குவார்ட்ஸ் சஸ்பெப்டர் ஆதரவு

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் கடுமையான சூழலில், அதிக மகசூல் தரும் தொகுதிக்கும் விலையுயர்ந்த தோல்விக்கும் இடையே உள்ள வேறுபாடு பெரும்பாலும் செதில் பொருத்துதலின் நுண்ணிய துல்லியத்தில் உள்ளது. செமிகோரெக்ஸ் குவார்ட்ஸ் சஸ்பெப்டர் ஷாஃப்ட் (பொதுவாக எபிடாக்சியல் குவார்ட்ஸ் ஷாஃப்ட் என குறிப்பிடப்படுகிறது) இரசாயன நீராவி படிவு (சிவிடி) மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் நேரடி முதுகெலும்பாக செயல்படுகிறது. தீவிர வெப்ப சாய்வு மற்றும் இரசாயன வெளிப்பாட்டைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இந்த கூறு திரவம், செங்குத்து இயக்கம் மற்றும் சஸ்செப்டர்கள் அல்லது செதில் கேரியர்களின் சுழற்சி ஆகியவற்றிற்கு முக்கியமானது.

எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் குவார்ட்ஸின் பங்கு

எபிடாக்சியல் செயல்முறைக்கு பெரும்பாலும் 1000°Cக்கும் அதிகமான வெப்பநிலை மற்றும் சிறிய உலோக மாசுபாடு இல்லாத சூழல் தேவைப்படுகிறது. இந்த நிலைமைகளின் கீழ் நிலையான பொருட்கள் தோல்வியடையும் அல்லது வாயு வெளியேறும். எங்களின் குவார்ட்ஸ் சஸ்செப்டர் சப்போர்ட், அதி-உயர்-தூய்மை செயற்கை உருகிய சிலிக்காவிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, இது உறுதி செய்கிறது:

விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை:வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு அதிக எதிர்ப்பு, விரைவான வெப்பம் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளின் போது விரிசல் ஏற்படுவதைத் தடுக்கிறது.

இரசாயன செயலற்ற தன்மை:முன்னோடி வாயுக்கள் மற்றும் துப்புரவு முகவர்களுடன் வினைபுரியாதது, குறைக்கடத்தி செதிலின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது.

குறைந்தபட்ச மாசுபாடு:ஒரு மில்லியனுக்கு பாகங்களில் (பிபிஎம்) அசுத்த அளவு அளவிடப்படுவதால், தேவையற்ற கூறுகளுடன் வளிமண்டலத்தில் "டோப்பிங்" செய்வதைத் தடுக்கிறது.

முக்கிய செயல்பாடுகள் & தொழில்நுட்ப நன்மைகள்

குவார்ட்ஸ் சஸ்செப்டர் சப்போர்ட்டின் முதன்மை செயல்பாடு, சசெப்டரின் செங்குத்து மற்றும் சுழற்சி இயக்கத்தை எளிதாக்குவதாகும் - குறைக்கடத்தி செதிலை வைத்திருக்கும் தட்டு.

1. துல்லியமான செங்குத்து நிலைப்படுத்தல்

ஒரு பொதுவான உலையில், செதில் மேற்பரப்புக்கும் வாயு நுழைவாயிலுக்கும் இடையே உள்ள தூரம் பட சீரான தன்மையை தீர்மானிக்கிறது. எங்கள் குவார்ட்ஸ் தண்டுகள் சப்-மில்லிமீட்டர் சகிப்புத்தன்மைக்கு இயந்திரம். இது உபகரணங்களின் இயக்கக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு, சப்சப்டரை முழுவதுமாக மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடியதாக உயர்த்த அல்லது குறைக்க அனுமதிக்கிறது, உற்பத்தி ஓட்டத்தில் உள்ள ஒவ்வொரு செதில்களும் ஒரே மாதிரியான வாயு-பாய்ச்சல் இயக்கவியலை அனுபவிப்பதை உறுதி செய்கிறது.

2. தடையற்ற இயக்கம் மற்றும் பரிமாற்றம்

அதிக அளவு உற்பத்தியில் (HVM) செயல்திறன் செதில் கையாளுதலின் வேகத்தைப் பொறுத்தது. தாள்-வகை வடிவமைப்பு மற்றும் ஆதரவு தண்டின் வலுவூட்டப்பட்ட கட்டமைப்பு விலா எலும்புகள் அதிக எடையுள்ள கிராஃபைட் அல்லதுசிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள்குனிந்து அல்லது அதிர்வு இல்லாமல். வெவ்வேறு செயலாக்க அறைகள் அல்லது பணிநிலையங்களுக்கு இடையில் மாதிரிகளை விரைவாக மாற்றுவதற்கு, வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைப்பதற்கு இந்த நிலைத்தன்மை அவசியம்.

3. உகந்த வெப்ப காப்பு

சஸ்பெக்டர் சூடாக இருக்க வேண்டும் என்றாலும், கீழே உள்ள இயந்திர கூறுகள் பெரும்பாலும் குளிர்ச்சியாக இருக்க வேண்டும்.குவார்ட்ஸ்இயற்கை வெப்ப இன்சுலேட்டராக செயல்படுகிறது. தண்டின் வெற்று, குழாய் போன்ற அமைப்பு வெப்ப கடத்தல் பாதையை குறைக்கிறது, உலையின் அடிப்பகுதியில் அமைந்துள்ள மோட்டார் மற்றும் வெற்றிட முத்திரைகளை பாதுகாக்கிறது.