MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான RTP கேரியர்

செமிகோரெக்ஸ் MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான RTP கேரியரை வழங்குகிறது, இது செதில்களை ஆதரிக்கப் பயன்படுகிறது, இது உண்மையில் RTA, RTP அல்லது கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய நிலையானது. செயல்முறையின் மையத்தில், எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டர்கள், முதலில் படிவு சூழலுக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன, எனவே இது அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. SiC பூசப்பட்ட கேரியர் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளையும் கொண்டுள்ளது.
MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான எங்கள் RTP கேரியர் சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட அமைப்பை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான எங்கள் RTP கேரியர் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.

MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான RTP கேரியரின் அளவுருக்கள்

MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான RTP கேரியரின் அம்சங்கள்

உயர் தூய்மை SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்
சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை
மென்மையான மேற்பரப்பிற்காக ஃபைன் SiC கிரிஸ்டல் பூசப்பட்டது
இரசாயன சுத்தம் எதிராக உயர் ஆயுள்
விரிசல் மற்றும் சிதைவு ஏற்படாத வகையில் பொருள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.