: பூச்சு கிராஃபைட் வட்டுக்கு அதிக கடினத்தன்மையை அளிக்கிறது, இது அரிப்பு மற்றும் தேய்மானத்தை எதிர்க்கும், இதனால் SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்ஸி டிஸ்கின் சேவை ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களில் மாற்றத்தின் அதிர்வெண் குறைக்கிறது.

அமிலங்கள், அடிப்படைகள், உப்புகள் மற்றும் ஆர்கானிக் ரியாஜெண்டுகளுக்கு எதிர்ப்பு: SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்ஸி டிஸ்கின் CVD SiC பூச்சு, அமிலங்கள், தளங்கள், உப்புகள் மற்றும் கரிம வினைப்பொருட்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு அரிக்கும் முகவர்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது சூழல்களில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றது இரசாயன வெளிப்பாடு ஒரு கவலையாக உள்ளது, இதன் மூலம் சாதனங்களின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நீண்ட ஆயுளை அதிகரிக்கிறது.

பீட்டா-SiC மேற்பரப்பு அடுக்கு: SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்ஸி வட்டின் SIC (சிலிக்கான் கார்பைடு) மேற்பரப்பு அடுக்கு பீட்டா-SiC ஐக் கொண்டுள்ளது, இது முகத்தை மையமாகக் கொண்ட கன (FCC) படிக அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. இந்த படிக அமைப்பு பூச்சுகளின் விதிவிலக்கான இயந்திர மற்றும் வெப்ப பண்புகளுக்கு பங்களிக்கிறது, இது வட்டுக்கு உயர்ந்த வலிமை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறனை வழங்குகிறது, இது குறைக்கடத்தி செயலாக்க கருவிகளுக்கு அவசியம்.