எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான செமிகோரெக்ஸ் பிளேட் என்பது எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் நுணுக்கங்களைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய உறுப்பு ஆகும். தனித்துவமான விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் விருப்பங்களைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்கக்கூடியது, உங்கள் தனிப்பட்ட செயல்பாட்டுத் தேவைகளுக்குத் தடையின்றி பொருந்தக்கூடிய தனித்தனியாக வடிவமைக்கப்பட்ட தீர்வை எங்கள் சலுகை வழங்குகிறது. அளவு மாற்றங்கள் முதல் பூச்சு பயன்பாட்டில் உள்ள மாறுபாடுகள் வரை பலவிதமான தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்களை நாங்கள் வழங்குகிறோம், பொறியாளர் மற்றும் பல்வேறு பயன்பாட்டு சூழ்நிலைகளில் செயல்திறனை மேம்படுத்தும் திறன் கொண்ட தயாரிப்பை வழங்குகிறோம். செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான உயர் செயல்திறன் கொண்ட தட்டுகளை தயாரித்து வழங்குவதற்கு அர்ப்பணித்துள்ளோம், அவை தரத்தை செலவு-செயல்திறனுடன் இணைக்கின்றன.
எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான செமிகோரெக்ஸ் பிளேட், எபிடாக்சியல் லேயர் உருவாக்கத்தின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களை ஆதரிக்கும் துல்லியமான பணிக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (எம்ஓசிவிடி) அமைப்புகளுக்கு இன்றியமையாதது. அதன் மூலோபாய பங்கு எபிடாக்சியல் படங்களின் சமமான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட விரிவாக்கத்தை எளிதாக்குகிறது, இது செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் நிலையான தரத்தை உறுதி செய்கிறது.
1. நீடித்து நிலைத்திருக்கும் தன்மையை மனதில் கொண்டு வடிவமைக்கப்பட்ட, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான தட்டு ஒரு உறுதியான தளத்தை வழங்குகிறது, இது செதில் இயக்கம் அல்லது சேதம் ஏற்படுவதற்கான வாய்ப்பைக் குறைக்கிறது, இதனால் எபிடாக்சியல் பட வளர்ச்சியின் உணர்திறன் கட்டங்களின் போது செதில்களின் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கிறது. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான தட்டு, ஆக்கிரமிப்பு இரசாயன எதிர்வினைகள் மற்றும் எபிடாக்சியின் போது ஏற்படும் தேய்மானங்களிலிருந்து அடிப்படை கிராஃபைட்டுக்கு ஒரு ஆதரவாக மட்டுமல்லாமல், ஒரு கவசமாகவும் செயல்படுகிறது.
2. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான தட்டில் ஒரு SiC பூச்சு இணைப்பது அதன் வெப்ப பண்புகளை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, இது சீரான எபிடாக்சியல் அடுக்கு உருவாக்கத்திற்கு அவசியமான விரைவான மற்றும் சீரான வெப்ப பரவலை செயல்படுத்துகிறது. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான தட்டு, வெப்பத்தை ஒரே மாதிரியாக உறிஞ்சி வெளியேற்றும் திறன், மெல்லிய படலங்களின் துல்லியமான படிவுக்கு உகந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையான சூழலை உறுதி செய்கிறது - மேம்பட்ட செமிகண்டக்டர்களின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்ட உயர்ந்த தரத்தின் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை உருவாக்குவதற்கு இது ஒரு இன்றியமையாத காரணியாகும்.
3. நுண்ணிய SiC படிகங்களின் பூச்சுடன், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான தட்டு ஒரு குறைபாடற்ற மென்மையான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது, இது செதில்களின் நுட்பமான கையாளுதலுக்கு முக்கியமானது. செயல்முறை முழுவதும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான தட்டு முழுவதும் செதில்கள் விரிவான தொடர்பை ஏற்படுத்துவதால், இந்த அழகிய இடைமுகம் சாத்தியமான மேற்பரப்பு மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது.
சுருக்கமாக, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான செமிகோரெக்ஸ் பிளேட்டை மேம்படுத்துவது உறுதியான செயல்திறன் மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கைக்கு உறுதியளிக்கிறது, மாற்றுத் தேவைகளின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான தட்டு வெளியீட்டின் திறனை கணிசமாக உயர்த்துகிறது, இதனால் செயல்பாட்டு வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகள் இரண்டையும் குறைக்கிறது, அதே நேரத்தில் உற்பத்தி செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.**