செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐ டம்மி வேஃபர், மோனோகிரிஸ்டலின் அல்லது பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானில் இருந்து வடிவமைக்கப்பட்டது, உற்பத்தி செதில்களின் அதே அடித்தளப் பொருளைப் பகிர்ந்து கொள்கிறது. அதன் ஒத்த வெப்ப மற்றும் இயந்திர பண்புகள் தொடர்புடைய செலவுகள் இல்லாமல் உண்மையான உற்பத்தி நிலைமைகளை உருவகப்படுத்துவதற்கு ஏற்றது.
Semicorex Si டம்மியின் அம்சங்கள்வேஃபர்பொருள்
அமைப்பு மற்றும் கலவை
சிலிக்கான் அது ஒன்றுமோனோகிரிஸ்டலின் அல்லது பாலிகிரிஸ்டலின்பொதுவாக Semicorex Si டம்மி வேஃபரை உருவாக்கப் பயன்படுகிறது. சிலிக்கான் என்பது செயல்முறையின் குறிப்பிட்ட தேவைகள் மோனோகிரிஸ்டலின் அல்லது பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் சிறந்ததா என்பதை அடிக்கடி தீர்மானிக்க உதவுகிறது. பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் மிகவும் மலிவு மற்றும் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளுக்குப் போதுமானதாக இருந்தாலும், மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் சிறந்த ஒருமைப்பாடு மற்றும் குறைவான குறைபாடுகளை வழங்குகிறது.
மறுபயன்பாடு மற்றும் ஆயுள்
Si Dummy Wafer இன் தனித்துவமான பண்புகளில் ஒன்று அதன் பல பயன்பாட்டுத் திறன் ஆகும், இது ஒரு பெரிய நிதி நன்மையை வழங்குகிறது. இருப்பினும், செயலாக்கத்தின் போது அவை வெளிப்படும் சுற்றுச்சூழல் காரணிகள் அவை எவ்வளவு காலம் வாழ்கின்றன என்பதில் குறிப்பிடத்தக்க தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன. அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் நிலைமைகளால் அவற்றின் பயன்படுத்தக்கூடிய ஆயுட்காலம் குறைக்கப்படலாம், எனவே செயல்முறை ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்க கவனமாக கண்காணிப்பு மற்றும் உடனடி மாற்றீடு அவசியம். இந்த சிரமங்கள் இருந்தபோதிலும், Si Dummy Wafers உற்பத்திச் செதில்களை விட ஒட்டுமொத்தமாக கணிசமாக குறைந்த விலையில் தொடர்ந்து முதலீட்டில் வலுவான வருவாயை வழங்குகிறது.
அளவு கிடைக்கும்
ஐந்து-, ஆறு-, எட்டு- மற்றும் பன்னிரண்டு-அங்குல விட்டம் Si Dummy Wafer அளவுகளில் உள்ளன, அவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களின் பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யக் கிடைக்கின்றன. அவற்றின் பொருந்தக்கூடிய தன்மையின் காரணமாக, அவை பல்வேறு வகையான உபகரண வகைகள் மற்றும் நடைமுறைகளில் பயன்படுத்தப்படலாம், கொடுக்கப்பட்ட ஒவ்வொரு தொழில்துறை அமைப்பின் தனிப்பட்ட தேவைகளை அவை பூர்த்தி செய்ய முடியும் என்று உத்தரவாதம் அளிக்கிறது.
Si டம்மியைப் பயன்படுத்துதல்செதில்கள்
உபகரண சுமை விநியோகம்
சில இயந்திரங்கள், அத்தகைய உலை குழாய்கள் மற்றும் பொறித்தல் இயந்திரங்கள், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது சிறந்த முறையில் செயல்பட, குறிப்பிட்ட அளவு செதில்கள் தேவை. இந்த விவரக்குறிப்புகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கும், இயந்திரங்கள் திறம்பட இயங்குவதற்கும் உத்தரவாதம் அளிக்க, Si Dummy Wafer ஒரு அத்தியாவசிய நிரப்பியாகும். அவை தேவையான செதில் எண்ணிக்கையை வைத்து சுற்றுச்சூழல் உறுதிப்படுத்தலுக்கு பங்களிக்கின்றன, இது நிலையான மற்றும் நம்பகமான உற்பத்தி முடிவுகளை உருவாக்குகிறது.
செயல்முறை அபாயத்தைத் தணித்தல்
Si Dummy Wafer ஆனது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD), பொறித்தல் மற்றும் அயன் பொருத்துதல் போன்ற அதிக ஆபத்துள்ள நடைமுறைகளின் போது பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. செயல்முறை உறுதியற்ற தன்மை அல்லது துகள் மாசுபாடு போன்ற ஏதேனும் அபாயங்களைக் கண்டறிந்து குறைக்க, அவை உற்பத்தி செதில்களுக்கு முன் செயல்முறை ஓட்டத்தில் சேர்க்கப்படுகின்றன. சாதகமற்ற நிலைமைகளுக்கு வெளிப்படுவதைத் தவிர்ப்பதன் மூலம், இந்த செயலூக்கமான அணுகுமுறை உற்பத்தி செதில் விளைச்சலைப் பாதுகாக்க உதவுகிறது.
உடல் நீராவி படிவு (PVD) சீரான தன்மை
இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) போன்ற செயல்முறைகளில் நிலையான படிவு விகிதங்கள் மற்றும் படத் தடிமன் ஆகியவற்றைப் பெறுவதற்கு கருவிக்குள் சீரான செதில் விநியோகம் அவசியம். செதில்கள் ஒரே மாதிரியாக சிதறடிக்கப்படுவதை உறுதி செய்வதன் மூலம், Si டம்மி வேஃபர் முழு செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையையும் நிலைத்தன்மையையும் பாதுகாக்கிறது. உயர்ந்த குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தி இந்த ஒருமைப்பாட்டைச் சார்ந்துள்ளது.
உபகரணங்களின் பயன்பாடு மற்றும் பராமரிப்பு
வெளியீடு தேவை குறைவாக இருக்கும் போது இயந்திரங்களை இயக்குவதில் Si Dummy Wafer முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. இயந்திரங்களை இயங்க வைப்பதன் மூலம் நேரத்தையும் பணத்தையும் மிச்சப்படுத்துகிறார்கள் மற்றும் அடிக்கடி தொடங்குதல் மற்றும் நிறுத்தப்படுவதால் ஏற்படும் திறமையின்மைகளைத் தவிர்ப்பார்கள். அவை உபகரணங்களை மாற்றுதல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பராமரித்தல் ஆகியவற்றிற்கான சோதனை அடி மூலக்கூறுகளாகவும் செயல்படுகின்றன, விலைமதிப்பற்ற உற்பத்தி செதில்களுக்கு ஆபத்தை ஏற்படுத்தாமல் உபகரண செயல்திறனை உறுதிப்படுத்த உதவுகின்றன.
Si டம்மியின் திறமையான கட்டுப்பாடு மற்றும் மேம்படுத்தல்வேஃபர்பயன்பாடு
கண்காணிப்பு மற்றும் பயன்பாட்டை மேம்படுத்துதல்
Si டம்மி வேஃபர் நுகர்வு, செயல்முறை ஓட்டங்கள் மற்றும் அணியும் நிலைமைகளைக் கண்காணிப்பது அதன் செயல்திறனை அதிகரிக்க முக்கியமானது. இந்த தரவு உந்துதல் மூலோபாயத்திற்கு நன்றி, உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் பயன்பாட்டு சுழற்சிகளை மேம்படுத்தலாம், வள பயன்பாட்டை மேம்படுத்தலாம் மற்றும் கழிவுகளை குறைக்கலாம்.
மாசு கட்டுப்பாடு
Si Dummy Wafers சுத்தம் செய்யப்பட வேண்டும் அல்லது ஒரு சுத்தமான செயலாக்க சூழலை உறுதி செய்வதற்காக வழக்கமான அடிப்படையில் மாற்றப்பட வேண்டும், ஏனெனில் அடிக்கடி பயன்படுத்துவது துகள் மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தும். கண்டிப்பான துப்புரவுத் திட்டத்தைச் செயல்படுத்துவதன் மூலம் உபகரணங்களை அசுத்தங்கள் இல்லாமல் வைத்திருப்பதன் மூலம் அடுத்தடுத்த உற்பத்தி ஓட்டங்களின் தரம் பராமரிக்கப்படுகிறது.
செயல்முறை அடிப்படையில் தேர்வு
Si டம்மி வேஃபர் பல்வேறு குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளிலிருந்து குறிப்பிட்ட அளவுகோல்களுக்கு உட்பட்டது. எடுத்துக்காட்டாக, மெல்லிய-பட படிவு செயல்முறைகளின் போது தயாரிக்கப்பட்ட படத்தின் தரத்தில் செதில்களின் மேற்பரப்பு மென்மை பெரிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும். இந்த காரணத்திற்காக, செயல்முறை அளவுருக்களின் அடிப்படையில் சரியான Si டம்மி வேஃபரைத் தேர்ந்தெடுப்பது சிறந்த விளைவுகளைப் பெறுவதற்கு அவசியம்.
சரக்கு மற்றும் அகற்றல் மேலாண்மை
முடிக்கப்பட்ட தயாரிப்பில் Si டம்மி வேஃபர் சேர்க்கப்படாவிட்டாலும் கூட, உற்பத்தித் தேவைகளை செலவுக் கட்டுப்பாட்டுடன் பொருத்த பயனுள்ள சரக்கு மேலாண்மை தேவைப்படுகிறது. அவற்றின் வாழ்க்கைச் சுழற்சி முடிந்தவுடன் சுற்றுச்சூழல் விதிகளுக்கு இணங்க அவற்றை அப்புறப்படுத்த வேண்டும். சுற்றுச்சூழலின் தாக்கத்தை குறைக்க மற்றும் வள செயல்திறனை அதிகரிக்க, விருப்பங்களில் சிலிக்கான் பொருளை மறுசுழற்சி செய்வது அல்லது குறைந்த தர சோதனை நோக்கங்களுக்காக செதில்களைப் பயன்படுத்துவது ஆகியவை அடங்கும்.