குறைக்கடத்தி குவார்ட்ஸ் சிலுவைகள்

செமிகோரெக்ஸ் செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிள்ஸ் என்பது குறைக்கடத்தி துறையில் குறிப்பாக சிலிக்கான் ஒற்றை படிக உற்பத்தியின் படிக இழுக்கும் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் குவார்ட்ஸ் சிலுவைகளுக்கு நுகர்வு தயாரிப்புகள் ஆகும். அவை தூய்மை, ஒருமைப்பாடு மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பை பூர்த்தி செய்யும் அதி-தூய்மையான இணைந்த குவார்ட்ஸிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன, மேலும் நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் அதிக கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்ய தயாரிக்கப்படுகின்றன. சிலிக்கான் இங்காட் விவரக்குறிப்புக்கு அவை இன்றியமையாதவை, ஏனெனில் அவற்றின் பண்புக்கூறுகள் நேரடியாக செதில் செயல்திறனை பாதிக்கின்றன மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்று செயலாக்கத்தில் விளைச்சலை பாதிக்கின்றன.

ஒரு வெப்ப மற்றும் உடல் பார்வையில்: குவார்ட்ஸ் சிலுவைகள் வெப்பத்தை நன்றாக தாங்கும். சிதைவு புள்ளி தோராயமாக 1100 ° C, மென்மையாக்கும் புள்ளி சுமார் 1730 ° C, மற்றும் அதிகபட்ச தொடர்ச்சியான சேவை வெப்பநிலை 1100 ° C, [1450 ° C வரை குறுகிய கால வெளிப்பாடு]. இந்த பண்புகள் அதிக தூய்மை மற்றும் வெப்ப பின்னடைவை வழங்கும் போது அதிக வெப்பநிலையில் பயன்பாட்டினை அனுமதிக்கின்றன, எனவே, சோக்ரால்ஸ்கி (சிஇசட்) படிக இழுக்கும் செயல்முறைகளின் போது நிலைத்தன்மையை ஊக்குவிக்கின்றன, அங்கு மாசுபாடு மற்றும் சிதைவு குறைக்கப்பட வேண்டும், மேலும் துல்லியமான வெப்ப சுயவிவரங்கள் ஒரே மாதிரியான படிக வளர்ச்சியைப் பெறுவதற்கு மிக முக்கியமானவை.

ஒரு கட்டமைப்பு கண்ணோட்டத்தில், குறைக்கடத்தி குவார்ட்ஸ் சிலுவை வெப்ப பண்புகள் மற்றும் இயந்திர வலிமைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு அடுக்கு கலப்பு கட்டமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. தொடக்க (உள்நோக்கி நகரும்) அடுக்கு என்பது ஒரு வெளிப்படையான குவார்ட்ஸ் அடுக்காகும், இது பொதுவாக, சுவர் தடிமன் மூன்றில் ஒரு பங்கு (சுமார் 3–5 மிமீ), மற்றும் ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த குமிழி உள்ளடக்கம் (செயலாக்க நுட்பத்தைப் பொறுத்து) உள்ளது, எனவே ஒரு மென்மையான குறைபாடு இல்லாத மேற்பரப்பு மோல்டன் சிலிக்கான் குவார்ட்ஸ் மேற்பரப்புடன் (இது) கட்டமைப்பைக் கட்டுப்படுத்துவதற்கு பங்களிக்கிறது.

க்ரூசிபிலின் சிதைவு வலிமை, அதிக வெப்ப அழுத்த எதிர்ப்பு மற்றும் கதிர்வீச்சு சீரான தன்மைக்கான வெப்ப மூலத்திலிருந்து வெப்ப காப்பு ஆகியவற்றிற்கு பங்களிக்கும் அதிக அளவிலான குமிழ்கள் உள்ளன. படிக இழுக்கும் செயல்பாட்டில் அளவு வேறுபட்ட வெப்ப சாய்வு இருந்தபோதிலும், சிலுவை அடுக்குகள் வடிவத்தையும் ஒருமைப்பாட்டையும் பராமரிக்க அனுமதிக்கின்றன.

உற்பத்தி தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றங்கள் காரணமாக பாரம்பரிய இரண்டு அடுக்கு கட்டமைப்பை விட நவீன குவார்ட்ஸ் சிலுவைகள் அதிகரித்துள்ளன. பல சிலுவைகள் மூன்று அடுக்கு கட்டமைப்பைப் பயன்படுத்துகின்றன-வெளிப்படையான உள் அடுக்கு, வெளிப்படையான நடுத்தர அடுக்கு, அவை குவார்ட்ஸ் வழியாக சிதறடிக்கப்பட்ட குமிழ்கள் மற்றும் குமிழி குவார்ட்ஸின் வெளிப்புற மெல்லிய அடுக்கு. மூன்று அடுக்கு கட்டமைப்புகள் சிறந்த இயந்திர வலிமை, வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் செலவு நன்மைகளை வழங்குகின்றன, மேலும் வெப்ப பரிமாற்ற பண்புகளை மேம்படுத்துகின்றன. மேலும், சில சிலுவைகள் உள்ளார்ந்த மேற்பரப்பில் கார உலோக அயனிகளின் (எ.கா., பேரியம் அயன் தீர்வுகள்) பூச்சுகளை பயன்படுத்துகின்றன, அல்லது குறிப்பிட்ட அடுக்குகளில் உயர் தூய்மை செயற்கை குவார்ட்ஸைப் பயன்படுத்துகின்றன, ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கத்தைக் குறைக்கவும், தூய்மைகளை குறைக்கவும், இழுக்கப்பட்ட ஒற்றை படிகங்களின் ஒட்டுமொத்த தரத்தை மேம்படுத்தவும் உதவுகின்றன.

குறைக்கடத்திகளுக்கான குவார்ட்ஸ் சிலுவைகளை உற்பத்தி செய்வது தேவையான தூய்மைகளில் கடுமையான தரக் கட்டுப்பாட்டு சகிப்புத்தன்மைக்கு வைக்கப்பட வேண்டும், இது பொதுவாக ஒரு பில்லியன் உலோக அசுத்தங்களுக்கு பல பாகங்கள் ஆகும். எந்தவொரு அசுத்தங்களையும் அகற்ற மூலப்பொருட்கள் கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டு சுத்திகரிக்கப்படுகின்றன. அவை கடினமான பரிமாணங்களாக உருவாகின்றன, சரியான வெப்ப சிகிச்சையைப் பயன்படுத்துகின்றன, மேலும் பரிமாண துல்லியம், இயந்திர வலிமை மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றைக் குறிக்கும் மேற்பரப்பு முடிந்தது. கடுமையான இரசாயன சூழல்களில் நீடித்த உயர் வெப்பநிலை வெளிப்பாட்டிற்கு உட்படுத்தப்படும்போது சிலுவைகள் நம்பகமானதாக இருக்கும் என்பதை உறுதிப்படுத்த இந்த செயல்முறை உதவுகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிலின் செயல்திறன் சிலிக்கான் படிக லட்டியின் சீரான தன்மை, குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் இங்காட்டில் உள்ள ஆக்ஸிஜன் ஆகியவற்றை பாதிக்கிறது. அதிக தூய்மைகள் மற்றும் குறைபாடு இல்லாத குவார்ட்ஸ் சிலுவைகள், படிக குறைபாடுகளின் இடப்பெயர்வைக் கட்டுப்படுத்தும், மகசூல் வீதத்தை மேம்படுத்துகின்றன, மேலும் சாதன வடிவவியல்களை முன்னேற்றுவதற்கு செதில்களை உருவாக்கும் திறனை நிறுவும். நீங்கள் HGH- செயல்திறன் ICS, ஒளிமின்னழுத்த-தர சிலிக்கான் அல்லது பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தயாரிப்பாளராக இருந்தால், உயர் தரத்தின் குவார்ட்ஸ் சிலுவைகளைத் தேர்ந்தெடுத்து பயன்படுத்துவது செலவு-செயல்திறனை நிறுவுவதற்கும் மேம்படுத்துவதற்கும் ஒரு முக்கியமான உறுப்பு ஆகும்.

செமிகோரெக்ஸ்குறைக்கடத்தி குவார்ட்ஸ்எந்தவொரு சிலிக்கான் படிக இழுக்கும் அமைப்புக்கும் சிலுவையில் உள்ள சில்குல்கள் ஒரு அத்தியாவசிய துணைப் பொருள். தூய்மை, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் தனியுரிம பல அடுக்கு கட்டமைப்புகளின் தனித்துவமான பண்புக்கூறுகள், சீரான மற்றும் இனப்பெருக்கம் செய்யக்கூடிய செயல்திறனை வழங்கும் போது CZ இழுக்கும் செயல்முறையின் கடுமையை ஆதரிப்பதற்கு இது ஒரு பொருத்தமான பொருளாக அமைகிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி அதிக ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மையை நோக்கி நகரும்போது, ​​துல்லியமான பொறியியலாளர் குவார்ட்ஸ் சிலுவைகளின் குறிப்பிடத்தக்க மதிப்பு கூட்டப்பட்ட நன்மைகள் அடுத்த தலைமுறை மின்னணு தொழில்நுட்பங்களை இயக்குவதற்கும் மேம்படுத்துவதற்கும் அதிக முக்கியத்துவத்தை உருவாக்கும்.