தயாரிப்பு விளக்கம்

செமிகோரெக்ஸ் குவார்ட்ஸ் உலைக் குழாய், செதில் படகுகள், சிலிக்கான் ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சிக்கான குவார்ட்ஸ் சிலுவைகள் அனைத்தும் உயர்-தூய்மையால் ஆனவை.குவார்ட்ஸ் பொருள்எல். குவார்ட்ஸ் செமிகண்டக்டர் துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் செதில் தயாரிப்பில் முக்கியமான நுகர்வு ஆகும். செமிகண்டக்டர் துறையில் குவார்ட்ஸ் பகுதிகளின் முக்கிய இலக்கு சந்தையானது செதில் தயாரிப்பில் பரவல் மற்றும் பொறித்தல் செயல்முறை ஆகும், இது இரண்டு முக்கிய வகைகளாக பிரிக்கப்படலாம்: உயர் வெப்பநிலை பாகங்கள் மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை பாகங்கள்.

1.உயர்-வெப்பநிலை பாகங்கள் குவார்ட்ஸ் உலை குழாய், செதில் படகு, படகு வைத்திருப்பவர், மற்றும் பல. அவை உயர் வெப்பநிலை சூழலில் சிலிக்கான் செதில் நேரடியாகவோ அல்லது மறைமுகமாகவோ தொடர்பு கொள்ள வேண்டும், முக்கியமாக வெப்ப செயலாக்கத்தின் மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படும் குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி பொருட்களால் செய்யப்பட்டவை.

2.குறைந்த வெப்பநிலை பாகங்கள் பொறித்தல் செயல்பாட்டில் குவார்ட்ஸ் வளையங்கள், மற்றும் கேசட்டுகள், சுத்தம் செய்யும் செயல்பாட்டில் தொட்டிகளை சுத்தம் செய்தல். அவை முக்கியமாக குறைந்த வெப்பநிலை சூழலில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இவை முக்கியமாக இணைந்த குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி, குளிர் செயலாக்கத்தின் மூலம் தயாரிக்கப்படுகின்றன.

உலை என்பது குவார்ட்ஸ் உலை குழாய், அணு உலை மற்றும் பல ஹீட்டர்களைக் கொண்ட செதில்கள் உயர்-வெப்பநிலை வெப்பமாக்கல் செயல்முறைக்கு உட்படும் பகுதி, இது செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் பரவல், ஆக்ஸிஜனேற்றம், RTP செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. உலை முக்கியமாக கிடைமட்ட மற்றும் செங்குத்து வகைகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது :. ஒரு கிடைமட்ட உலையில், செதில்கள் ஒரு குவார்ட்ஸ் படகில் வைக்கப்படுகின்றன, இது ஒரு SiC கேரியரில் வைக்கப்படுகிறது. முன்னும் பின்னும் அடாப்டிவ் பேஃபிள்களும் உள்ளன. கேரியர் குவார்ட்ஸ் உலைக் குழாயில் தள்ளப்படுகிறது, மேலும் செதில்கள் நிலையான வெப்பநிலை மண்டலத்தில் எதிர்வினைக்கு உட்படுகின்றன. செங்குத்து உலைகளில், செதில்கள் ஒரு குவார்ட்ஸ் கோபுரத்தில் வைக்கப்பட்டு, பின்னர் செயலாக்கத்திற்காக குவார்ட்ஸ் உலைக் குழாயில் மெதுவாக உயர்த்தப்படுகின்றன.

2. அரிப்பு எதிர்ப்பு. ஹைட்ரோபுளோரிக் அமிலத்தைத் தவிர, உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸ் மற்ற அமிலப் பொருட்களுடன் வேதியியல் ரீதியாக வினைபுரிவதில்லை. அதிக வெப்பநிலையில், இது சல்பூரிக் அமிலம், நைட்ரிக் அமிலம், ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம், அக்வா ரெஜியா, நடுநிலை உப்புகள், கார்பன் மற்றும் கந்தகத்தின் அரிப்பைத் தாங்கும். அதன் அமில எதிர்ப்பு பீங்கான்களை விட 30 மடங்கு மற்றும் துருப்பிடிக்காத எஃகு 150 மடங்கு ஆகும். அதன் இரசாயன நிலைத்தன்மை, குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலையில், வேறு எந்த பொறியியல் பொருட்களாலும் ஒப்பிட முடியாது.

இதன் நன்மைகள் இங்கேகுவார்ட்ஸ்உலை குழாய்:

1. உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு. குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி தோராயமாக 1730℃ மென்மையாக்கும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் 1150℃ இல் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தலாம், குறுகிய கால அதிகபட்ச வெப்பநிலை 1450℃ அடையும்.

2. அரிப்பு எதிர்ப்பு. ஹைட்ரோபுளோரிக் அமிலத்தைத் தவிர, உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸ் மற்ற அமிலப் பொருட்களுடன் வேதியியல் ரீதியாக வினைபுரிவதில்லை. அதிக வெப்பநிலையில், இது சல்பூரிக் அமிலம், நைட்ரிக் அமிலம், ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம், அக்வா ரெஜியா, நடுநிலை உப்புகள், கார்பன் மற்றும் கந்தகத்தின் அரிப்பைத் தாங்கும். அதன் அமில எதிர்ப்பு பீங்கான்களை விட 30 மடங்கு மற்றும் துருப்பிடிக்காத எஃகு 150 மடங்கு ஆகும். அதன் இரசாயன நிலைத்தன்மை, குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலையில், வேறு எந்த பொறியியல் பொருட்களாலும் ஒப்பிட முடியாது.

3. நல்ல வெப்ப நிலைத்தன்மை. உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸ் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மிகக் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் கடுமையான வெப்பநிலை மாற்றங்களைத் தாங்கும். உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸை சுமார் 1100℃ வரை சூடாக்கி, பின்னர் அறை வெப்பநிலை நீரில் அதை மூழ்கடிப்பதால் அது சிதறாது.

4. நல்ல ஒளி பரிமாற்ற செயல்திறன். உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸ், புற ஊதா முதல் அகச்சிவப்பு வரையிலான முழு நிறமாலையிலும் நல்ல ஒளி பரிமாற்ற செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளது. புலப்படும் ஒளி பரிமாற்றம் 93% க்கு மேல் உள்ளது, மேலும் புற ஊதா நிறமாலையில், அதிகபட்ச பரிமாற்றம் 80% ஐ அடையலாம்.

5. நல்ல மின் காப்பு செயல்திறன். உயர் தூய்மையான குவார்ட்ஸின் எதிர்ப்பாற்றல் சாதாரண குவார்ட்ஸ் கண்ணாடியை விட பத்தாயிரம் மடங்கு அதிகமாகும், இது ஒரு சிறந்த மின் காப்புப் பொருளாக அமைகிறது, அதிக வெப்பநிலையிலும் நல்ல மின் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது.