நுண்துளை அலுமினா வெற்றிட சக்

செமிகோரெக்ஸ் போரஸ் அலுமினா வெற்றிட சக் என்பது வெற்றிட உறிஞ்சும் கொள்கையைப் பயன்படுத்தி தயாரிப்புகளை சரிசெய்வதற்கான கேரியர் தளமாகும், அதன் பரிமாற்ற வெற்றிடத்தின் பகுதி பொதுவாக அலுமினா நுண்ணிய பீங்கான் தட்டு ஆகும். நுண்ணிய பீங்கான் தகடு அடித்தளத்தில் உள்ள கவுண்டர்சங்க் துளைக்குள் கட்டப்பட்டுள்ளது, அதன் சுற்றளவு பிணைக்கப்பட்டு அடித்தளத்துடன் மூடப்பட்டுள்ளது, மேலும் அடித்தளம் அடர்த்தியான பீங்கான் அல்லது உலோகப் பொருட்களால் இயந்திரமயமாக்கப்படுகிறது. பணிச்சூழலில் மைனஸ் அழுத்தத்தின் கீழ், சக் காற்றை இழுக்க பீங்கான் தட்டுக்குள் உள்ள நுண்துளை அமைப்பு மூலம் வெற்றிட பம்புடன் இணைக்கப்பட்டு, செதில் கீழே உள்ள பகுதி வெளிப்புற வளிமண்டல அழுத்தத்தை விட மிகக் குறைவான வெற்றிடப் பகுதியை உருவாக்குகிறது. வலுவான அழுத்த வேறுபாட்டின் விளைவின் கீழ், செதில் சக்கின் மேற்பரப்பில் உறுதியாக இணைக்கப்பட்டுள்ளது. பொதுவாக, செதில்களின் கீழ் வெற்றிட அளவு அதிகமாக இருந்தால், சக் மற்றும் ஒர்க்பீஸ் இடையே இறுக்கமான ஒட்டுதல் மற்றும் உறிஞ்சுதல் விசை வலுவாக இருக்கும்.

செமிகண்டக்டர் மற்றும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில், துல்லியம் என்பது ஒரு தேவை மட்டுமல்ல - இது தரநிலை. நுண்துளை அலுமினா வெற்றிட சக் (செராமிக் வெற்றிட சக் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது) என்பது லித்தோகிராபி, ஆய்வு மற்றும் டைசிங் செயல்முறைகளின் போது மென்மையான அடி மூலக்கூறுகளுக்கு சீரான, மாரிங் செய்யாத உறிஞ்சுதலை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்.

நுண்துளை அலுமினா வெற்றிட சக் என்றால் என்ன?

உறிஞ்சலை உருவாக்க இயந்திர பள்ளங்களைப் பயன்படுத்தும் பாரம்பரிய உலோக சக்களைப் போலல்லாமல், ஒரு நுண்துளை செராமிக் சக் ஒரு சிறப்பு நுண்ணிய துளை அமைப்பைப் பயன்படுத்துகிறது. இது வெற்றிட அழுத்தத்தை பணிப்பகுதியின் முழு மேற்பரப்பிலும் சமமாக விநியோகிக்க அனுமதிக்கிறது.

முக்கிய தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

இந்த கூறுகளின் செயல்திறனைப் புரிந்து கொள்ள, உயர் தூய்மையான Al2O3 இன் பொருள் பண்புகளைப் பார்க்கிறோம்:

பாரம்பரிய பொருட்களை விட நுண்ணிய அலுமினாவை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

1. உயர்ந்த தட்டையான தன்மை மற்றும் சீரான தன்மை

நுண்ணிய துளை அமைப்பு 100% தொடர்பு பகுதிக்கு வெற்றிட விசை பயன்படுத்தப்படுவதை உறுதி செய்கிறது. தொழில்துறை தரவுகளின்படி, பாரம்பரிய பள்ளம் கொண்ட துருப்பிடிக்காத எஃகு சக்ஸுடன் ஒப்பிடும்போது சீரான உறிஞ்சுதல் செதில் அழுத்தத்தை 40% வரை குறைக்கிறது.

2. உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை

அலுமினா மட்பாண்டங்கள் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளன (CTE). உயர்-வெப்பநிலை செயலாக்கம் அல்லது லேசர் அடிப்படையிலான ஆய்வில், சக் அதன் பரிமாணங்களை பராமரிக்கிறது, கவனம் ஆழம் நிலையானதாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

3. ESD மற்றும் மாசு கட்டுப்பாடு

உயர் தூய்மை அலுமினா இரசாயன ரீதியாக செயலற்றது மற்றும் இயற்கையாகவே அரிப்பை எதிர்க்கும். மேலும், சில சூழல்களில் கிட்டத்தட்ட 25% குறைக்கடத்தி விளைச்சல் இழப்புக்கு காரணமான எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் டிஸ்சார்ஜை (ESD) தடுக்க சிறப்பு "பிளாக் அலுமினா" அல்லது ஆன்டி-ஸ்டேடிக் பூச்சுகள் பயன்படுத்தப்படலாம்.

உயர் தொழில்நுட்ப உற்பத்தியில் முதன்மை பயன்பாடுகள்

செமிகண்டக்டர் வேஃபர் செயலாக்கம்

ஃபோட்டோலித்தோகிராபி மற்றும் வேஃபர் ஆய்வு ஆகியவற்றில் முதன்மையான பயன்பாடு உள்ளது. தீவிர தட்டையானது (<2μm) செதில் மேம்பட்ட ஆப்டிகல் அமைப்புகளின் குறுகிய ஆழத்தில் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

தின்-ஃபிலிம் சோலார் செல் தயாரிப்பு

நெகிழ்வான அல்லது மிக மெல்லிய அடி மூலக்கூறுகளுக்கு, பாரம்பரிய வெற்றிட சேனல்கள் உடல் சேதத்தை ஏற்படுத்தும். நுண்ணிய பீங்கான்களின் "சுவாசிக்கக்கூடிய" மேற்பரப்பு மென்மையான காற்று குஷன் அல்லது உறிஞ்சும் தகடாக செயல்படுகிறது, உடையக்கூடிய அடுக்குகளை பாதுகாக்கிறது.

ஆப்டிகல் லென்ஸ் அரைத்தல்

நுண்துளை அலுமினா துல்லியமாக அரைக்கும் போது லென்ஸைப் பிடிக்கப் பயன்படுகிறது, அங்கு எந்த அதிர்வு அல்லது சீரற்ற அழுத்தமும் ஆப்டிகல் மாறுபாடுகளை ஏற்படுத்தும்.

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் (FAQ)

Q1: நுண்துளை அலுமினா வெற்றிட சக்கை எவ்வாறு சுத்தம் செய்வது?

ப: உறிஞ்சுதலை பராமரிக்க சுத்தம் செய்வது இன்றியமையாதது. டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர் அல்லது சிறப்பு கரைப்பான்களில் மீயொலி சுத்தம் செய்வதைப் பயன்படுத்த பரிந்துரைக்கிறோம். அலுமினா வேதியியல் ரீதியாக நிலையானது என்பதால், பெரும்பாலான அமிலம் அல்லது அல்கலைன் கிளீனர்களை அது தாங்கும். துளைகளில் இருந்து ஈரப்பதத்தை அகற்ற சக் உலர்ந்ததாக இருப்பதை உறுதி செய்யவும்.

Q2: குறிப்பிட்ட அடி மூலக்கூறுகளுக்கு துளை அளவை தனிப்பயனாக்க முடியுமா?

ப: ஆம். சிறிய துளைகள் (தோராயமாக. 10μm - 20μm) "அச்சு-மூலம்" தடுக்க, மிக மெல்லிய படங்களுக்கு சிறந்தது, அதே சமயம் பெரிய துளைகள் கனமான அல்லது அதிக நுண்துளை வேலைப்பகுதிகளுக்கு அதிக காற்றோட்டத்தை வழங்குகின்றன.

Q3: அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை என்ன?

ப: பீங்கான் 1500℃க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையைத் தாங்கும் போது, ​​வெற்றிட சக் அசெம்பிளி (முத்திரைகள் மற்றும் வீடுகள் உட்பட) பொதுவாக பிணைப்பு முறையைப் பொறுத்து 250℃ முதல் 400℃ வரை மதிப்பிடப்படுகிறது.