எங்கள் தொழிற்சாலையில் இருந்து MOCVD உபகரணங்களுக்கான செமிகண்டக்டர் வேஃபர் கேரியரை வாங்குவதில் நீங்கள் உறுதியாக இருக்கலாம். செமிகண்டக்டர் செதில் கேரியர்கள் MOCVD உபகரணங்களின் இன்றியமையாத அங்கமாகும். உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களை கொண்டு செல்லவும் பாதுகாக்கவும் அவை பயன்படுத்தப்படுகின்றன. MOCVD உபகரணங்களுக்கான செமிகண்டக்டர் வேஃபர் கேரியர்கள் உயர் தூய்மையான பொருட்களால் ஆனவை மற்றும் செயலாக்கத்தின் போது செதில்களின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
MOCVD உபகரணங்களுக்கான எங்களின் செமிகண்டக்டர் வேஃபர் கேரியர் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் இன்றியமையாத அங்கமாகும். இது CVD முறையில் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுடன் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டால் ஆனது மற்றும் பல செதில்களுக்கு இடமளிக்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. கேரியர் பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, மேம்படுத்தப்பட்ட மகசூல், மேம்பட்ட உற்பத்தித்திறன், குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு, அதிகரித்த பாதுகாப்பு மற்றும் செலவு-செயல்திறன் உட்பட. MOCVD உபகரணங்களுக்கான நம்பகமான மற்றும் உயர்தர செமிகண்டக்டர் வேஃபர் கேரியரை நீங்கள் தேடுகிறீர்கள் என்றால், எங்கள் தயாரிப்பு சரியான தீர்வாகும்.
MOCVD உபகரணங்களுக்கான செமிகண்டக்டர் வேஃபர் கேரியர் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
MOCVD உபகரணங்களுக்கான செமிகண்டக்டர் வேஃபர் கேரியரின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
MOCVDக்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டரின் அம்சங்கள்
- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்